基板盒清洗装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及对基板盒进行清洗的基板盒清洗装置，该基板盒是在对转印电子部件的电路图案时使用的掩模基板或晶片等半导体基板等基板进行保管或者搬运时使用的基板盒。
【背景技术】
[0002]以往，作为这种基板盒清洗装置，已知例如专利文献I (日本特开2005-109523号公报)中公开的基板盒清洗装置。如图22所示，在未设置基板的状态下，该基板盒清洗装置Sa对由底座Cb和覆盖该底座Cb的壳Cs构成且内部容纳基板(未图示)的基板盒C进行清洗。基板盒清洗装置Sa具备形成洁净的空间的室200，在该室200内设置有清洗槽201，所述清洗槽201在将底座Cb和壳Cs各部件分离的状态下容纳并清洗这些部件。清洗槽201具备:槽主体202，其具有向上方开放的开口 ；和盖203，其对槽主体202的开口进行开闭。在室200的外部设置有载置基板盒C的载置台204。手臂机器人205利用把持柄207把持载置于载置台204上的基板盒C并搬送到设置在室200的内部的支承台206。并且，手臂机器人205利用把持柄207把持被支承于支承台206的基板盒C的壳Cs而搬送并放置于清洗槽201的槽主体202内，将基板盒C的底座Cb搬送并放置于清洗槽201的盖203上。然后，在将盖203关闭的状态下，壳Cs和底座Cb在槽主体202内被清洗。若清洗完毕，则清洗槽201的盖203被打开，手臂机器人205对基板盒C的底座Cb和壳Cs顺次地进行搬送，并在支承台206上装配成基板盒C。并且，手臂机器人205再次地将基板盒C从支承台206上搬送到室200外的载置台204上。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1:日本特开2005-109523号公报
【发明内容】
[0006]发明要解决的课题
[0007]然而，在上述以往的基板盒清洗装置Sa中，在使基板盒C从载置台204向室200内的支承台206移动时，由于利用手臂机器人205使其移动，因此必须使手臂机器人205的臂从室200的开口向外面的载置台204突出。因此，动作复杂，相应地编程等变得麻烦。此夕卜，由于利用手臂机器人205的把持柄207抬起整个基板盒C，因此向支承台206的定位也麻烦。
[0008]本发明正是鉴于上述情况而完成的，提供基板盒清洗装置，其使从载置台到支承台的移载简易而不会变得复杂，而且，向支承台的定位也能够容易进行。
[0009]用于解决课题的手段
[0010]本发明的基板盒清洗装置为如下的结构:在上述未设置基板的状态下对基板盒进行清洗，该基板盒具备底座和覆盖该底座的壳，并且在内部容纳上述基板，其中，所述基板盒清洗装置具备:室，其形成洁净的空间；清洗槽，其设置在该室内，在将上述基板盒的底座和壳各部件分离的状态下容纳并清洗这些部件；支承台，其在上述室内对上述基板盒进行支承；和搬送机构，其在上述支承台与清洗槽之间对该基板盒的各部件进行搬送，在上述室设置有开口，该开口能够供上述基板盒通过并且由闸板进开闭，该基板盒清洗装置还具备:载置台，上述基板盒在上述室的上述开口的外部能够被定位并载置于该载置台的规定位置；和移载机构，在上述基板盒的清洗前，使上述闸板打开该移载机构将被载置在上述载置台上的基板盒移载到上述支承台，在该基板盒的清洗后，使上述闸板打开，该移载机构将被支承于上述支承台上的基板盒移载到上述载置台，上述移载机构具备:机台，其搭载上述支承台，并且能够移动至前进位置和后退位置这两个位置，该前进位置是该机台前进到上述载置台侧而在该载置台与上述支承台之间进行上述基板盒的接收和交付的位置，该后退位置是该机台后退到上述室内而在与上述搬送机构之间进行该基板盒的交付和接收的位置；导轨，其将该机台支承成能够移动；和进退驱动部，其使该机台移动至上述前进位置和后退位置这两个位置。
[0011]由此，在清洗基板盒前，室的闸板被打开，移载机构的进退驱动部使机台与支承台一同前进到前进位置，并将被载置于载置台的基板盒接收到支承台上。然后，移载机构的进退驱动部使机台与支承台一同地后退到后退位置，并将闸板关闭。在该后退位置，将支承台上的基板盒的各部件交付到搬送机构。在通过搬送机构进行各部件的搬送而进行各部件的上述清洗后，再次通过搬送机构进行各部件的搬送，在后退位置，将基板盒的各部件接收到支承台上。在该状态下，室的闸板被打开，移载机构的进退驱动部使机台与支承台一同前进到前进位置，并将支承台上的基板盒交付到载置台。然后，例如使机台移动到室内的初始位置而待机。
[0012]在该情况下，由于使支承台本身直接移动而利用支承台来进行基板盒的接收、交付，因此，与以往那样地利用手臂机器人来移动相比，变得无需把持整个基板盒，使从载置台向支承台的载置简易，而不会变得复杂，而且，向支承台的定位也能够容易进行。
