0a内的空间264而流过，则可迅速降低加热器200a自身的温度，进而能够迅速降低腔室100内部的温度。因此，根据本发明的热处理装置I和加热器200a能够缩短热处理工序结束之后为了卸载基板10需要将腔室100内部的温度降低到规定温度以下而所需的时间，从而能够大幅提高制造平板显示器以及太阳能电池时所不可缺少的热处理工序的生产率。
[0191]另一方面，由于持续使用加热器200a可能在第一管220、第二管240或者第三管260中的某一个管发生损坏。为了继续进行热处理需要替换损坏的管，通过如下步骤进行替换。
[0192]替换第一管220和第二管240的情况如下。
[0193]首先，拆开绝缘部600。然后，设置在第一管220的端部上的端子部500由于导电管510与第一管220螺丝连接，因此，除去第一管220两端的导电管510来解除对第一管220的固定，则可以替换第一管220。之后，拆开固定帽280和第二冷却部400，则可以分离第二管240。如上所述，将在第一管220或第二管240中需要替换的管更换为新管之后，按照上述拆开的逆顺序组装即可。
[0194]替换第三管260的情况如下。
[0195]首先，为了替换第一管220和第二管240而除去端子部500以及第二冷却部400的步骤与上述相同，因此省略详细说明。
[0196]在端子部500以及第二冷却部400被除去的状态下，对第三管260端部的固定也被解除，因此，在此状态下拆开套圈350、O型环352以及加热器盖子360，则可以将第三管260更换为新管。在替换第三管260的作业时，也可以使用拆开将第一主体310固定在腔室100的法兰340的方法，但是由于将法兰340再次设置到腔室100两端时将法兰340排列在一条直线上的作业需要较长时间，因此最好不要拆开法兰340。
[0197]将第三管260更换成新管之后，按照上述拆开顺序的逆顺序进行组装而完成加热器 200a。
[0198]因此，本发明的加热器200a在构成加热器200a的管中某一个受到损伤的情况下，可以只替换受到损伤的那个管，因此加热器的修理以及管理变得容易。
[0199]图26以及图27是表示根据本发明的另一实施例涉及的加热器200b结构的截面立体图以及截面图。作为参考，在图26和图27中，由于加热器200b的两端部侧的形状以及结构相同，因此为了方便仅图示了加热器200b的一端部侧。
[0200]如图所示，加热器200b整体上为长度长的棒状，但并不限定于此，可以根据加热器所适用的批处理式热处理装置的样式进行多种变化。
[0201]参照图26和图27，加热器200b包括具有规定长度的第一管220b、具有规定长度且围绕第一管220b的第二管240b、插入到第一管220b内部的发热体270b。
[0202]由于第一管220b以及第二管240b均适用于热处理装置，因此第一管220b以及第二管240b的材质优选由熔点高的材质例如石英构成。
[0203]第一管220b以及第二管240b的长度实质上均相同，并且优选第一管220b以及第二管240b同轴。第一管220b优选外径大致10mm、内径大致6mm、厚度2mm左右。第二管240b设置成与第一管220b具有一定的间隔且围绕第一管220b的形状。第二管240b优选外径大致18mm、内径大致14mm、厚度2mm左右。在第一管220b和第二管240b之间，形成具有大致2mm左右间隔的空出的空间246b。
[0204]在第一管220b的内部插入有发热体270b。发热体270b优选具有棒状，但并不限定于此。发热体270b的材质优选为铬铝钴耐热钢。
[0205]将发热体270b插入到第一管220b时，优选使第一管220b的内周面与发热体270b的外周面相隔开。这是由于如果第一管220b的内周面与发热体270b的外周面接触时，在热处理工序中因第一管220b和发热体270b的热膨胀系数的差异，担心第一管220b被破损。因此，考虑发热体270b的热膨胀系数决定第一管220b内周面和发热体270b外周面之间的隔开距离。
[0206]在发热体270b的端部设置导电管510b，以便能够对发热体270b接通电源。通过导电管510b发热体270b与外部电源(未图示)之间的连接方式不受特别限定，省略对其说明。
[0207]另外，如上所述，由于发热体270b的端部与外部电源连接，因此需要保护发热体270b和外部电源之间的连接手段例如导线(铜线)等，以免受到发热体270b产生的热。为此，可以使发热体270b的直径在发热体270b的中央部和端部具有不同的值。
[0208]S卩，参照图27，优选以发热体270b的截面面积在两端部大于中央部的方式构成发热体270b。由于发热体270b所产生的热量与发热体270b的截面面积成反比，因此加大发热体270b端部的截面面积，则产生于发热体270b端部的热量变小，从而能够防止发热体270b和外部电源间的连接单元因热而受损伤。
