具有可变机械手的四臂搬运机器人的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及具有四个机械臂的搬运机器人，尤其涉及一种能够个别驱动四个机械臂，能够同时装载及提起按既定节距单位上下装载的货物(基板或晶片等)的具有可变机械手的四臂搬运机器人。
【背景技术】
[0002]在半导体设备或液晶显示装置等制造工艺中，对半导体晶片或液晶显示装置用玻璃基板等的基板执行弓I入及提起过程。
[0003]基板处理装置(搬运机器人)为研发并使用双臂机器人、由多臂构成的搬运机器人等，并且，一般包括:搬运器支撑部，支撑多个搬运器；基板处理部，处理基板；旋转单元，在搬运器支撑部和基板处理部之间上下层叠；分度器机器人(indexer robot)，在各个旋转单元和搬运器支撑部之间搬运基板；主搬运机器人，在各个旋转单元和基板处理部之间搬运基板。
[0004]该搬运机器人用于从根本上更有效地输送晶片、基板或货物，由此，以缩短作业节拍时间(Tack Time)，提高工艺效率为研发方向。
[0005]由从用于搬运一个基板的具有一只臂的搬运机器人研发了具有双臂的搬运机器人，并以改善双臂的结构而进行更有效的工艺为目的，公开有韩国公开专利文献10-2008-0047205号(搬运基板机器人)及韩国公开专利文献10-2012-0007449号(基板处理装置及基板搬运方法)。
[0006]韩国公开专利文献10-2008-0047205号公开有能够独立旋转移动并同时上下移动的具有多臂而能够有效实现搬运基板的搬运基板机器人。
[0007]韩国公开专利文献10-2008-0047205号，在设置于东西南北四个方向而从各个方向能够搬运货物的结构这一层面上具有优点，但因向东西南北四个方向独立地运行，因此，在直线式工艺或向一个方向进行的工艺中，具有不便于使用的缺点。
[0008]韩国公开专利文献10-2012-0007449号提供一种用于增加基板处理装置的吞吐量(through put，单位时间的基板的处理数量)，缩短分度器机器人及主搬运机器人的待机时间的搬运机器人。
[0009]韩国公开专利文献10-2012-0007449号具有缩短工艺时间的优点，但具有如下缺点，因是单臂上附着有多只机械手的结构，而必须同时驱动，并且通过多只机械手的结构，只有处于既定间距的情况下，才能搬运多个货物。
[0010]现有技术文献
[0011]专利文献
[0012]专利文献I韩国公开专利文献第10-2008-0047205号
[0013]专利文献2韩国公开专利文献第10-2012-0007449号
【发明内容】
_4] 发明要解决的问题
[0015]本发明的目的为提供一种按相同水平方向的直线运动，能够同时或个别地搬运货物的具有可变机械手的四臂搬运机器人。
[0016]并且，本发明的目的为提供一种在直线式(In-Line)工艺及按一个方向连续的工艺中，通过同时输送一张至四张货物，引导进行快速的工艺流程，缩短工艺时间并提高工艺效率的具有可变机械手的四臂搬运机器人。
[0017]并且，本发明的目的为提供一种将四个机械臂以上下左右排列，能够对机械手改变水平位置的具有可变机械手的四臂搬运机器人。
_8] 用于解决问题的方案
[0019]为了解决如上所述问题，本发明的具有可变机械手的四臂搬运机器人包括:第I至第4机械臂，该第I至第4机械臂在内部分别形成有位置可变块，该第I至第4机械臂上下及左右排列，并且能够在前后方向上进行直线运动；以及第I至第4机械手，该第I至第4机械手分别与所述位置可变块接合，能够在预定范围内改变左右宽度；将货物同时或分从预定位置提起、搬运或装载至另一预定位置，由此能够同时搬运多个货物，并能够分别对应工艺设备或箱子的各个节距，以提高工艺效率。
[0020]在此，所述位置可变块分别在所述第I至第4机械臂的前端面具有开口部，并分别在所述第I至第4机械臂的内部形成有位置可变导轨，在所述第I至第4机械手的前端分别形成有与所述位置可变导轨进行导轨接合的可变滑动器。
[0021]在此，优选的是，所述第I及第3机械臂上下配置，所述第2及第4机械臂上下配置，各个所述第I及第3机械臂的可变滑动器形成于相对的位置，各个所述第2及第4机械臂的可变滑动器形成于相对的位置，由此实现上下对称的结构。
[0022]在此，所述第I至第4机械臂的外侧面分别以能够滑动的方式接合于第I至第4水平导轨，所述第I及第2水平导轨的内侧面分别安装于上端垂直滑动器，所述第3及第4水平导轨的内侧面分别安装于下端垂直滑动器，所述上端垂直滑动器和所述下端垂直滑动器相对于垂直形状的垂直体进行导轨接合，并且所述上端垂直滑动器和所述下端垂直滑动器为上下关系。
[0023]在此，所述第I至第4机械臂的外侧面分别以能够滑动的方式接合于第I至第4水平导轨，所述第I及第2水平导轨的内侧面分别安装于上端垂直滑动器，所述第3及第4水平导轨的内侧面分别安装于下端垂直滑动器，所述上端垂直滑动器和所述下端垂直滑动器相对于垂直形状的垂直体进行导轨接合，并且所述上端垂直滑动器和所述下端垂直滑动器为上下关系，所述垂直体的下端连接于进行圆周运动的旋转体。
