置为通过上下一对螺纹部64夹持凝胶部件62。第二弹性体60、61的适当负载与第一弹性体40、41的适当负载大致相同。
[0042]第二弹性体60、61的螺纹部64穿过架板24的贯通孔(未图示)，通过螺母65将架板24固定于第二弹性体60、61 (具体而言，为螺纹部64的基部)。第二弹性体60、61通过螺母66固定于框架22a、22c的基部30a。由此，架板24经由第二弹性体60、61固定于框架 22a、22c0
[0043]第二弹性体60与第二弹性体61隔开规定的间隔地固定于架板24的角部。在本实施方式中，如图3所示，当在架板24配置有F0UP100时，第二弹性体60、61相对于框架22a、22c的安装位置靠近F0UP100的盖102侧。具体而言，第二弹性体60、61相对于框架22a、22c的安装位置，成为架板24的前端(图示左端)与立起部30b的间隔Dl比架板24的后端(图示右侧)与立起部30c的间隔D2小的位置。
[0044]另外，架板24经由第四弹性体(第三弹性体)70配置于框架22b。详细而言，架板24经由第四弹性体70配置于框架22b的凹部30的基部30a。当在架板24配置有F0UP100时，第四弹性体70配置于F0UP100的盖102侧。
[0045]第四弹性体70具有与第三弹性体50相同的结构，并具有凝胶部件71与上下一对螺纹部72。螺纹部72构成为螺纹从圆盘状的基部向上方或者下方突出，并设置为通过上下一对螺纹部72夹持凝胶部件71。第四弹性体70的刚性比第一弹性体40、41以及第二弹性体60、61高。第四弹性体70的适当负载与第三弹性体50的适当负载大致相同。
[0046]第四弹性体70的螺纹部72穿过架板24的贯通孔(未图示)，通过螺母73将架板24固定于第四弹性体70。第四弹性体70通过螺母73固定于框架22b的基部30a。由此，架板24经由第四弹性体70固定于框架22b。
[0047]架板24的高度位置与框架22a?22c的伸出部31、32的高度位置大致相同。
[0048]如以上说明的那样，在本实施方式的保管架I中，框架22a?22c经由第一弹性体40,41以及第三弹性体50架设于梁部件7a、7b，供F0UP100载置的架板24经由第二弹性体60,61配置于框架22a、22c。由此，在保管架I中，第一弹性体40、41与第二弹性体60、61被串联地设置，因此能够确保耐载荷，并且为了获得防振效果而将弹性常数设定为较低，从而能够实现振动的降低。
[0049]这里，F0UP100的盖102侧重，重心偏向盖102侧。因此，若在架板24载置F0UP100，则F0UP100可能向盖102侧倾斜。
[0050]与此相对，在本实施方式中，在F0UP100的盖102所在的一侧，配置有刚性比第一弹性体40、41以及第二弹性体60、61高的第三弹性体50以及第四弹性体70。S卩，在载置部20a?20d的靠F0UP100的盖102侧，配置有比盖102侧的相反侧多的弹性体，并且提高上述弹性体的刚性。另外，在本实施方式中，第二弹性体60、61以及第四弹性体70在框架22a?22c的凹部30配置于靠近F0UP100的盖102所在的一侧。由此，在本实施方式中，根据F0UP100的重心配置弹性体，从而能够抑制F0UP100向盖102侧倾斜。
[0051]在本实施方式中，框架22a?22c具有位于一对梁部件7a、7b之间的凹部30。架板24配置于框架22a?22c的凹部30。由此，架板24的高度位置与框架22a?22c的伸出部31、32的高度位置形成为大致相同。因此，在保管架I中，即便是串联地设置第一弹性体40、41与第二弹性体60、61的结构，也能够实现载置部20a?20d的高度方向的省空间化。
[0052]图4是第一实施方式的变形例所涉及的保管架的侧视图。如图4所示，在保管架IA中，架板24的前端(图示左端)与立起部30b的间隔D1、和架板24的后端(图示右侧)与立起部30c的间隔D2形成为大致相同。在保管架IA中，优选在F0UP100的盖102侧，配置有刚性比配置于盖102的相反侧的弹性体高的第一弹性体40以及第二弹性体60。由此，在保管架IA中，能够抑制F0UP100的倾斜。
[0053]在上述实施方式中，使用第一弹性体40、41、第二弹性体60、61、第三弹性体50、第四弹性体70，但也可以仅使用第一弹性体40、41以及第二弹性体60、61。在该情况下，优选将架板24配置于靠近F0UP100的盖102侧。
[0054][第二实施方式]
[0055]接着，对第二实施方式进行说明。图5是第二实施方式所涉及的保管架的侧视图。如图5所示，保管架IB具备框部10以及载置部20a (20b、20c、20d(参照图1))。框部10支承载置部20a(20b?20d)。框部10具备:悬吊部件3a?3d(参照图1)、连结部件5a、5b以及梁部件7a、7b。
[0056]载置部20a具备架板24A。架板24A是呈近似矩形形状的板状的部件，并供F0UP100载置。架板24A的X方向上的宽度比梁部件7a、7b的间隔大，并遍及梁部件7a、7b地配置。架板24A经由弹性体80、81配置于梁部件7a、7b。
