制造具有堤结构的有机电子器件的方法,堤结构以及用其所制得的电子器件的制作方法_3

文档序号:8460867阅读:来源:国知局
[0051] 此外,本发明的一些优选实施方案中,OSC材料为包含一种或多种选自噻吩-2, 5-二基,3-取代噻吩-2, 5-二基,任选取代的噻吩并[2, 3-b]噻吩-2, 5-二基,任选取代的 噻吩并[3, 2-b]噻吩-2, 5-二基,硒吩-2, 5-二基,或3-取代的硒吩-2, 5-二基的重复单 元的聚合物或共聚物。
[0052] 进一步优选的p型OSC是包含电子受体和电子供体单元的共聚物。优选实施方案 的优选共聚物是例如包含优选被一个或多个如上定义的基团R所4,8_二取代的苯并[1, 2-b :4, 5-b']二噻吩-2, 5-二基单元,且进一步包含一种或多种选自组A及组B的芳基或 杂芳基单元,优选包含至少一种组A的单元和至少一种组B的单元的共聚物,其中组A由具 有电子供体性质的芳基或杂芳基组成而组B由具有电子受体性质的芳基或杂芳基组成,且 优选地,
[0053] 组A由以下组成:硒吩-2, 5-二基,噻吩-2, 5-二基,噻吩并[3, 2-b]噻吩-2, 5-二 基,噻吩并[2, 3-b]噻吩-2, 5-二基,硒吩并[3, 2-b]硒吩-2, 5-二基,硒吩并[2, 3-b] 硒吩-2, 5-二基,硒吩并[3, 2-b]噻吩-2, 5-二基,硒吩并[2, 3-b]噻吩-2, 5-二基,苯 并[1,2-b :4, 5-b']二噻吩-2, 6-二基,2, 2-二噻吩,2, 2-二硒吩,二噻吩并[3, 2-b : 2',3'-(1]噻咯-5,5-二基,4!1-环戊[2,1-13:3,4-13,]二噻吩-2,6-二基,2,7-二-噻 吩-2_基-咔唑,2,7-二-噻吩-2-基-芴,引达省(丨11(1 &。611〇)并[1,2-13:5,6-1^]二噻 吩-2,7-二基,苯并[1",2" :4,5;4",5":4',5']双(噻咯(811〇16)并[3,2-13 : 3',2'-13,]噻吩)-2,7-二基,和2,7-二-噻吩-2-基-引达省并[1,2-13:5,6-13,]二 噻吩,2,7_ 二-噻吩-2-基-苯并[1〃,2":4,5;4",5":4' ,5']双(噻咯并[3,2-b: 3',2< ]噻吩)-2,7-二基和 2,7-二-噻吩-2-基-菲并[1,10,9,8-。,(1,6,尺8] 咔唑,它们全部任选地被一个或多个、优选一个或两个如上定义的基团R所取代,和
[0054] 组B由以下组成:苯并[2, 1,3]噻二唑-4, 7-二基,5, 6-二烷基-苯并[2,1,3] 噻二唑-4, 7-二基,5, 6-二烷氧基苯并[2, 1,3]噻二唑-4, 7-二基,苯并[2, 1,3]硒二 唑-4, 7-二基,5, 6-二烷氧基-苯并[2, 1,3]硒二唑-4, 7-二基,苯并[1,2, 5]噻二 唑-4, 7-二基,苯并[1,2, 5]硒二唑-4, 7-二基,苯并[2, 1,3]噁二唑-4, 7-二基,5, 6-二 烷氧基苯并[2, 1,3]噁二唑-4, 7-二基,2H-苯并三唑-4, 7-二基,2, 3-二氰基-1,4-亚苯 基,2, 5-二氛基,1,4-亚苯基,2, 3-二氣_1,4-亚苯基,2, 5-二氣_1,4-亚苯基,2, 3, 5, 6-四 氣-1,4_亚苯基,3, 4_二氣噻吩_2, 5_二基,噻吩并[3, 4_b]啦嘆_2, 5_二基,卩奎喔 啉-5, 8-二基,噻吩并[3, 4-b]噻吩-4, 6-二基,噻吩并[3, 4-b]噻吩-6, 4-二基,和3, 6-吡 咯并[3, 4-c]吡咯-1,4-二酮,它们都任选地被一个或多个、优选一个或两个如上定义的R 基团取代。
[0055] 在本发明的其它优选实施方案中,OSC材料是取代的寡并苯诸如并五苯、并四苯或 蒽,或其杂环衍生物。例如在US6690029或W02005/055248A1或US7385221中公开的双(三 烷基甲硅烷基乙炔基)寡并苯或双(三烷基甲硅烷基乙炔基)杂并苯也适用。
