保管架的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种保管FOUP的保管架。
【背景技术】
[0002]在半导体输送系统中，设置有暂时保管作为晶圆载体的FOUP的保管架。作为保管架，存在从桥式输送车的轨道、顶棚悬吊的构造，存在若桥式输送车行驶则振动传递到该保管架的情况。晶圆是精密部件，因此期待减少振动所带来的影响。
[0003]作为抑制振动的机构，例如公知有专利文献I所记载的机构。在专利文献I所记载的机构中，在供货物载置的承载台设置有粘弹性体。
[0004]专利文献1:日本特开2012-15371号公报
[0005]通常，为了获得使用防振部件(弹性体)来降低振动的效果，而需要将防振部件的弹性常数设定为较低，以使由防振对象物与防振部件构成的系统的固有频率和输入振动的固有频率之比增大。然而，若降低防振部件的弹性常数，则会产生在维持防振部件的弹性的状态下无法支承防振对象物的问题。
【发明内容】
[0006]本发明是为了解决上述课题而完成的，其目的在于提供一种能够确保耐载荷并且降低振动的保管架。
[0007]本发明的一个方面所涉及的保管架具备供对象物载置的载置部、以及支承该载置部的框部，上述保管架的特征在于，载置部具备:经由第一弹性体配置于框部的框架、以及经由第二弹性体配置于框架并且供对象物载置的架板。
[0008]在该保管架中，框架经由第一弹性体配置于框部，供对象物载置的架板经由第二弹性体配置于框架。由此，在保管架中，第一弹性体与第二弹性体被串联地设置。因此，在保管架中，能够确保耐载荷，并且为了获得防振效果而将弹性常数设定为较低，从而能够降低振动。
[0009]在一实施方式中，对象物也可以是收纳晶圆的FOUP，载置部具备配置于框架与架板之间并且刚性比第一弹性体以及第二弹性体高的第三弹性体，在将FOUP载置到架板时，第三弹性体配置于FOUP的盖所在的一侧。通常，FOUP的盖侧较重。因此，FOUP的重心偏向盖侧。因此，在保管架中，将刚性比第一弹性体以及第二弹性体高的第三弹性体配置于FOUP的盖所在的一侧。由此，在保管架中，能够减少振动，并且抑制FOUP倾斜。
[0010]在一实施方式中，框部也可以具备相互对置的一对梁部件，框架架设于一对梁部件，并具有:凹部，其位于一对梁部件之间，并具有沿一对梁部件的对置方向延伸的基部、与从该基部的两端部立起的一对立起部；以及伸出部，其从立起部的端部伸出，并且经由第一弹性体安装于梁部件，第二弹性体配置于框架的凹部。由此，在保管架中，即便是串联地设置第一弹性体与第二弹性体的结构，也能够抑制架板的位置增高。因此，在保管架中，能够实现载置部的高度方向的省空间化。
[0011]在一实施方式中，框部也可以安装于行驶台车的轨道或者支承该轨道的支承部件。由此，在保管架中，无需另外准备用于支承该保管架的部件，从而能够实现结构的简化。
[0012]本发明的另一方面所涉及的保管架具备供对象物载置的载置部、以及支承该载置部并且安装于行驶台车的轨道或者支承该轨道的支承部件的框部，上述保管架的特征在于，载置部具备架板，该架板具备经由弹性体配置于框部并且供对象物载置。
[0013]在该保管架中，由于在安装于轨道或者支承部件的框部经由弹性体配置有载置部，所以能够抑制当行驶台车行驶时在轨道产生的振动从框部向载置部传递，而能够降低对象物的振动。
[0014]根据本发明，能够确保耐载荷，并且降低振动。
【附图说明】
[0015]图1是表示一实施方式所涉及的保管架的立体图。
[0016]图2是表示载置部的立体图。
[0017]图3是供FOUP载置的保管架的侧视图。
[0018]图4是第一实施方式的变形例所涉及的保管架的侧视图。
[0019]图5是第二实施方式所涉及的保管架的侧视图。
【具体实施方式】
[0020]以下，参照附图对本发明的优选的实施方式进行详细地说明。此外，在附图的说明中，对相同或者相当的要素标注相同的附图标记，并省略重复的说明。另外，“X方向”、“Y方向”以及“Z方向”的用语是基于图示的方向而方便起见的用语。
[0021][第一实施方式]
[0022]图1是表示一实施方式所涉及的保管架的立体图。图1所示的保管架I例如设置于半导体制造工厂的半导体输送系统。保管架I保管收纳晶圆的FOUP(Front-OpeningUnified Pod:晶圆载体)100 (参照图3)。F0UP100例如收纳直径为300mm、450mm的多片晶圆。
[0023]保管架I具备框部10以及载置部20a、20b、20c、20d。框部10支承载置部20a?20do框部10具备:悬吊部件3a?3d、连结部件5a、5b以及梁部件7a、7b。
[0024]悬吊部件3a?3d是沿上下方向(Z方向)延伸的柱部件，并设置有多根(在本实施方式中为四根)。悬吊部件3a?3d配置为在X方向以及Y方向隔开规定的间隔地对置。悬吊部件3a?3d安装于桥式输送车(行驶台车)的轨道、支承该轨道的支承部件、或者顶棚中的任一方。在悬吊部件3a、3b的下端侧横向架设有沿X方向延伸的栅部件9a。在悬吊部件3c、3d的下端侧横向架设有沿X方向延伸的栅部件9b。栅部件9a、9b防止F0UP100的落下。