[0013]并且，在本发明的基板盒清洗装置中，根据需要可以为如下的结构:在上述基板盒的被上述支承台支承的一侧形成有卡合凹部，在上述支承台上设置有与上述基板盒的上述卡合凹部卡合的卡合凸部，上述载置台形成为具有开放部的叉状，该开放部朝向室侧开放并使上述基板盒的上述卡合凹部露出，上述支承台设置成能够相对于上述移载机构的机台上下移动，基板盒清洗装置具备使该支承台上下移动的上下驱动部，在上述前进位置处，通过使上述支承台上升，使该支承台的卡合凸部与基板盒的卡合凹部卡合而将该基板盒抬起，使该支承台能够在抬起该基板盒的状态下经过上述载置台的开放口而移动。
[0014]由此，在基板盒清洗前，在机台的前进位置处，上下驱动部使支承台上升，使支承台的卡合凸部与基板盒的卡合凹部卡合而抬起基板盒。然后，使机台与支承台一同后退到后退位置，但由于载置台形成为具有开放部的叉状，因此支承台在抬起基板盒的状态下经过载置台的开放口而移动，被定位在后退位置。在该情况下，由于利用支承台本身来直接进行基板盒的接收，因此能够使基板盒的移动可靠，并且能够通过卡合凹部与卡合凸部的卡合而将被定位载置于载置台的规定位置的基板盒定位支承在支承台上的规定位置，能够提高定位精度。
[0015]此外，在基板盒清洗后，当支承台在后退位置处再次将基板盒接收后，使机台与支承台一同前进到前进位置，但由于载置台形成为具有开放部的叉状，因此支承台在抬起基板盒的状态下通过载置台的开放口而进行移动，被定位在前进位置。在该前进位置处，上下驱动部使支承台下降，将支承台的卡合凸部从基板盒的卡合凹部卸下而将基板盒载置到载置台上。在该情况下，由于利用支承台本身来直接进行基板盒的接收、交付，因此能够使基板盒的移动可靠。
[0016]并且，在本发明的基板盒清洗装置中，根据需要可以为如下的结构:在上述支承台上设置有吸附盘，该吸附盘吸附上述基板盒的被支承台支承的一侧。由于基板盒的被支承台支承的一侧的部件被吸附盘吸附，因此能够防止基板盒向左右前后移动的情况，能够利用搬送机构可靠地进行各部件的交付、接收。
[0017]并且，在本发明的基板盒清洗装置中，根据需要可以为如下的结构:在上述基板盒的被上述支承台支承的一侧设置有插销型的锁定部，该锁定部将上述基板盒的各部件锁定成彼此不能脱离，并将这些部件解除锁定成能够脱离，在上述支承台上设置有插销驱动部，在上述前进位置处使上述支承台上升而使该支承台的卡合凸部与上述基板盒的卡合凹部卡合时，所述插销驱动部进行上述锁定部的锁定和解除锁定。由于能够利用插销驱动部来进行锁定和解除锁定，因此能够将基板盒的各部件可靠地分离和装配。
[0018]发明效果
[0019]根据本发明的基板盒清洗装置，由于使支承台本身直接移动而利用支承台来进行基板盒的接收、交付，因此，与以往那样地利用手臂机器人来移动的情况相比，变得无需把持整个基板盒，使从载置台向支承台的载置简易，而不会变得复杂，而且，向支承台的定位也能够容易进行。
【附图说明】
[0020]图1是示出本发明的实施方式的基板盒清洗装置的侧剖视图。
[0021]图2是示出本发明的实施方式的基板盒清洗装置的俯视剖视图。
[0022]图3是示出本发明的实施方式的基板盒清洗装置的横剖视图。
[0023]图4是示出本发明的实施方式的基板盒清洗装置的主视图。
[0024]图5是示出本发明的实施方式的基板盒清洗装置的载置台的立体图。
[0025]图6A是示出本发明的实施方式的基板盒清洗装置的支承台的立体图。
[0026]图6B是示出本发明的实施方式的基板盒清洗装置的支承台对基板盒进行支承的状态的图。
[0027]图7是将本发明的实施方式的基板盒清洗装置的支承台和把持机构与其作用一同示出的图。
[0028]图8A是将本发明的实施方式的基板盒清洗装置的移载机构与其动作一同示出的工序图(其一)。
[0029]图SB是将本发明的实施方式的基板盒清洗装置的移载机构与其动作一同示出的工序图(其二)。
[0030]图SC是将本发明的实施方式的基板盒清洗装置的移载机构与其动作一同示出的工序图(其三)。
[0031]图8D是将本发明的实施方式的基板盒清洗装置的移载机构与其动作一同示出的工序图(其四)。
[0032]图SE是将本发明的实施方式的基板盒清洗装置的移载机构与其动作一同示出的工序图(其五)。
[0033]图9是示出本发明的实施方式的基板盒清洗装置的第一清洗槽(第二清洗槽)的内部结构的立体图。
[0034]图1OA是示出本发明的实施方式的基板盒清洗装置的第一清洗槽对外部壳进行支承的状态的俯视图。
[0035]图1OB是示出本发明的实施方式的基板盒清洗装置的第一清洗槽对外部壳进行支承的状态的侧剖视图。
[0036]图1lA是示出本发明的实施方式的基板盒清洗装置的第一清洗槽对外部底座进行支承的状态的俯视图。
[0037]图1lB是示出本发明的实施方式的基板盒清洗装置的第一清洗槽对外部底座进行支承的状态的侧剖视图。
[0038]图12A是示出本发明的实施方式