尺寸检测装置及基板装载装置的制造方法

文档序号:8396981阅读:181来源:国知局
尺寸检测装置及基板装载装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种尺寸检测装置,尤其涉及一种用于对显示面板、PDP或半导体制造行业装载基板时所用的基板装载装置进行尺寸检测的尺寸检测装置及具有该尺寸检测装置的基板装载装置。
【背景技术】
[0002]在TFT-LCD (Thin Film Transistor一Liquid Crystal Display,液晶显不器)制造过程中,需要通过基板装载装置(Cassette)来装载液晶屏或基板。图1所示为现有的基板装载装置的结构示意图。如图1所示,基板装载装置包括:一具有容置空间的框架结构10以及设置在该框架结构10内的多个支柱20,其中,所述支柱20有多个,且所述支柱20可在该框架结构10内进行水平移动,每一个支柱20上下分布有多个支撑杆23 (Slot Pin)。
[0003]在装载不同尺寸的液晶屏或基板时,通过移动支柱,使得相邻两支柱之间的相对距离与待装置的液晶屏或基板的尺寸适配,并通过相邻两支柱上伸出的多个支撑杆将液晶屏或基板分层放置。针对不同尺寸的液晶屏或基板,基板装载装置需要修改成对应的尺寸,即,需要移动相邻两支柱的位置,以在相邻两支柱之间放置液晶屏或基板。
[0004]目前基板装载装置的尺寸修改全部依靠人员手动修改,而没有专用的检测设备,在修改尺寸完成后,由操作人员确认并投入使用。但每日的基板装载装置的尺寸修改次数比较多,并且没有专用的检测设备来检测修改后的基板装载装置的尺寸,极易出现尺寸修改错误,导致机械手在向基板装载装置取放液晶屏或基板时,发生碰撞,而导致液晶屏或基板损伤,或者导致机械手损伤,从而造成损失。

