同，例如，可以举出将平行程度的偏差控制在2%以下(即，在基板上偏移的距离除以细缝间距得出的数值在2%以下)。
[0049]本发明中所述的“位置对照单元”，没有特别的限定，只要是在测量离子束流时能够判断该离子束流通过离子束流透过单元的细缝入射到基板上的位置与当离子束流垂直入射时到达基板上的位置是否重合即可，可以是在基板上设置的标准位置线，也可以是在基板上设置的标准位置点，也可以是在基板上设置的标准位置线和在基板上设置的标准位置点的结合。
[0050]本发明中所述的“所测量的电流位置与位置对照单元一致”，是指通过该一致能够确定离子束流通过离子束流透过单元的细缝入射到基板上的位置与当该离子束流垂直入射时到达基板上的位置重合。特别地，当所述位置对照单元是在基板上设置的标准位置线或标准位置点时，所述“所测量的电流位置与位置对照单元一致”是指所测量的电流位置与标准位置线重合，或标准位置点位于所测量的电流位置线上。
[0051 ] 所述标准位置线，是指在基板上设置的与离子束流透过单元的细缝的中间线两者之间构成的平面与基板面垂直的线。当离子束流通过离子束流透过单元的细缝平行且垂直入射基板时，通过细缝入射在基板上的位置的中心线与标准位置线重合。所述标准位置点，是指在基板上设置的与离子束流透过单元的细缝的中间线两者之间构成的平面与基板面垂直的点。当离子束流通过离子束流透过单元的细缝平行且垂直入射基板时，标准位置点位于通过细缝入射在基板上的位置的中心线上。
[0052]从能够更直观地获得所测量的电流的位置与位置对照单元是否一致的角度考虑，优选采用标准位置线。
[0053]虽然每一条离子束流透过单元的细缝都能够对应于一条标准位置线，但是，对标准位置线的设置条数，并没有特别限定，可以设置一条或多条，但从准确性高且不过多增加工艺成本的角度考虑，优选设置3?10条。
[0054]当所述标准位置线设置多条时，仅通过判断离子束流通过离子束流透过单元入射到基板上的位置的中心线与相对应的标准位置线是否都能够分别重合，就能够确定离子束流是否平行地垂直于基板入射。当离子束流入射到基板上的位置的中心线与对应的标准位置线都能够分别重合，则能够确定离子束流平行地垂直于基板入射，当离子束流入射到基板上的位置的中心线与对应的标准位置线不是都能够重合，则能够确定离子束流并非平行地垂直于基板入射。
[0055]当所述标准位置线设置一条时，可以结合所测量的电流间的位置间距和所述细缝间的间距是否相等来进行进一步的判断。另外，在所述标准位置线设置多条时，也可以借助于所测量的电流间的位置间距和所述细缝间的间距是否相等来进行进一步的判断。在结合所测量的电流间的位置间距和所述细缝间的间距是否相等来进行进一步的判断时，当所测量的电流间的位置间距和所述细缝间的间距相等，则能够确定离子束流平行地垂直于基板入射，当所测量的电流间的位置间距和所述细缝间的间距不相等，则能够确定离子束流并非平行地垂直于基板入射。
[0056]本发明中所述的“所测量的电流间的位置间距和所述细缝间的间距相等”，是指测量的所有电流条带之间的位置间距与所对应的所有细缝之间的间距相等，举例来说，如图3所示，从上往下数第I条细缝和第2条细缝之间的间距，与基板上的从上往下数第I条电流带与第2条电流带之间的间距相等，从上往下数第2条细缝和第3条细缝之间的间距，与基板上的从上往下数第2条电流带与第3条电流带之间的间距相等，以此类推，所有的间距均相等。
[0057]所述细缝可以是2条或3条以上，并没有特别限定。但是，当为3条以上时，与细缝为2条时相比，能够扩大测量的离子束流的范围，能够更加准确地判断离子束流是否平行，因此，优选为3条以上。另外，如果细缝条数太多，会增加工艺成本，因此，优选为10条以下。
[0058]另外，虽然本说明书中对标准位置线的设置条数与对细缝的设置条数的限定是相互独立地进行的，但是，标准位置线是对应于细缝而设置的，因此，标准位置线的设置条数小于等于细缝的设置条数。
[0059]所述细缝之间的间距可以相等或不相等，并没有特别限定。但是，当细缝之间的间距相等，离子束流平行地垂直入射时，则反馈在基板上的电流的间距之间也相等。此时，当设置有一条标准位置线时，在判断所测量的电流位置与标准位置线是否一致以外，只需判断两条细缝之间的间距与两条电流之间的间距是否相等，就能够准确地判断离子束流是否平行地垂直入射。当设置有多条标准位置线时，在判断所测量的电流位置与标准位置线是否一致以外，只需判断两条细缝之间的间距与两条电流之间的间距是否相等，就能够更加准确地判断离子束流是否平行地垂直入射。由此可见，当细缝之间的间距相等时，能够更方便、直观地判断离子束流是否平行地垂直入射。
[0060]上述对于使用标准基准线作为位置对照单元的结构及判断的原理进行了详细的说明，在使用标准位置点的情形下与此基本相同。
[0061]在使用标准位置点时，与标准位置线同样地，对于标准位置点的设置个数，并没有特别限定，可以设置一个或多个，但从准确性高且不过多增加工艺成本的角度考虑，优选设置3?10个。但是，需要说明的是，设置多个标准位置点时，该多个标准位置点是指对应于不同的离子束流透过单元的细缝的多个点。
[0062]当所述标准位置点设置多个时，仅通过判断离子束流通过离子束流透过单元入射到基板上的位置的中心线与相对应的标准位置点是否都能够分别重合，就能够确定离子束流是否平行地垂直于基板入射。当离子束流入射到基板上的位置的中心线与对应的标准位置点都能够分别重合，则能够确定离子束流平行地垂直于基板入射，当离子束流入射到基板上的位置的中心线与对应的标准位置点不是都能够重合，则能够确定离子束流并非平行地垂直于基板入射。
[0063]当所述标准位置点设置一个时，可以结合所测量的电流间的位置间距和所述细缝间的间距是否相等来进行进一步的判断。另外，在所述标准位置点设置多个时，也可以借助于所测量的电流间的位置间距和所述细缝间的间距是否相等来进行进一步的判断。在结合所测量的电流间的位置间距和所述细缝间的间距是否相等来进行进一步的判断时，当所测量的电流间的位置间距和所述细缝间的间距相等，则能够确定离子束流平行地垂直于基板入射，当所测量的电流间的位置间距和所述细缝间的间距不相等，则能够确定离子束流并非平行地垂直于基板入射。
[0064]另外，当所述位置对照单元是在基板上设置的标准位置线和标准位置点的结合时，其结构与判断的原理与上述基本相同。但是，需要说明的是，标准位置点位于标准位置线上则不能起到位置对照的作用，因此，标准位置点不能位于标准位置线上。
[0065]所述离子束流透过单元可以是石墨治具、碳化硅治具、不锈钢治具等，没有特别限定。但是，从耐热性、耐束流侵蚀性能优异且细缝保持性能强的角度考虑，优选是石墨治具。
[0066]所述离子束流透过单元的细缝的宽度，没有特别限定，优选是5?10mm，在该范围内能够更好地保证离子束流的精细度，便于电流收集单元测量基板上不同位置的电流。
[0067]所述细缝之间的间距，没有特别限定，优选是80?100mm，在该范围内能够更好地保证通过细缝的离子束流之间不会发生相互干涉，从而使电流收集单元能够更加准确地测量基板上不同位置的电流。