[0209]根据本发明的加热器200b的特征结构为在第一管220b和第二管240b之间具有空间244b，以便冷却用气体流过加热器200b的内部。S卩，冷却用气体流过加热器200b内部的空间244b。使冷却用气体通过空间244b而流过的方法并不特别限定，省略对其详细说明。冷却用气体可以使用空气、氦气、氮气、氩气。冷却用气体的温度优选为常温，但是根据需要也可以使用冷却成不足常温的气体。
[0210]另外，加热器200b优选发热体270b从第一管220b或第二管240b容易拆装的方式构成。该构成具有以下优点，即，在使用加热器200b的过程中，发生发热体270b断开等问题的情况下，可以将安装在热处理装置上的加热器200b中只分离发热体270b进行修理或替换，从而可以简单地修理或替换发生故障的加热器200b。
[0211]图26和图27所示的加热器200b可以以与前面说明的加热器200、200a相同的方式使用。另外，在加热器200b的两端上可以设置第一冷却部300、第二冷却部400以及端子部500和绝缘部600，这些结构以及作用与前面相同，因此省略对其详细说明。
[0212]如上所述，本发明通过优选实施例和附图进行了说明，但并不限定于所述实施例，在不脱离本发明主旨的范围内，具有本发明所属技术领域的一般知识的技术人员可以进行多种变形和变更。应当认为这种变形例以及变更例属于本发明和所附的权利要求的范围内。
【主权项】
1.一种批处理式热处理装置，同时对多个基板进行热处理，其特征在于，包括: 腔室，对所述多个基板提供热处理空间；以及 多个主加热单元，沿着所述基板的层叠方向以规定间隔配置，所述主加热单元包括多个单位主加热器； 其中，所述基板配置在所述多个主加热单元之间。2.如权利要求1所述的批处理式热处理装置，其特征在于，还包括: 晶舟，装载所述多个基板并支承。3.如权利要求1所述的批处理式热处理装置，其特征在于， 所述基板以安放在基板支架上的状态被装载到所述晶舟上。4.如权利要求1所述的批处理式热处理装置，其特征在于， 所述多个单位主加热器配置成与所述基板的短边方向平行且具有规定间隔。5.如权利要求1所述的批处理式热处理装置，其特征在于， 任一主加热单元的单位主加热器配置成与所述任一主加热单元的最邻接主加热单元的单位主加热器相对齐。6.如权利要求1所述的批处理式热处理装置，其特征在于， 任一主加热单元的单位主加热器配置成与所述任一主加热单元的最邻接主加热单元的单位主加热器相错开。7.如权利要求1所述的批处理式热处理装置，其特征在于， 还包括用于防止所述腔室内部的热损失的多个辅助加热单元。8.如权利要求7所述的批处理式热处理装置，其特征在于， 所述多个辅助加热单元包括与所述基板的短边方向平行配置的第一辅助加热单元、和与所述基板的长边方向平行配置的第二辅助加热单元。9.如权利要求8所述的批处理式热处理装置，其特征在于， 所述第一辅助加热单元包括在所述主加热单元的两侧与所述单位主加热器平行地配置的多个第一单位辅助加热器， 所述第二辅助加热单元包括在所述主加热单元的两侧与所述单位主加热器垂直地配置的多个第二单位辅助加热器。10.如权利要求1所述的批处理式热处理装置，其特征在于， 还包括用于冷却所述腔室内部的多个冷却管。11.如权利要求10所述的批处理式热处理装置，其特征在于， 所述冷却管沿着所述基板的短边方向配置在所述多个单位主加热器之间。12.如权利要求10所述的批处理式热处理装置，其特征在于， 冷却气体流向所述冷却管的内部，并且，所述冷却管由热传导率高的材质构成。13.如权利要求1所述的批处理式热处理装置，其特征在于，还包括: 向所述腔室内部供给工艺气体的气体供给部；以及 从所述腔室的内部排出废气的气体排出部。14.如权利要求13所述的批处理式热处理装置，其特征在于， 所述气体供给部包括气体供给管，在该气体供给管上形成有工艺气体流出的多个第一气孔；所述气体排出部包括气体排出管，在该气体排出管上形成有废气流入的多个第二气 孔。
【专利摘要】本发明公开了一种能够同时对多个基板进行热处理且各基板通过与所述各基板相对应的多个加热器被加热的批处理式热处理装置以及适用于该批处理式热处理装置的加热器。根据本发明的批处理式热处理装置包括：对多个基板(10)提供热处理空间的腔室(100)、装载多个基板(10)并支承的晶舟(108)以及沿着基板(10)的层叠方向以规定间隔配置的多个主加热单元(120)，其中，该主加热单元(120)包括多个单位主加热器(200)，基板(10)配置在多个主加热单元(120)之间。
【IPC分类】H01L21/67
【公开号】CN105140157
【申请号】CN201510556057
【发明人】许官善, 康浩荣
【申请人】泰拉半导体株式会社
【公开日】2015年12月9日
【申请日】2009年7月16日
【公告号】CN102067294A, CN102983091A, WO2010008211A2, WO2010008211A3