基板盒清洗装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及对基板盒进行清洗的基板盒清洗装置，该基板盒是在对转印电子部件的电路图案时使用的掩模基板或晶片等半导体基板等基板进行保管或者搬运时使用的基板盒。
【背景技术】
[0002]以往，作为这种基板盒清洗装置，已知例如专利文献I (日本特开2005-109523号公报)中公开的基板盒清洗装置。如图22所示，在未设置基板的状态下，该基板盒清洗装置Sa对由底座Cb和覆盖该底座Cb的壳Cs构成且内部容纳基板(未图示)的基板盒C进行清洗。基板盒清洗装置Sa具备形成洁净的空间的室200，在该室200内设置有清洗槽201，所述清洗槽201在将底座Cb和壳Cs各部件分离的状态下容纳并清洗这些部件。清洗槽201具备:槽主体202，其具有向上方敞开的开口 ；和盖203，其对槽主体202的开口进行开闭。在室200的外部设置有载置基板盒C的载置台204。手臂机器人205利用把持柄207把持载置于载置台204上的基板盒C并搬送到设置在室200的内部的支承台206。并且，手臂机器人205利用把持柄207把持被支承于支承台206的基板盒C的壳Cs而搬送并放置于清洗槽201的槽主体202内，将基板盒C的底座Cb搬送并放置于清洗槽201的盖203上。然后，在将盖203关闭的状态下，壳Cs和底座Cb在槽主体202内被清洗。若清洗完毕，则清洗槽201的盖203被打开，手臂机器人205对基板盒C的底座Cb和壳Cs顺次地进行搬送，并在支承台206上装配成基板盒C。并且，手臂机器人205再次地将基板盒C从支承台206上搬送到室200外的载置台204上。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1:日本特开2005-109523号公报
【发明内容】
[0006]发明要解决的课题
[0007]然而，例如，在娃片上描绘集成电路图案的光刻技术中，随着LSI (大规模集成电路)的高集成化而采用了作为在真空中被照射EUV(extreme ultrav1let:极端紫外)光的基板的EUV掩模。如图20A和图20B所示，收纳保管该EUV掩模的基板盒为双层结构。该双层结构的基板盒C具备内部容器N和外部容器M。内部容器N由内部底座Nb和覆盖该内部底座Nb的内部壳Ns构成，内部容纳作为基板D的掩模。外部容器M由对内部容器N的内部底座Nb进行支承的外部底座Mb和覆盖外部底座Mb的外部壳Ms构成，内部容纳内部容器N。这样，使基板盒C成为双层结构是为了彻底地防御基板D被外部空气污染。外部容器M暴露于外部空气中，但只要不刻意地将外部容器M打开，内部容器N就不会暴露在外部空气中。
[0008]可以考虑在这样对基板盒C进行清洗的情况下采用上述以往那样的基板盒清洗装置Sa来进行清洗。但是，对于以往的清洗装置Sa，在结构上很难在一个清洗槽201内容纳并清洗外部容器M和内部容器N。即使能够将外部容器M和内部容器N容纳在清洗槽201内来进行清洗，也存在这样的问题:存在附着在暴露于外部空气中的外部容器M上的污染物质在清洗槽201中对内部容器N造成二次污染的可能性。由于内部容器N直接收纳基板D，因此需要更洁净。
[0009]本发明正是鉴于上述情况而完成的，提供基板盒清洗装置，其能够以避免附着于暴露在外部空气中的外部容器上的污染物质将内部容器污染的方式对二者进行清洗，能够提高清洗精度。
[0010]用于解决课题的手段
[0011]本发明的基板盒清洗装置在未设置基板的状态下对基板盒进行清洗，所述基板盒具备:内部容器，其由内部底座和覆盖该内部底座的内部壳构成，并且在内部容纳上述基板；和外部容器，其由对该内部容器的内部底座进行支承的外部底座和覆盖该外部底座的外部壳构成，并且在内部容纳该内部容器，其中，所述基板盒清洗装置为如下的结构:其具备:室，其形成洁净的空间；第一清洗槽，其设置在该室内，在将上述外部容器的外部底座和外部壳各部件分离的状态下容纳并清洗这些部件；第二清洗槽，其设置在上述室内，在将上述内部容器的内部底座和内部壳各部件分离的状态下容纳并清洗这些部件；和搬送机构，其将上述外部容器和上述内部容器的各部件相对于对应的上述第一清洗槽和上述第二清洗槽进行搬送。
[0012]由此，在对基板盒进行清洗时，搬送机构将外部容器的外部底座和外部壳各部件搬送到第一清洗槽，并且将内部容器的内部底座和内部壳各部件搬送到第二清洗槽。然后，在第一清洗槽和第二清洗槽中分别清洗外部容器和内部容器的各部件。在该情况下，由于外部容器和内部容器分别在各自的清洗槽中被清洗，因此，能够防止附着于暴露在外部空气中的外部容器上的污染物质对内部容器造成二次污染的情况，能够提高清洗精度。然后，若清洗结束，则利用搬送机构从第一清洗槽中将外部容器的外部底座和外部壳各部件取出并进行搬送，并且从第二清洗槽中将内部容器的内部底座和内部壳各部件取出并进行搬送。