[0024]在此，所述第I至第4机械臂的外侧面分别与第I至第4水平滑动器接合，所述第I至第4水平滑动器分别以能够滑动的方式接合于第I至第4水平导轨，所述第I至第4水平导轨的外侧面形成有导轨
[0025]发明效果
[0026]上述本发明的结构具有如下优点，能够以相同水平方向的直线运动，同时或个别地搬运货物，在直线式(In-Line)工艺及一个方向连续的工艺中，通过个别或同时输送一张至四张货物，而引导进行快速工艺流程，并缩短工艺时间，以提高工艺效率。
【附图说明】
[0027]图1为本发明的具有可变机械手的四臂搬运机器人的剖视图；
[0028]图2为本发明的具有可变机械手的四臂搬运机器人的平面图；
[0029]图3为本发明的具有可变机械手的四臂搬运机器人的正面图；
[0030]图4为本发明的具有可变机械手的四臂搬运机器人的侧面图；
[0031]图5为显示本发明的具有可变机械手的四臂搬运机器人的机械手的改变水平位置动作的状态图；
[0032]图6为本发明的具有可变机械手的四臂搬运机器人的第I机械臂的水平前进状态图；
[0033]图7为本发明的具有可变机械手的四臂搬运机器人的第I及第2机械臂的水平前进状态图；
[0034]图8为本发明的具有可变机械手的四臂搬运机器人的第I至第3机械臂的水平前进状态图；
[0035]图9为本发明的具有可变机械手的四臂搬运机器人的第I至第4机械臂的水平前进状态图。
[0036]附图标记说明
[0037]10:搬运机器人11:底座框架
[0038]12:滑动器底座13:导轨盒子
[0039]14:导轨15:旋转体
[0040]16:垂直体 17a、17b:垂直滑动器
[0041]18a、18b、18c、18d:水平导轨
[0042]19a、19b、19c、19d:水平滑动器
[0043]20a、20b、20c、20d:机械臂
[0044]21a、21b、21c、21d:机械手
[0045]22a,22b,22c,22d:位置可变块
【具体实施方式】
[0046]下面，参照附图对本发明的具有可变机械手的四臂搬运机器人的结构及作用效果进行说明。
[0047]图1为本发明的具有可变机械手的四臂搬运机器人的剖视图，图2为本发明的具有可变机械手的四臂搬运机器人的平面图，图3为本发明的具有可变机械手的四臂搬运机器人的正面图，图4为本发明的具有可变机械手的四臂搬运机器人的侧面图。
[0048]如图1至图4所示，本发明的具有可变机械手的四臂搬运机器人(10)包括:底座框架(11)、滑动器底座(12)、导轨盒子(13)、导轨(14)、旋转体(15)、垂直体(16)、上下端垂直滑动器(17a、17b)、第I至第4水平导轨(18a至18d)、第I至第4水平滑动器(19a至19d)、第I至第4机械臂(20a至20d)及第I至第4机械手(21a至21d)。
[0049]底座框架(11)支撑搬运机器人(10)并形成为四角框架形状，根据需要，安装有便于移动的滑轮，并安装有多个固定装置，以防止机器人运转时移动。
[0050]并且，为了确认搬运机器人(10)的左右移动距离，底座框架(11)安装有限位器。
[0051]滑动器底座(12)形成于底座框架(11)的内侧，底座框架(11)的两侧上形成有用于水平移动滑动器底座(12)的导轨(14)。
[0052]导轨(14)通过导轨盒子(13)覆盖，在导轨盒子(13)内安装有传输电源及控制信号的线缆(未图示)。
[0053]滑动器底座(12)与两侧的导轨(14)连接，能够进行左右水平移动，并且，旋转体
(15)形成于中心上端，旋转体(15)的前端安装有垂直体(16)。
[0054]旋转体(15)的中心形成有旋转中心轴，旋转体(15)以旋转中心轴为基准旋转。
[0055]旋转体(15)以旋转中心轴为基准，使第I至第4机械臂(20a至20d)旋转360度，垂直体(16)能够使第I至第4机械臂(20a至20d)进行上下往复直线运动。
[0056]导轨形成于垂直体(15)的一侧面，该导轨上下接合有上端垂直滑动器(17a)和下端垂直滑动器(17b)，上下端垂直滑动器(17a、17b)同时进行上下往复直线运动。
[0057]第I及第2水平导轨(18a、18b)安装于上下端垂直滑动器(17a、17b)的外侧的一面，第3及第4水平导轨(18c、18d)安装于上下端垂直滑动器(17a、17b)的外侧的另一面。
[0058]第I至第4水平导轨(18a至18d)向外侧形成有导轨，具有长条状，以便机械臂的水平移动。
[0059]第I及第3水平导轨(18a、18c)为上下排列，第2及第4水平导轨(18b、18d)也具有上下排列的形状。
[0060]第I至第4水平滑动器(19a至19d)能够前后滑动地接合于各个第I至第4水平导轨(18a至18d)的导轨。
[0061]第I至第4机械臂(20a至20d)分别安装于各个第I至第4水