[0056] 如W02005/055248A1中所述,在适宜且需要调整流变特性的情况下,本发明的一 些实施方案采用了包含一种或多种有机粘结剂的OSC组合物。
[0057] 该粘结剂通常为聚合物,可包含绝缘粘结剂或半导体粘结剂或其混合物,它们在 本文中称为有机粘结剂,聚合物粘结剂或简单称为粘结剂。
[0058] 根据本发明的优选粘结剂为低介电常数的材料,即具有介电常数ε为3. 3或更低 的那些。该有机粘结剂优选具有3.0或更低、更优选2. 9或更低的介电常数ε。优选有机 粘结剂介电常数ε为1.7或更高。特别优选粘结剂的介电常数范围为2. 0-2. 9。尽管不 希望受任何特定理论约束,据信使用介电常数ε大于3. 3的粘结剂可导致电子器件(例如 0FET)中OSC层迀移率减小。此外,高介电常数粘结剂可导致器件电流滞后增加,这是不希 望的。
[0059] 合适的有机粘结剂的例子包括聚苯乙烯,或苯乙烯与α-甲基苯乙烯的聚 合物或共聚物,或可适宜使用包括苯乙烯、α-甲基苯乙烯和丁二烯的共聚物。例如 US2007/0102696A1中公开了其它适合粘结剂的例子。
[0060] 在一类优选实施方案中,有机粘结剂是至少95 %的原子、优选至少98 %的原子和 最优选所有原子由H、F和C原子组成的那些。
[0061] 粘结剂优选能形成膜,更优选柔性膜。
[0062] 粘结剂也可选自可交联粘结剂,如丙烯酸酯、环氧化物、乙烯基醚、及硫醇烯 (thiolene),优选具有足够低得介电常数,更优选为3. 3或更低。粘结剂也可为介晶或液 晶。
[0063] 在另一个优选实施方案中,粘结剂是半导体粘结剂,其包含共轭键,尤其是共轭双 键和/或芳环。合适和优选的粘结剂为例如在US6630566中公开的聚三芳基胺。
[0064] 粘结剂与OSC之比通常为以重量计20 : 1至1 : 20,优选10 : 1至1 : 10,更 优选5 : 1至1 : 5,又更优选3 : 1至1 : 3,进一步优选2 : 1至1 : 2,尤其为1 : 1。 已发现将式I化合物在粘结剂中稀释对电荷迀移率几乎无或无不利影响,这与现有技术预 期的相反。
[0065] 平坦化层、介电层和栅绝缘层
[0066] 本发明电子器件的平坦化层、介电层和栅绝缘层可以是任何合适的介电材料。优 选的介电材料是以下所定义的多环稀径。
[0067] 本发明的场效应晶体管优选采用由介电常数ε最多3.0的介电材料组成的介电 层。更优选地,所述介电常数ε是1.3-3. 0的范围,更优选1.7-3. 0,仍然更优选2. 0-3.0 或2. 5-3.0。或者在一些场效应晶体管中,所述介电常数ε可以是2. 0-2. 6。
[0068] 如本文中定义,术语"多环烯烃","多环状烯烃"和"降冰片烯型"可以互换使用且 指可加成聚合的单体,或所得的重复单元,包括至少一种降冰片烯部分,诸如以下所示结构 Al或A2的降冰片烯部分。最简单的降冰片烯型或多环状烯烃单体双环[2. 2. 1]庚-2-烯 (Al)通常被称为降冰片烯。
[0069]
【主权项】
1. 制造电子器件的方法,其中使用溶胀溶剂选择性地溶胀层,从而形成界定井的堤结 构。
2. 根据权利要求1的方法,所述方法包括以下步骤: a) 将包含多环烯烃聚合物的材料沉积在基板上以形成层;和 b) 使用溶胀溶剂选择性地溶胀所述层从而形成界定井的堤结构。
3. 根据前述权利要求任一项或多项的方法,所述方法包括以下步骤: a')将包含多环烯烃聚合物的材料沉积在基板上以形成层; b')使所述层的表面的一部分曝光于光化辐射;和 c')使用溶胀溶剂选择性地溶胀所述层从而形成界定井的堤结构。<
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