【发明内容】

[0005]本发明的目的在于提供一种尺寸检测装置及具有该尺寸检测装置的基板装载装置,能够对基板装载装置的尺寸进行检测,以防止由于操作人员失误所造成的损失。
[0006]本发明所提供的技术方案如下:
[0007]一种尺寸检测装置,用于检测被测件中第一部件和第二部件是否处于预设位置;所述尺寸检测装置包括:
[0008]用于沿第一方向移动至第一预定位置上,检测所述第一部件的当前位置,并在所述第一部件的当前位置未处于与所述第一预定位置对应的第三预定位置时,发出第一信号的第一检测单元;
[0009]用于沿第一方向移动至第二预定位置上,检测所述第二部件的当前位置,并在所述第二部件的当前位置未处于与所述第二预定位置对应的第四预定位置时,发出第二信号的第二检测单元;
[0010]用于移动所述第一检测单元和所述第二检测单元的移动单元;
[0011]以及,用于在接收到所述第一信号和/或所述第二信号时,进行报警的报警单元。
[0012]进一步的,所述第一检测单元包括:
[0013]用于设置于所述第一部件的一侧,发射平行激光的第一激光发射器,其中所述第一激光发射器发射的平行激光所形成的平面与所述第一方向相垂直;
[0014]以及,用于设置于所述第一部件的另一侧,接收由所述第一激光发射器发射的平行激光,并在接收到的激光光量小于预定激光光量时,发送所述第一信号的第一激光接收器。
[0015]进一步的,所述第二检测单元包括:
[0016]用于设置于所述第二部件的一侧,发射平行激光的第二激光发射器,其中所述第二激光发射器发射的平行激光所形成的平面与所述第一方向相垂直;
[0017]以及,用于设置于所述第二部件的一侧,接收由所述第二激光发射器发射的平行激光,并在所接收到的激光光量小于预定激光光量时,发送所述第二信号的第二激光接收器。
[0018]进一步的,所述移动单元包括:用于在所述第一方向上移动所述第一检测单元和所述第二检测单元的第一移动机构。
[0019]进一步的,所述第一移动机构包括:
[0020]用于固定于被测件上的固定板;
[0021]用于安装所述第一检测单元的第一连接杆;
[0022]用于安装所述第二检测单元的第二连接杆;
[0023]设置于所述固定板上,并沿所述第一方向延伸的导轨;
[0024]设置于所述导轨上,且能够沿所述导轨移动的第一滑块和第二滑块,其中
[0025]所述第一滑块与所述第一连接杆连接,用于带动所述第一连接杆移动,
[0026]所述第二滑块与所述第二连接杆连接,用于带动所述第二连接杆移动;
[0027]以及,用于驱动所述第一滑块和所述第二滑块沿所述导轨移动的驱动结构。
[0028]进一步的,所述驱动结构包括:
[0029]沿所述第一方向设置的第一丝杆,所述第一丝杆与所述第一滑块配合;
[0030]沿所述第一方向设置的第二丝杆,所述第二丝杆与所述第二滑块配合;
[0031]用于驱动所述第一丝杆的第一驱动电机;
[0032]以及,用于驱动所述第二丝杆的第二驱动电机。
[0033]进一步的,所述第一部件和所述第二部件均为沿第二方向延伸的柱状结构,所述第二方向垂直于所述第一方向;
[0034]所述移动单元还包括:用于在所述第二方向上移动所述第一检测单元和所述第二检测单元的第二移动机构。
[0035]进一步的,所述第二移动机构包括:
[0036]用于驱动所述第一检测单元在所述第二方向上移动的第一气缸;
[0037]以及用于驱动所述第二检测单元在所述第二方向上移动的第二气缸。
[0038]进一步的,所述尺寸检测装置还包括用于控制所述移动单元的控制单元;
[0039]所述控制单元包括:
[0040]存储模块,用于存储所述第一检测单元和所述第二检测单元的预定位置信息;
[0041]控制模块,用于根据所述存储模块所存储的预定位置信息,控制所述移动单元将所述第一检测单元移动至所述第一预定位置,和/或,控制所述移动单元将所述第二检测单元移动至所述第二预定位置。
[0042]进一步的,所述被测件为用于装载液晶屏或基板的基板装载装置,
[0043]所述基板装载装置包括:
[0044]沿第二方向延伸的第一支柱和第二支柱;
[0045]其中,所述第一支柱和所述第二支柱能够在该框架结构内沿所述第一方向移动,且所述第一支柱和所述第二支柱上沿第二方向分布有用于支撑液晶屏或基板的多个支撑杆;
[0046]其中所述第一部件为所述第一支柱,所述第二部件为所述第二支柱。
[0047]一种基板装载装置,包括一装置主体,所述装置主体包括:
[0048]沿第二方向延伸的第一支柱和第二支柱;
[0049]所述第一支柱和所述第二支柱能够在该框架结构内沿所述第一方向移动,且所述第一支柱和所述第二支柱上沿第二方向分布有用于支撑液晶屏或基板的多个支撑杆;
[0050]以及,如上所述的尺寸检测装置,其中所述第一部件为所述第一支柱,所述第二部件为所述第二支柱。
[0051]本发明所带来的有益效果如下:
[0052]本发明所提供的尺寸检测装置,可以用于检测一被测件中两部件是否位于预定位置上,从而检测两部件之间的相对距离是否满足预设距离,其在用于检测基板装载装置的尺寸(即基板装载装置中两支柱之间的距离)时,可以对基板装载装置中两支柱的位置进行检测,从而可在基板装载装置使用前,对由操作人员手动修改后的基板装载装置的尺寸进行检测,若操作人员手动修改后的基板承载装置的尺寸有误,则可发出警报进行错误提示,以此有效防止因基板承载装置的尺寸错误而导致的液晶屏或机械手撞坏,减少不必要的广品损失。
[0053]在本发明所提供的进一步优选方案中,该尺寸检测装置还可以在用于检测基板承载装置的尺寸时,避免因基板承载装置的支柱上的支撑杆缺失、变形等外部条件而导致的检测误差。
[0054]此外,在本发明所提供的进一步优选方案中,该尺寸检测装置还可以实现快速切换,对应多种不同尺寸的液晶屏或基板而对基板装载装置进行检测,通过高精度自动检测,达到有效、快速地防止由于人员操作所导致的失误,从而防止撞屏带来的产品损伤和机械手损伤。
【附图说明】
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