冷却加热器200a可以设置第一冷却部300、第二冷却部400。另外，为了加热器200a的动作而可以设置端子部500以及绝缘部600。
[0144]图12是表示根据本发明的一实施例涉及的加热器200a的端部上设置有第一冷却部300以及第二冷却部400、端子部500以及绝缘部600的示意图；
[0145]图13是表示设置在根据本发明的一实施例涉及的加热器端部上的第一冷却部300以及第二冷却部400结构的分解立体图。
[0146]首先，固定帽280可以设置在第二管240的两端部上。固定帽280防止缠绕在第一管220的外周面上的加热线270滑落。
[0147]固定帽280形成为具有规定长度的圆筒状。固定帽280以环状形成，其具有在一端内侧插入第二管240之后能够与其紧贴，且另一端能够封闭形成在第一管220和第二管240之间的空间244的大小。将固定帽280设置在第二管240的端部，则缠绕在第一管220的外周面上的加热线270的一端与固定帽280接触且移动受阻，从而无法从第一管220和第二管240之间脱落至外部。
[0148]固定帽280优选由不锈钢(SUS)材质形成，以便将从外部接通的电源能够与固定帽280接触的加热线270接通。
[0149]第一管220通过固定帽280的中央并向外部延伸，所延伸部分的外周上形成有螺纹，使与后述的端子部500容易连接。
[0150]第一冷却部300冷却加热器200a的端部。第一冷却部300利用冷却水冷却加热器200a的端部，即冷却构成加热器200a的第三管260的端部，从而能够防止第三管260被热损伤。
[0151]第二冷却部400使冷却气体流入到形成在第二管240和第三管260之间的空间中。冷却用气体可以使用空气、氦气、氮气、氩气。冷却用气体的温度优选为常温，但是，根据需要也可以使用冷却至常温以下的气体。
[0152]第一冷却部300以及第二冷却部400可以相同地设置在构成加热器200a的第三管260的两端上。
[0153]下面，说明第一冷却部300的结构。
[0154]第一冷却部300利用由外部供给的冷却水冷却第三管260的端部。第一冷却部300设置在构成加热器200a的第三管260的两端部上。
[0155]第一冷却部300可以由第一主体310和设置在第一主体310的一侧上的冷却水流入管320以及冷却水流出管330构成。
[0156]第一主体310接受从外部供给的冷却水。在第一主体310的内部形成有规定的空间。第一主体310形成为环状，为了使其通过后述的法兰340固定在腔体100上，其外周直径与法兰340的内周直径相当，，而第一主体310的内周直径与第三管260的外周直径相当。
[0157]由于第一主体310的一端紧贴在腔室100的外壁上，因此优选在紧贴腔室100的面上配置O型环312以防止气体泄漏等。
[0158]冷却水流入管320以及冷却水流出管330能够使冷却水流入以及流出第一主体310内部空间，从而冷却第三管260的端部。冷却水流入管320以及冷却水流出管330可以对第一主体310的中心轴隔开规定角距离而设置。
[0159]在设置有第一冷却部300的加热器200a的两端部上可以设置有第二冷却部400，以使冷却用气体流向加热器200a的第二管240和第三管260之间的空间264。
[0160]下面，说明第二冷却部400的结构。
[0161]第二冷却部400由环状的第二主体410和气体管420构成，其中，该第二主体410的内部形成有空间，该气体管420设置在第二主体410的一侧，且与在第二主体410内部形成的空间连接。
[0162]第二主体410的一端敞开，以便能够与在第二管240和第三管260之间形成的空间264相通。因此，通过气体管420流入的冷却用气体通过第二主体410能够流入到在第二管240和第三管260之间形成的空间264中，而且冷却之后再通过第二主体410向外部排出。
[0163]第二冷却部400分别设置在第三管260的两端，因此，通过设置在第三管260的一端上的第二冷却部400的气体管420供给冷却用气体时，冷却用气体经过在第二管240和第三管260之间形成的空间264之后，可再经过设置在第三管260另一端上的第二冷却部400的排气管420排出。
[0164]下面，说明第一冷却部300以及第二冷却部400的设置过程。
[0165]第一冷却部300可以通过法兰340紧贴在腔室100的外部面上并被固定。此时，优选使第一冷却部300能够容易固定在腔室100外壁上的方式。因此，为了通过法兰340容易固定第一冷却部300，优选使法兰340的一端与第一主体310的一端相互卡住的结构。
[0166]法兰340可以紧贴在腔室100外壁上的状态下用螺栓固定在腔室100外壁上。只要能够将第一冷却部300牢固地固定在腔室100外部上，法兰340与腔室100的固定方式除了螺栓固定方式之外，还可以采用多种方法。