[0013]并且，在本发明的基板盒清洗装置中，可以为如下的结构:设置有支承台，所述支承台在上述室内在使上述外部底座或者上述外部壳处于下方地装配成能够在垂直方向上分离的状态下支承上述基板盒，在上述基板盒以上述外部底座处于下方的方式被支承于上述支承台的情况下，在清洗上述基板盒前，上述搬送机构按外部壳、内部壳、内部底座、外部底座的顺序将这些部件从上述支承台搬送到各自对应的上述第一清洗槽内和上述第二清洗槽内，在对该基板盒清洗后，按外部底座、内部底座、内部壳、外部壳的顺序将这些部件从对应的上述第一清洗槽内和上述第二清洗槽内搬送到上述支承台上进行装配，在上述基板盒以上述外部壳处于下方的方式被支承于上述支承台的情况下，在清洗上述基板盒前，上述搬送机构按外部底座、内部底座、内部壳、外部壳的顺序将这些部件从上述支承台搬送到各自对应的上述第一清洗槽内和上述第二清洗槽内，在对该基板盒清洗后，按外部壳、内部壳、内部底座、外部底座的顺序将这些部件从对应的上述第一清洗槽内和上述第二清洗槽内搬送到上述支承台上进行装配。
[0014]由此，在清洗前能够利用搬送机构将外部容器和内部容器的各部件顺次地搬送到对应的第一清洗槽和第二清洗槽中，在清洗后能够利用搬送机构将外部容器和内部容器的各部件顺次地从对应的第一清洗槽和第二清洗槽中取出并进行搬送，因此，能够将外部容器和内部容器的各部件可靠地分离并进行装配。
[0015]此外，在本发明的基板盒清洗装置中，可以为如下的结构:上述第一清洗槽和上述第二清洗槽分别具备:槽主体，其具有向上方敞开的开口 ；和能够开闭的盖，在搬送上述基板盒的外部容器或者内部容器的各部件时，该盖使该槽主体的开口打开，在对该各部件清洗时，该盖使该槽主体的开口关闭，上述支承台、上述第一清洗槽和上述第二清洗槽在一个水平方向上串联地排列，上述搬送机构具备:把持机构，其能够分别把持上述外部容器的外部底座和外部壳、上述内部容器的内部底座和内部壳；升降机构，其使该把持机构在垂直方向上升降移动；行进移动机构，其使该把持机构在一个水平方向上行进移动；和控制部，其对上述把持机构、上述升降机构和上述行进移动机构进行驱动控制。
[0016]由此，搬送机构只要通过控制部的控制使把持机构在垂直方向(Z轴方向)和一个水平方向(Y轴方向)这两个轴方向上移动就能够搬送各部件，因此，与以往的手臂机器人相比，能够使结构简易，能够使各部件的分离搬送容易。此外，也可以不较宽地占用空间，能够节省空间。
[0017]并且，在本发明的基板盒清洗装置中，可以为如下的结构:上述把持机构具备:把持柄，其具备能够在与上述一个水平方向垂直的另一水平方向上彼此接近和分离的一对柄单体；和驱动部，其使该把持柄的上述一对柄单体接近和分离，通过上述控制部的控制而使上述把持柄的上述一对柄单体个别地把持上述外部容器的外部底座和外部壳、内部容器的内部底座和内部壳。由此，通过控制部的控制而能够使把持机构在一个水平方向(Y轴方向)和垂直方向(Z轴方向)这两个轴方向上移动并定位，仅使把持柄在另一水平方向(X轴方向)上移动就能够把持各部件，而且，由于利用一对柄单体就能够把持所有的部件，因此能够使结构简单。
[0018]在该情况下，根据需要，可以为如下的结构:上述把持柄的上述一对柄单体具备卡定部，所述卡定部与上述外部容器的外部底座和外部壳、内部容器的内部底座和内部壳的各把持部的形状相应地对它们进行卡定。由此，由于利用卡定部卡定各部件，因此把持变得可靠。
[0019]发明效果
[0020]根据本发明的基板盒清洗装置，由于对基板盒的外部容器和内部容器分别在各自的清洗槽中进行清洗，因此，能够防止附着于暴露在外部空气中的外部容器处的污染物质对内部容器造成二次污染的情况，相应地能够提高清洗精度。
【附图说明】
[0021]图1是示出本发明的实施方式的基板盒清洗装置的侧剖视图。
[0022]图2是示出本发明的实施方式的基板盒清洗装置的俯视剖视图。
[0023]图3是示出本发明的实施方式的基板盒清洗装置的横剖视图。
[0024]图4是示出本发明的实施方式的基板盒清洗装置的主视图。
[0025]图5是示出本发明的实施方式的基板盒清洗装置的载置台的立体图。
[0026]图6A是示出本发明的实施方式的基板盒清洗装置的支承台的立体图。
[0027]图6B是示出本发明的实施方式的基板盒清洗装置的支承台对基板盒进行支承的状态的图。
[0028]图7是将本发明的实施方式的基板盒清洗装置的支承台和把持机构与其作用一同示出的图。
[0029]图8A是将本发明的实施方式的基板盒清洗装置的移载机构与其动作一同示出的工序图(其一)。
[0030]图SB是将本发明的实施方式的基板盒清洗装置的移载机构与其动作一同示出的工序图(其二)。
[0031]图SC是将本发明的实施方式的基板盒清洗装置的移载机构与其动作一同示出的工序图(其三)。
[0032]图8D是将本发明的实施方式的基板盒清洗装置的移载机构与其动作一同示出的工序图(其四)。
[0033]图SE是将本发明的实施方式的基板盒清洗装置的移载机构与其动作一