1以及第三定位识别孔31内，以验证其是否位于同一条垂直线上。
[0029]当定位销40可以插入第一定位识别孔21、第二定位识别孔11以及第三定位识别孔31内时，则表示三者的中心位置位于同一条垂直线上，同时，也表示晶圆10放置在降温腔体30的基座上的中心位置处；当定位销40不可以插入第一定位识别孔21、第二定位识别孔11以及第三定位识别孔31内时，则表示三者的中心位置不位于同一条垂直线上，同时，也表示晶圆10没有放置在降温腔体30的基座上的中心位置处。
[0030]当晶圆10确认放置在降温腔体基座30的中心位置后，机械臂20上的存储单元记录当前机械臂20的传送位置，以遍下次传送的时候无需再次校验位置。
[0031]具体的，本实施例中的第一定位识别孔21、第二定位识别孔11以及第三定位识别孔31的孔径大小一致；降温腔体30基座上的第三定位识别孔31为向内表面凹陷的圆形凹槽；圆形凹槽的深度为1.5mm?2.5mm，优选深度为2mm。
[0032]本实施例中的机械臂20包括金属机械臂以及机械臂，图2为本发明中机械臂与降温腔体之间的定位装置的结构示意图；图3为本发明中金属机械臂与降温腔体之间的定位装置的结构剖面图。
[0033]如图1所示，降温腔体基座30上具有划定晶圆区域的多个顶针32，顶针32在所述降温腔体基座30上均匀布置。
[0034]本发明中机械臂与降温腔体之间的定位方法为:首先将具有第二定位识别孔11的晶圆10与具有第一定位识别孔21的机械臂20之间放置正确，可使用定位销40顺利地同时插入晶圆10和机械臂20的定位孔，以验证晶圆10与机械臂20的位置是否符合要求，再将夹持有晶圆10的机械臂20推至降温腔体30的正上方，使用定位销40同时插入晶圆10的第二定位识别孔11和机械臂20的第一定位识别孔21，同时寻找降温腔体30上的第三定位识别孔31。当定位销40同时插入三个定位识别孔时，则表明晶圆10、机械臂20和降温腔体30的位置已符合要求，此时，机械臂20上的存储单元记录当前机械臂的传送位置。之后，可以进行再次传送确认，将晶圆10直接放置到降温腔体30上，用定位销40再次插入晶圆10的第二定位识别孔11和降温腔体30上的第三定位识别孔31，若为同心圆，表明传送位置符合要求，完成机械臂传20送位置的校正工作。
[0035]综上所述，本发明提供的机械臂与降温腔体之间的定位装置，在机械臂20、晶圆10以及降温腔体30的中心位置处分别设有定位识别孔，当各定位识别孔位于同一条垂直线上时，则保证晶圆10放置在降温腔体30的中心位置处，本发明具有工艺难度低、易于实施、成本低等特点，定位快速精准，避免了现有技术中人工判断偏差的缺陷，且与现有半导体集成电路制造工艺兼容。
[0036]上述说明示出并描述了本发明的若干优选实施例，但如前所述，应当理解本发明并非局限于本文所披露的形式，不应看作是对其他实施例的排除，而可用于各种其他组合、修改和环境，并能够在本文所述发明构想范围内，通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离本发明的精神和范围，则都应在本发明所附权利要求的保护范围内。
【主权项】
1.一种机械臂与降温腔体之间的定位装置，其特征在于，包括: 机械臂，用于对被夹持的晶圆进行传送，所述机械臂的中心位置处设有第一定位识别孔，所述晶圆的圆心处设有第二定位识别孔； 降温腔体，用于对工艺后的晶圆进行降温，所述降温腔体的基座上的中心位置处设有第三定位识别孔，其中，通过验证所述第一定位识别孔、第二定位识别孔以及第三定位识别孔的圆心是否位于同一条垂直线上，以确定所述机械臂的传送位置。2.根据权利要求1所述的机械臂与降温腔体之间的定位装置，其特征在于，所述定位装置还包括定位销，所述定位销用于校验所述第一定位识别孔、第二定位识别孔以及第三定位识别孔的圆心是否位于同一条垂直线上。3.根据权利要求2所述的机械臂与降温腔体之间的定位装置，其特征在于，所述定位销具有圆柱状的端部，其端部用于插入所述第一定位识别孔、第二定位识别孔以及第三定位识别孔内，以验证其是否位于同一条垂直线上。4.根据权利要求2所述的机械臂与降温腔体之间的定位装置，其特征在于，所述机械臂上具有存储单元，所述存储单元用于存储通过所述定位销验证后的机械臂的传送位置。5.根据权利要求1所述的机械臂与降温腔体之间的定位装置，其特征在于，所述第一定位识别孔、第二定位识别孔以及第三定位识别孔的孔径大小一致。6.根据权利要求5所述的机械臂与降温腔体之间的定位装置，其特征在于，所述降温腔体基座上的第三定位识别孔为向内表面凹陷的圆形凹槽。7.根据权利要求6所述的机械臂与降温腔体之间的定位装置，其特征在于，所述圆形凹槽的深度为1.5謹?2.5謹。8.根据权利要求7所述的机械臂与降温腔体之间的定位装置，其特征在于，所述圆形凹槽的深度为2mm。9.根据权利要求1所述的机械臂与降温腔体之间的定位装置，其特征在于，所述机械臂包括金属机械臂以及机械臂。10.根据权利要求1所述的机械臂与降温腔体之间的定位装置，其特征在于，所述降温腔体基座上具有划定晶圆区域的多个顶针，所述顶针在所述降温腔体基座上均匀布置。
【专利摘要】本发明公开了一种机械臂与降温腔体之间的定位装置，包括机械臂以及降温腔体，机械臂用于对被夹持的晶圆进行传送，其中心位置处设有第一定位识别孔，晶圆的圆心处设有第二定位识别孔；降温腔体用于对工艺后的晶圆进行降温，降温腔体的基座上的中心位置处设有第三定位识别孔，其中，通过验证第一定位识别孔、第二定位识别孔以及第三定位识别孔的圆心是否位于同一条垂直线上，以确定机械臂的传送位置。本发明具有工艺难度低、易于实施、成本低等特点，定位快速精准，避免了现有技术中人工判断偏差的缺陷，且与现有半导体集成电路制造工艺兼容。
【IPC分类】H01L21/68
【公开号】CN105097629
【申请号】CN201510397254
【发明人】顾海龙, 裴雷洪, 严骏
【申请人】上海华力微电子有限公司
【公开日】2015年11月25日
【申请日】2015年7月8日