[0167]为了在第一冷却部300通过法兰340固定在腔室100的状态下使第一冷却部300和第三管260的固定状态变得牢固，可以在形成于第一主体310和第三管260之间的空间内配置套圈(collar) 350、以及配置在套圈350两端的O型环352，而且在套圈350的一端可以配置加热器盖子360。
[0168]套圈350以及O型环352封闭第一主体310和第三管260之间可能产生的缝隙，从而能够防止气体流入腔室100内部，因此，能够容易维持腔室100内部的真空状态。
[0169]加热器盖子360能够使第三管260和第一主体310的固定变得牢固。加热器盖子360可以螺栓固定在第一主体310的一端上。为了加固加热器盖子360的固定状态，套圈350和加热器盖子360的外周直径优选以紧贴在第一主体310内周面的程度形成。
[0170]设置第一冷却部300之后，将第二主体410设置在通过固定帽280延伸的第一管220端部上，并且在第一管220的端部螺丝连接后述的端子部500，而且所连接的端子部500紧贴在第二主体410的一端上，从而固定第二冷却部400。为了固定第二冷却部400，加热器盖子360和第二主体410也优选螺栓连接。
[0171]下面，说明端子部500和绝缘部600的设置过程。
[0172]图14是表示设置在根据本发明的一实施例涉及的加热器200a端部上的端子部500以及绝缘部600结构的分解立体图。
[0173]说明端子部500结构。
[0174]端子部500可以由导电管510和第一固定螺母520构成。
[0175]图15、图16以及图17是根据本发明的一实施例涉及的导电管510结构的示意图。
[0176]参照图15、图16以及图17，导电管510的一端与固定帽280的端部接触，并且与外部电源线连接。导电管510可以与第一管220的端部螺丝连接。为了容易使固定帽280接通电源，导电管510可以由与固定帽280 —样的SUS材质形成。与导电管510连接的电源线可以通过焊接与导电管510的一侧连接，也可以通过使电源线的端部位于后述的第一固定螺母520和导电管510之间来连接。
[0177]为了能够维持导电管510与固定帽280的连接状态，第一固定螺母520按压导电管510的一端。第一固定螺母520与第一管220的端部螺丝接合。第一固定螺母520可以由石英材质形成。由于第一固定螺母520与一般螺母具有相同结构，因此省略对其详细图不O
[0178]图18以及图19是表示根据本发明的一实施例涉及的第一保护螺母530结构的示意图。而且，图20、图21以及图22是表示根据本发明的一实施例涉及的第二保护螺母540结构的示意图。
[0179]第一保护螺母530以及第二保护螺母540在将导电管510结合在第一管220的端部的状态下，可以防止受到外部冲击使得导电管510或第一管220受损伤。第一保护螺母530以及第二保护螺母540可以设置在固定帽280和绝缘帽610之间并围绕导电管510的外部。
[0180]优选设置绝缘部600，以便防止从给加热线270提供电源而设置的端子部500漏电或者其他的导电体与端子部接触。
[0181]说明绝缘部600结构。
[0182]绝缘部600可以包括绝缘帽610以及第二固定螺母630而构成。
[0183]图23、图24以及图25是表示根据本发明的一实施例涉及的绝缘帽610结构的示意图。
[0184]参照图23、图24以及图25，绝缘帽610起到使接通到导电管510的电源与外部绝缘的作用。导电管510和第一固定螺母520与第一管220的端部连接之后，绝缘帽610可以与第一管220的端部螺丝接合。此时，优选使导电管510和第一固定螺母520位于在绝缘帽610的内部形成的空间里，且其内周面与导电管510和第一固定螺母520隔开。
[0185]在绝缘帽610的一侧形成有孔620，可使对绝缘帽610内部的导电管510提供电源的电源线通过。绝缘帽610优选利用石英制作。
[0186]在绝缘帽610设置到第一管220上之后，第二固定螺母630能够维持绝缘帽610的连接状态。第二固定螺母630可以设置在第一管220的终端部。
[0187]具有如上构成的第一冷却部300以及第二冷却部400、端子部500以及绝缘部600可以进行如下动作。
[0188]利用多个加热器200a加热装载到腔室100中的基板进行热处理。为了使加热器200a发热而供电的电源通过端子部500给加热器200a的加热线270供电，从而使加热器200a的动作可持续进行，而且通过绝缘部600能够防止电源供电过程中电源漏电现象。
[0189]启动加热器200a进行热处理的过程中，利用设置在加热器200a的两端上的第一冷却部300，使冷却水流入到加热器200a的两端，从而冷却加热器200a的端部。
[0190]在结束热处理工序之后，利用设置在加热器200a两端上的第二冷却部400使冷却用气体通过加热器20