Amoled背板的制作方法及其结构的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种AMOLED背板的制作方法及其结构。
【背景技术】
[0002]在显示技术领域，液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)与有机发光二极管显示器(Organic Light Emitting D1de，OLED)等平板显示技术已经逐步取代CRT显示器。其中，OLED具有自发光、驱动电压低、发光效率高、响应时间短、清晰度与对比度高、近180°视角、使用温度范围宽，可实现柔性显示与大面积全色显示等诸多优点，被业界公认为是最有发展潜力的显示装置。
[0003]OLED按照驱动类型可分为无源OLED (PMOLED)和有源OLED (AMOLED)。其中，AMOLED通常是由低温多晶娃(Low Temperature Poly-Silicon,LTPS)驱动背板和电激发光层组成自发光组件。低温多晶硅具有较高的电子迀移率，对AMOLED而言，采用低温多晶硅材料具有高分辨率、反应速度快、高亮度、高开口率、低能耗等优点。
[0004]图1为一种现有AMOLED背板的剖面结构示意图。该AMOLED背板的制作方法主要包括如下步骤:
[0005]步骤1、提供基板100，在所述基板100上沉积缓冲层200 ；
[0006]步骤2、在所述缓冲层200上沉积非晶硅层，并通过准分子激光退火处理使所述非晶硅层结晶、转变为多晶硅层，再通过一道光罩制程对所述多晶硅层进行图案化处理，形成相互间隔的第一多晶硅段310、第二多晶硅段320、及第三多晶硅段330 ;
[0007]步骤3、在所述第一多晶硅段310、第二多晶硅段320、第三多晶硅段330、及缓冲层200上沉积栅极绝缘层400 ；
[0008]步骤4、在所述栅极绝缘层400上沉积第一光阻层并通过一道光罩制程图案化该第一光阻层；
[0009]所述第一光阻层遮蔽所述第一多晶硅段310、及第二多晶硅段320的中部，不遮蔽所述第三多晶硅段330 ；
[0010]以所述第一光阻层为遮蔽层，对所述第一多晶硅段310、第二多晶硅段320、及第三多晶硅段330进行P型重掺杂，从而在所述第一多晶硅段310与第二多晶硅段320的两侦U、及整个第三多晶硅段330上形成P型重掺杂区域P+ ;
[0011]步骤5除去所述第一光阻层，在所述栅极绝缘层400上沉积第一金属层并通过一道光罩制程图案化该第一金属层，形成第一栅极610、第二栅极620、及金属电极630 ；
[0012]步骤6、在所述第一栅极610、第二栅极620、金属电极630、及栅极绝缘层400上沉积层间绝缘层700，并通过一道光罩制程在所述层间绝缘层700、及栅极绝缘层400上分别对应所述第一多晶硅段310、及第二多晶硅段320两端的P型重掺杂区域P+上方形成第一过孔710 ；
[0013]步骤7、在所述层间绝缘层700上沉积第二金属层并通过一道光罩制程图案化该第二金属层，形成第一源/漏极810、及第二源/漏极820 ；
[0014]所述第一源/漏极810、及第二源/漏极820分别经由所述第一过孔710与所述第一多晶硅段310、及第二多晶硅段320两端的P型重掺杂区域P+相接触；
[0015]步骤8、在所述第一源/漏极810、第二源/漏极820、及层间绝缘层700上形成平坦层830，并通过一道光罩制程在所述平坦层830上对应所述第二源/漏极820上方形成第二过孔840 ；
[0016]步骤9、在所述平坦层830上沉积一导电薄膜并通过一道光罩制程图案化该导电薄膜，形成阳极850;
[0017]所述阳极850经由所述第二过孔840与所述第二源/漏极820相接触；
[0018]步骤10、在所述阳极850、及平坦层830上沉积第二光阻层，并通过一道光罩制程图案化该第二光阻层，形成像素定义层900 ;
[0019]步骤11、在所述像素定义层900、及阳极850上沉积第三光阻层，并通过一道光罩制程图案化该第三光阻层，形成光阻间隔物910。
[0020]但上述制作过程需要9道光罩，制程较为繁琐，生产效率低，成本高，并且准分子激光退火处理可能产生显示器亮度不均等问题。因此，有必要提出一种新的AMOLED背板的制作方法及其结构，以解决上述问题。
