羧酸酯基乙基)-L-天冬氨酸、N，N’ - 二(2-羟基苄基)乙二胺-N，N’ - 二乙酸等。
[0040]另外，作为能够用作有机酸的羧酸，可以举出甲酸、乙醇酸、丙酸、乙酸、丁酸、戊酸、己酸、草酸、丙二酸、戊二酸、己二酸、苹果酸、琥珀酸、庚二酸、巯基乙酸、乙醛酸、氯乙酸、丙酮酸、乙酰乙酸、戊二酸等饱和羧酸；丙烯酸、甲基丙烯酸、丁烯酸、富马酸、马来酸、中康酸、柠康酸、丙烯三羧酸等不饱和羧酸；苯甲酸类、甲苯甲酸、邻苯二甲酸类、萘甲酸类、均苯四酸、萘二甲酸等环状不饱和羧酸等。
[0041]作为氧化剂，例如可以使用过氧化氢、过氧化物、硝酸盐、碘酸盐、过碘酸盐、次氯酸盐、亚氯酸盐、氯酸盐、高氯酸盐、过硫酸盐、重铬酸盐、高锰酸盐、铈酸盐、钒酸盐、臭氧水和银(II)盐、铁(III)盐、其有机络合物盐等。
[0042]另外，切削液31中还可以混有防蚀剂。通过混合防蚀剂，能够防止QFN基板10所含有的金属的腐蚀(溶出)。作为防蚀剂，例如优选使用在分子内具有3个以上氮原子且具有稠环结构的杂芳香环化合物、或者在分子内具有4个以上氮原子的杂芳香环化合物。另外，芳香环化合物优选含有羧基、磺基、羟基、烷氧基。具体地说，优选是四唑衍生物、1,2, 3-三唑衍生物以及1，2，4-三唑衍生物。
[0043]作为能够用作防蚀剂的四唑衍生物，可以举出在形成四唑环的氮原子上不具有取代基且在四唑的5位引入有选自由磺基、氨基、氨基甲酰基、羧酰胺基、氨磺酰基以及磺酰胺基组成的组中的取代基或者引入有取代有选自由羟基、羧基、磺基、氨基、氨基甲酰基、羧酰胺基、氨磺酰基以及磺酰胺基组成的组中的至少I个取代基的烷基的四唑衍生物。
[0044]另外，作为能够用作防蚀剂的1，2，3-三唑衍生物，可以举出在形成1，2，3_三唑环的氮原子上不具有取代基且在1，2，3-三唑的4位和/或5位引入有选自由羟基、羧基、磺基、氨基、氨基甲酰基、羧酰胺基、氨磺酰基以及磺酰胺基组成的组中的取代基或引入有取代有选自由羟基、羧基、磺基、氨基、氨基甲酰基、羧酰胺基、氨磺酰基以及磺酰胺基组成的组中的至少I个取代基的烷基或芳基的1，2，3-三唑衍生物。
[0045]另外，作为能够用作防蚀剂的1，2，4-三唑衍生物，可以举出在形成1，2，4_三唑环的氮原子上不具有取代基且在1，2，4-三唑的2位和/或5位引入有选自由磺基、氨基甲酰基、羧酰胺基、氨磺酰基以及磺酰胺基组成的组中的取代基或引入有取代有选自由羟基、羧基、磺基、氨基、氨基甲酰基、羧酰胺基、氨磺酰基以及磺酰胺基组成的组中的至少I个取代基的烷基或芳基的1，2，4-三唑衍生物。
[0046]上述的实施方式中，对将本发明的切削方法用于QFN基板10的例子进行了说明，但被加工物并不限于此，本发明的切削方法还能用于在预定分割线上形成有TEG(TestElement Group)的晶片或者如金属板那样仅由金属构成的被加工物。
[0047]实施本发明的切削方法时，根据被加工物的种类，优选在从切削液供给喷嘴30供给切削液31的同时，一边在切削刀16的径向向切削刀16提供超声波振动，一边实施切削步骤。
[0048]图3中给出了能够对切削刀提供超声波振动的切削单元的截面图。切削单元12A的主轴外壳32具有内膛34，主轴36以能够旋转的方式被收容在该内膛34中。
[0049]在主轴36设置有对切削刀44提供超声波振动的超声波振动子48。超声波振动子48由在主轴36的轴向极化的环状压电元件50和安装在该压电元件50的两侧极化面的环状电极板52、54构成。
[0050]压电元件50由钛酸钡、锆钛酸铅、钽酸锂等压电陶瓷构成。如此构成的超声波振动子48通过后述的电力供给单元向环状电极板52、54施加预定频率的交流电力时，在主轴36产生超声波振动。此外，超声波振动子48可以在主轴36的轴向设置2个以上。
[0051]切削单元12A具有驱动主轴36旋转的电动马达56。电动马达56例如由永久磁石式马达构成。电动马达56由转子60和在转子60的外周侧并设置在主轴外壳32中的定子线圈62构成，转子60由安装在形成于主轴36中间部的马达安装部58的永久磁石构成。
[0052]如此构成的电动马达56通过后述的电力供给单元向定子线圈62施加交流电力，从而转子60旋转，由此安装有转子60的主轴36旋转。
[0053]切削单元12A还具有对超声波振动子48施加交流电力的同时对电动马达56施加交流电力的电力供给单元64。电力供给单元64包含设置在主轴36的一端(右端)的旋转变压器66。