[0057]弹性体80、81具有与第一实施方式的第一弹性体40、41相同的结构。优选在FOUP100的盖102侧，配置有刚性比配置于盖102的相反侧的弹性体高的弹性体80。
[0058]在架板24A的Y方向的中央部且在F0UP100的盖102侧设置有图2所示的第三弹性体50。第三弹性体50的刚性比弹性体80、81高。S卩，第三弹性体50的适当负载比弹性体80、81的适当负载大。在架板24A的Y方向的中央部且在与F0UP100的盖102相反的一侧设置有弹性体81。
[0059]如以上说明的那样，在本实施方式的保管架IB中，架板24A经由弹性体80、81以及第三弹性体50架设于梁部件7a、7b。这样，在保管架IB中，在安装于轨道或者支承部件的框部10经由弹性体80、81配置有载置部20a(架板24A)，因此能够抑制当桥式输送车(行驶台车)行驶时在轨道产生的振动从框部10向载置部20a传递，而能够降低F0UP100的振动。因此，在保管架IB中，能够确保耐载荷，并且为了获得防振效果而将弹性常数设定为较低，能够实现振动的降低。
[0060]在本实施方式的保管架IB中，在F0UP100的盖102所在的一侧配置有刚性比弹性体80、81高的第三弹性体50。另外，弹性体80的刚性比弹性体81高。S卩，在载置部20a?20d中，在F0UP100的盖102侧配置有比盖102侧的相反侧多的弹性体，并且提高上述弹性体的刚性。由此，在本实施方式中，根据F0UP100的重心配置弹性体，从而能够抑制F0UP100向盖102侧倾斜。
[0061]在上述实施方式中，使用弹性体80、81以及第三弹性体50，但也可以仅使用弹性体80、81。
[0062]本发明不限定于上述实施方式。在上述实施方式中，以具备多个框架22a?22c的结构为一个例子进行了说明，但框架也可以为一个。
[0063]另外，所配置的弹性体的位置、弹性体的数量以及弹性体的种类只要根据防振对象物的重量、重心而适当地设定即可。
[0064]在上述实施方式中，以在保管架I保管F0UP100的方式为一个例子进行了说明，但对象物也可以为其他种类的晶圆载体，例如FOSB(Front Opening Shipping Box)、MAC (Multiple Applicat1n Carrier)等。
[0065]附图标记说明:
[0066]1、1Α、1Β...保管架；10...框部；20a ?20d...载置部；22a ?22c...框架；24、24A...架板；40、41...第一弹性体；50...第三弹性体；60、61...第二弹性体；70...第四弹性体(第三弹性体);80、81...弹性体；100...F0UP。
【主权项】
1.一种保管架，具备供对象物载置的载置部、以及支承该载置部的框部， 所述保管架的特征在于， 所述载置部具备: 经由第一弹性体配置于所述框部的框架、以及 经由第二弹性体配置于所述框架并且供所述对象物载置的架板。2.根据权利要求1所述的保管架，其特征在于， 所述对象物是收纳晶圆的FOUP， 所述载置部具备配置于所述框架与所述架板之间并且刚性比所述第一弹性体以及第二弹性体高的第三弹性体， 在将所述FOUP载置到所述架板时，所述第三弹性体配置于所述FOUP的盖所在的一侧。3.根据权利要求1或2所述的保管架，其特征在于， 所述框部具备相互对置的一对梁部件， 所述框架架设于所述一对梁部件，并具有: 凹部，其位于一对所述梁部件之间，并具有沿一对所述梁部件的对置方向延伸的基部、与从该基部的两端部立起的一对立起部；以及 伸出部，其从所述立起部的端部伸出，并且经由所述第一弹性体配置于所述梁部件， 所述第二弹性体配置于所述框架的凹部。4.根据权利要求1?3中任一项所述的保管架，其特征在于， 所述框部安装于行驶台车的轨道或者支承该轨道的支承部件。5.一种保管架，具备供对象物载置的载置部、以及支承该载置部并且安装于行驶台车的轨道或者支承该轨道的支承部件的框部， 所述保管架的特征在于， 所述载置部具备架板，该架板经由弹性体配置于所述框部并且供所述对象物载置。
【专利摘要】本发明提供一种能够确保耐载荷并且降低振动的保管架。保管架(1)具备供FOUP(100)载置的载置部(20a～20d)、以及支承载置部(20a～20d)的框部(10)，载置部(20a、20c)具备经由第一弹性体(40、41)配置于框部(10)的框架(22a、22c)、以及经由第二弹性体(60、61)配置于框架(22a、22c)并且供FOUP(100)载置的架板(24)。
【IPC分类】H01L21/673, B65G1/14, B65G1/00
【公开号】CN104956473
【申请号】CN201480006225
【发明人】长峰翔平
【申请人】村田机械株式会社
【公开日】2015年9月30日
【申请日】2014年2月12日
【公告号】EP2958138A1, WO2014126106A1