【发明内容】
[0021]本发明的目的在于提供一种AMOLED背板的制作方法，制程简单，可减少制程过程中光罩的数量，提高生产效率，节省成本，同时可避免准分子激光退火处理产生的显示器亮度不均等问题。
[0022]本发明的另一目的在于提供一种AMOLED背板结构，结构简单，易于制作，且成本低。
[0023]为实现上述目的，本发明提供一种AMOLED背板的制作方法，包括如下步骤:
[0024]步骤1、提供基板，所述基板包括开关TFT区域、存储电容区域、及驱动TFT区域，在所述基板上沉积第一金属层并通过一道光罩制程图案化该第一金属层，分别形成位于开关TFT区域的第一栅极、位于驱动TFT区域的第二栅极、及位于存储电容区域的第一金属电极；
[0025]步骤2、在所述第一栅极、第二栅极、及第一金属电极上沉积栅极绝缘层；
[0026]步骤3、在所述栅极绝缘层上依次沉积非晶硅层与P型重掺杂非晶硅层，并通过固相结晶化制程使所述非晶硅层及P型重掺杂非晶硅层结晶分别转变成多晶硅层及P型重掺杂多晶硅层，再通过一道光罩制程同时对所述多晶硅层及P型重掺杂多晶硅层进行图案化处理，形成分别位于所述第一栅极、及第二栅极上方的第一多晶硅段、及第二多晶硅段；
[0027]步骤4、在所述第一多晶硅段、第二多晶硅段、及栅极绝缘层上沉积第二金属层并通过一道光罩制程图案化该第二金属层，形成分别位于所述第一栅极、第二栅极、及第一金属电极上方的第一源/漏极、第二源/漏极、及第二金属电极；
[0028]所述第一源/漏极、及第二源/漏极分别与所述第一多晶硅段、及第二多晶硅段中的P型重掺杂多晶硅层相接触；
[0029]然后分别以第一源/漏极、及第二源/漏极作为刻蚀阻挡层蚀刻去除第一多晶硅段、及第二多晶硅段沟道处的P型重掺杂多晶硅层、及部分多晶硅层，形成位于多晶硅层上且分别位于第一多晶硅段中部、及第二多晶硅段中部的第一沟道、及第二沟道；
[0030]步骤5、在所述第一源/漏极、第二源/漏极、第二金属电极、及栅极绝缘层上沉积钝化层；
[0031]步骤6、在所述钝化层上涂布平坦层，并通过一道光罩制程在所述平坦层、及钝化层上对应所述第二源/漏极上方形成过孔；
[0032]步骤7、在所述平坦层上沉积一导电薄膜并通过一道光罩制程图案化该导电薄膜，形成像素电极层，所述像素电极层经由所述过孔与所述第二源/漏极相接触；
[0033]步骤8、在所述像素电极层、及平坦层上涂布第一有机光阻层并通过一道光罩制程图案化该第一有机光阻层，形成像素定义层；
[0034]步骤9、在所述像素定义层、及像素电极层上涂布第二有机光阻层并通过一道光罩制程图案化该第二有机光阻层，形成光阻间隔物；
[0035]所述第一多晶硅段、第一栅极与第一源/漏极构成开关TFT ;所述第二多晶硅段、第二栅极与第二源/漏极构成驱动TFT;所述第一金属电极与第二金属电极构成存储电容。
[0036]所述步骤I中的第一栅极、第二栅极、及第一金属电极的材料为钼或铜。
[0037]所述步骤2中的栅极绝缘层为氧化硅层、氮化硅层、或者由氧化硅层与氮化硅层构成的多层复合结构。
[0038]所述步骤5中的钝化层为氧化硅层、氮化硅层、或者由氧化硅层与氮化硅层构成的多层复合结构。
[0039]所述步骤7中，所述导电薄膜，也即所述像素电极层为两导电氧化物层夹合一金属层构成的三层结构，所述导电氧化物层的材料为氧化铟锡，所述金属层的材料为银或铝。
[0040]本发明还提供一种AMOLED背板结构，包括基板、设于所述基板上的第一栅极、第二栅极、及第一金属电极、设于所述第一栅极、第二栅极、及第一金属电极上的栅极绝缘层、设于所述栅极绝缘层上的第一多晶硅段、及第二多晶硅段、设于所述第一多晶硅段、第二多晶硅段、及栅极绝缘层上的第一源/漏极、第二源/漏极、及第二金属电极、设于所述第一源/漏极、第二源/漏极、第二金属电极、及栅极绝缘层上的钝化层、设于所述钝化层上的平坦层、设于所述平坦层上的像素电极层、设于所述平坦层、及像素电极层上的像素定义层、及设于所述像素定义层上的光阻间隔物；
[0041]所述第一多晶硅段、及第二多晶硅段均包括依次设于栅极绝缘层上的多晶硅层与P型重掺杂多晶硅层；所述第一源/漏极、及第二源/漏极分别与所述第一多晶硅段、及第二多晶硅段中的P型重掺杂