[0025]连结部件5a是沿X方向延伸的部件，并将悬吊部件3a与悬吊部件3c的下端部连结。连结部件5b是沿X方向延伸的部件，并将悬吊部件3b与悬吊部件3d的下端部连结。
[0026]梁部件7a、7b是沿Y方向延伸的部件，并架设于连结部件5a、5b。梁部件7a、7b在X方向隔开规定的间隔地相互对置。
[0027]载置部20a?20d供F0UP100载置。载置部20a?20d支承于框部10。载置部20a?20d在框部10沿着Y方向配置有多个(这里为四个)。各载置部20a?20d具有相同的结构。这里，以载置部20a为一个例子对其具体地进行说明。
[0028]图2是表示载置部的图。图3是载置有FOUP的保管架的侧视图。如图2以及图3所示，载置部20a具备框架22a、22b、22c以及架板24。
[0029]框架22a?22c架设于梁部件7a、7b。框架22a?22c在Y方向隔开规定的间隔按顺序配置。即，框架22b配置于框架22a与框架22c之间(大致中央部)。各框架22a?22c具有相同的结构。这里，以框架22a为一个例子对其具体地进行说明。
[0030]框架22a具有呈凹形状的凹部30、与从凹部30的端部向两侧伸出的伸出部31、32。框架22a是板状的部件，例如通过金属板加工一体地形成有凹部30以及伸出部31、32。
[0031]凹部30具有沿X方向(一对梁部件7a、7b的对置方向)延伸的基部30a、与从基部30a的X方向(长边方向)的端部大致垂直地立起的立起部30b、30c。伸出部31、32分别从立起部30b、30c的上端部以在X方向相互朝向外侧的方式伸出。伸出部31、32与基部30a形成为大致平行。
[0032]框架22a经由第一弹性体40、41配置于梁部件7a、7b。详细而言，框架22a的伸出部31、32经由第一弹性体40、41配置于梁部件7a、7b。第一弹性体40、41具有相同的结构。这里，以第一弹性体40为一个例子对其具体地进行说明。
[0033]第一弹性体40具有:凝胶(gel)部件42、螺旋弹簧43以及上下一对螺纹部44。凝胶部件42配置于螺旋弹簧43的内侧。螺纹部44构成为螺纹从圆盘状的基部向上方或者下方突出，并设置为通过上下一对螺纹部44夹持凝胶部件42与螺旋弹簧43。
[0034]第一弹性体40、41的螺纹部44穿过形成于伸出部31、32的贯通孔(未图示)，通过螺母45将框架22a固定于第一弹性体40、41 (具体而言，为螺纹部44的基部)。同样地，第一弹性体40、41通过未图示的螺母固定于梁部件7a、7b。由此，框架22a经由第一弹性体40、41固定于梁部件7a、7b。
[0035]框架22b的伸出部31经由第三弹性体50配置于梁部件7a。第三弹性体50具有凝胶部件51与上下一对螺纹部52。螺纹部52构成为螺纹从圆盘状的基部向上方或者下方突出，并设置为通过上下一对螺纹部44夹持凝胶部件51。第三弹性体50的刚性比第一弹性体40、41以及后述的第二弹性体60、61高。即，第三弹性体50的适当负载比第一弹性体40、41的适当负载大。
[0036]第三弹性体50的螺纹部52穿过形成于伸出部31的贯通孔(未图示)，通过螺母53将框架22b固定于第三弹性体50 (具体而言，为螺纹部52的基部)。第三弹性体50通过未图示的螺母固定于梁部件7a。由此，框架22b经由第三弹性体50固定于梁部件7a。框架22b的伸出部32经由第一弹性体41固定于梁部件7b。
[0037]在保管架I中，在位于Y方向上的两端部的载置部20a、20d设置有栅部件12a、12b。栅部件12a安装于载置部20a的框架22a的基部30a。栅部件12b安装于载置部20d的框架22c的基部30a。栅部件12a、12b防止FOUP100的落下。
[0038]架板24是呈近似矩形形状的板状的部件，并供F0UP100载置。架板24具有供FOUP100载置的载置面24a。架板24的X方向上的宽度比框架22a?22c的立起部30b、30c的间隔小，架板24位于框架22a?22c的凹部30。
[0039]在架板24设置有销P1、P2、P3。销Pl?P3从架板24的载置面24a向上方突出。销Pl?P3配置于与设置于F0UP100的底部的定位孔(未图示)对应的位置。在本实施方式中，F0UP100以盖102位于图示左侧的方向载置于架板24。
[0040]架板24经由第二弹性体60、61配置于框架22a、22c。详细而言，架板24经由第二弹性体60、61配置于框架22a、22c的凹部30的基部30a。第二弹性体60、61具有相同的结构。这里，以第二弹性体60为一个例子对其具体地进行说明。
[0041]第二弹性体60具有与第一弹性体40、41相同的结构，并具有:凝胶部件62、螺旋弹簧63以及上下一对螺纹部64。凝胶部件62配置于螺旋弹簧63的内侧。螺纹部64构成为螺纹从圆盘状的基部向上方或者下方突出，并设