射频激励热管冷却金属波导co的制作方法

文档序号:6826870阅读:188来源:国知局
专利名称:射频激励热管冷却金属波导co的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种小功率金属波导激光器。
已有的射频波导CO2激光器,上下两条窄的金属波导电极1、2内部通有冷却水,冷却带走激光器放电产生的大部分热量。由于有冷却水,在激光器的结构上增加了复杂性,比如必须考虑与射频高压电极相连的水管的绝缘问题,激光器工作也必须有冷却水源,给使用带来不便。
本实用新型的目的在于提供一种结构简单,使用方便的小功率金属波导激光器。
本实用新型的目的是这样实现的一种射频激励热管冷却金属波导CO2激光器,包括“山”字形上、下电极,上、下“山”字形电极中部凸出一个小矩形台阶,上、下电极相对放置而形成光学波导,波导侧面放置绝缘片,以将波导侧面封闭,在下电极的下部连结有一热管,在激光器的上部、左、右外表面分别与散热片相连。
与现有射频金属波导CO2激光器相比,本实用新型不用冷却水,简化了小功率激光器的设计,使激光器及加工机小型化,特别适用于无水源如野外,流动工作,方便了激光器用户。


图1为原有通水冷却的射频波导CO2激光器结构示意图。
图2为本实用新型的横截面结构示意图。
以下结合附图对本实用新型作一详细描述如图2,一种射频激励热管冷却金属波导CO2激光器,包括“山”字形上、下无氧铜电极1、6,上、下“山”字形电极1、6中部凸出一个小矩形台阶2、13,上、下电极1、6相对放置而形成光学波导3,波导3侧面放置99%Al2O3瓷片4、11封闭,起到传热作用,波导3上、下表面镀金10、9。在下电极6的下部连结有一热管7,在激光器的上部、左、右外表面分别与散热片12、8、5相连。本实用新型为全封离式的激光器。
权利要求1.一种射频激励热管冷却金属波导CO2激光器,其特征在于它包括“山”字形上、下电极(1)、(6),上、下“山”字形电极(1)、(6)中部凸出一个小矩形台阶(2)、(13),上、下电极(1)、(6)相对放置而形成光学波导(3),波导(3)侧面放置绝缘片(4)、(11),以将波导(3)侧面封闭,在下电极(6)的下部连结有一热管(7),在激光器的上部、左、右外表面分别与散热片(12)、(8)、(5)相连。
2.根据权利要求1所述的一种射频激励热管冷却金属波导CO2激光器,其特征在于波导(3)上、下表面镀金(10)、(9)。
3.根据权利要求1或2所述的一种射频激励热管冷却金属波导CO2激光器,其特征在于绝缘片(4)、(11)为瓷片。
4.根据权利要求3所述的一和射频激励热管冷却金属波导CO2激光器,其特征在于绝缘片为99%Al2O3瓷片。
5.根据权利要求1或2所述的一种射频激励热管冷却金属波导CO2激光器,其特征在于上、下电极(1)、(6)为无氧铜电极。
专利摘要本实用新型涉及一种射频激励热管冷却金属波导CO
文档编号H01S3/063GK2397647SQ9923018
公开日2000年9月20日 申请日期1999年12月1日 优先权日1999年12月1日
发明者高允贵 申请人:江阴长江电子实业有限公司
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