[0054]旋转变压器66具有设置在主轴36右端的受电单元68和与受电单元68相向设置的供电单元70。受电单元68由安装在主轴36的转子芯72和缠绕在转子芯72上的受电线圈74构成。
[0055]在如此构成的受电单元68的受电线圈74的一端借助导电线而连接有压电元件50的电极板52，在受电线圈74的另一端借助导电线而连接有压电元件50的电极板54。
[0056]供电单元70由设置在受电单元68外周侧的定子芯76和设置在定子芯76的供电线圈78构成。通过电气配线80向如此构成的供电单元70的供电线圈78供给交流电力。
[0057]电力供给单元64具有交流电源82、插入在交流电源82和旋转变压器66的供电线圈78之间的电压调整单元84、调整向供电单元70供给的交流电力的频率的频率调整单元86、控制电压调整单元84和频率调整单元86的控制单元88、以及向控制单元88输入提供给切削刀44的超声波振动的振幅等的输入单元90。
[0058]交流电源82通过控制回路94和电气配线92向电动马达56的定子线圈62供给交流电力。作为频率调整单元86，可以使用株式会社NF回路设计提供的数字信号发生器，商品名“DF-1905”。利用DF-1905，能够在1Hz?500kHz的范围内适当调整频率。
[0059]下面对切削单元12A的作用进行说明。由电力供给单元64向电动马达56的定子线圈62供给交流电力。结果，电动马达56旋转，从而主轴36旋转，用螺栓46安装在主轴36的前端部的切削刀44发生旋转。44a是切削刀44的刀刃。
[0060]另一方面，电力供给单元64通过控制单元88控制电压供给单元84和频率调整单元86，并将交流电力控制在预定的电压值，同时将交流电力的频率调整为预定频率，向构成旋转变压器66的供电单元70的供电线圈78供给预定频率的交流电力。
[0061]如此，预定频率的交流电力被供给至供电线圈78时，通过旋转的受电单元68的受电线圈74，在超声波振动子48的电极板52与电极板54之间施加预定频率的交流电力。
[0062]结果，超声波振动子48在径向反复发生位移而发生超声波振动。该超声波振动通过主轴36传递至切削刀44，从而切削刀44在径向发生超声波振动。
[0063]本实施方式的切削方法中，从切削液供给喷嘴30供给切削液31的同时，一边在切削刀44的径向对高速旋转的切削刀44提供超声波振动，一边对被加工物进行切削。用切削刀对具有金属膜的蓝宝石、碳化硅(SiC)、玻璃等硬质脆性材料进行切削时，在切削面会出现缺口，但通过一边对切削刀提供超声波振动一边对这样的被加工物进行切削，能够抑制在切削面产生缺口。另外，通过一边供给切削液31 —边进行切削，能够抑制毛刺的产生。
[0064]符号说明
[0065]4吸引台
[0066]8固定夹具(固持夹具)
[0067]10 QFN 基板
[0068]12U2A切削单元
[0069]14、36 主轴
[0070]16、44 切削刀
[0071]26a、26b、26c 器件区域
[0072]30切削液供给喷嘴
[0073]31切削液
[0074]48超声波振动子
[0075]50压电元件
[0076]52、54 电极板
[0077]64电力供给单元
【主权项】
1.一种切削方法，其是用切削刀对在预定切削位置至少含有金属的被加工物进行切削的切削方法，其中， 该方法包括切削步骤，在该步骤中，一边将切削液供给至切削刀切入被加工物的加工点，一边用该切削刀对被加工物的预定切削位置进行切削， 该切削液含有有机酸和氧化剂。2.如权利要求1所述的切削方法，其中，该切削液还含有防蚀剂。3.如权利要求1或2所述的切削方法，其中，一边在该切削刀的径向对该切削刀提供超声波振动，一边实施该切削步骤。
【专利摘要】本发明提供一种切削方法，用切削刀对至少在预定切削位置含有作为延性材料的金属的被加工物进行切削时，能够抑制毛刺的发生。其是用切削刀对在预定切削位置至少含有金属的被加工物进行切削的切削方法，其具有在将切削液供给至切削刀切入被加工物的加工点的同时用该切削刀对被加工物的预定切削位置进行切削的切削步骤，该切削液含有有机酸和氧化剂。
【IPC分类】H01L21/78, H01L21/304
【公开号】CN104934308
【申请号】CN201510111551
【发明人】竹之内研二
【申请人】株式会社迪思科
【公开日】2015年9月23日
【申请日】2015年3月13日
【公告号】US20150262881