部42的外侧面平行的第一平面46a，在内侧下部设置有隔开固定间隔而与第一平面46a形成同一平面的第二平面46b，而其间成为稍微被切割者。将这些平面46a、46b合在一起设为第一基准面，将与第一基准面形成直角的槽48的平面48a设为第二基准面。此外，侧壁部47如图示般自侧面的边缘朝向槽48以侧壁部47成为大致三角柱状的方式例如以顶角45°的角度被切割，而内侧成为倾斜面47a。此外，侧壁部47的上部具有自侧方被切割成3字状的切口部49，且在切口部49的内部如下述般嵌入有磁铁。
[0033]接下来，对安装在该工具安装部42的覆盖板50进行说明。覆盖板50如图5所示为细长的平板状的构件，且比阶梯部51靠下的部分被切割成较薄。在覆盖板50的上部中央设置有供基准销插入的贯通孔52以及供螺丝插入的贯通孔53。在图中左侧的侧面具有自比中央稍微靠下的下部向侧方突出的侧壁部54。此处，侧壁部54如图示般设置有稍微向内侧突出的突出部，且其上表面构成第三平面54a。第三平面54a设置于在将覆盖板50安装在底板40时成为第一、第二平面46a、46b的中间的位置。进而，该侧壁部54是自内侧的边缘的前端向外侧设置且以侧壁部54成为大致三角柱状的方式例如以顶角45°被切割，而外侧成为倾斜面54b。该切口的顶角成为与被切割于底板40的侧壁部46的三角柱状部分的顶角相等的角度。
[0034]接下来，对将工具60安装在工具保持器34的情况进行说明。在图3(a)及图3(b)中，首先，使基准销61贯通覆盖板的贯通孔52而插入至底板40的开口 44。进而，使螺丝62自覆盖板50侧的贯通孔53贯通工具安装部42的螺丝槽45，并拧紧螺丝62。由此，底板40与覆盖板50作为整体而成为大致长方体状的工具保持器34，且在下方形成有角柱状的槽。
[0035]接下来，如图3(a)及图3(b)所示使为长方体状且具有以自一方向研磨而成为尖锐的方式而形成的刀尖的工具60的刀尖向下，并使刀尖的前端部分成为第一基准面的侧而自槽插入。图6(a)是表示安装了长方体状的工具的状态的仰视图，图6(b)是沿图3(a)的A-A线的剖视图。如果将工具60插入至最深处，那么工具60的上部由磁铁63保持。如果在该状态下拧紧螺丝62，那么覆盖板50相对于底板40而平行地接近，且底板40的侧壁部47的倾斜面47a与覆盖板50的侧壁部54的倾斜面54b相互面接触。如果进一步拧紧螺丝，那么因覆盖板50沿箭头B方向被按压且阶梯部51的下方稍微倾斜而成为楔子，而侧壁部54将工具60向箭头C的方向按压。此时，可利用第一、第二平面46a、47a与第三平面54a夹住工具60，且侧壁部46的平面46a、47a成为第一基准面、槽48的面48a成为第二基准面而可将角柱状的工具62的刀尖正确地定位并安装。如此，如图2所示在将工具安装在工具保持器的状态下将多个工具保持器34排列在加工头30。
[0036]另外在使用该加工头进行槽加工的情况下，如图1所示将薄膜太阳电池基板W配置在平台11上。接着，使加工头30向X轴方向的一端移动，并调整供给至加工头的气缸体的气缸的气体以控制各个头单元的工具的z轴方向的位置。由此，可在制造太阳电池时分别独立地设定各工具的负载。接着，可通过驱动马达21以使加工头30沿X轴移动而以最佳的负载对薄膜太阳电基板W进行刻划，而同时形成多个槽。当如上述般在X轴方向上形成好槽时使各头块稍微上升，并使平台11向y轴方向错开后再次降下各头块而反复进行槽加工。只要这样，便能够以狭窄的间隔执行图案化P1、P2、P3。
[0037]而且，在工具劣化而进行更换的情况下，拧松工具保持器34的螺丝62并将工具60向图3(a)及图3(b)的下方抽出。接着，仅通过将新的工具自工具保持器34的下方的槽插入并利用螺丝62拧紧，便可将新的工具正确地固定在特定位置，从而可简单地进行工具的更换作业。
[0038]另外，在本实施方式中针对对太阳电池基板进行槽加工的槽加工装置进行了说明，但本发明并不限定于太阳电池基板，可提供一种对各种脆性材料基板实施槽加工的槽加工装置及工具保持器。
[0039][产业上之可利用性]
[0040]关于该加工头，由于可通过并列安装多个加工头而以狭窄的间距安装多个工具，因此可优选使用于同时形成多条槽的太阳电池用的槽加工装置等。
[0041][符号的说明]
[0042]10槽加工装置
[0043]11平台
[0044]12摄像机
[0045]13基座
[0046]14支撑台
[0047]15导轨
[0048]16监控器
[0049]17桥接器
[0050]18a、18b支柱
[0051]19导杆
[0052]20导轨
[0053]21马达
[0054]30加工头
[0055]31头单元
[0056]32框架
[0057]33气缸体
[0058]34工具保持器
[0059]40底板
[0060]41加工头安装部
[0061]42工具安装部
[0062]43a、43b贯通孔
[0063]44开口
[0064]45螺丝槽
[0065]46、47侧壁部
[0066]46a、46b、54a 平面
[0067]47a、54b倾斜面
[0068]48槽
[0069]49切口部
[0070]50覆盖板
[0071]51阶梯部
[0072]52、53贯通孔
[0073]54侧壁部
[0074]60工具
[0075]61基准销
[0076]62螺丝
【主权项】
1.一种工具保持器，其安装在加工头且保持角柱状的工具而使之装卸自如，且具备: 底板，具有供安装工具的工具安装部；以及 覆盖板，通过螺固而固定在所述底板的工具安装部；且 所述底板的工具安装部具有: 第一侧壁部，具有第一基准面； 第二侧壁部，设置在与所述第一侧壁部对向的位置；以及 槽，形成在所述第一、第二侧壁部之间且具有第二基准面；且 所述第二侧壁部自外侧的边缘向内并朝向所述槽被切割而形成为三角柱状， 所述覆盖板具有 侧壁部，在与所述工具安装部的第二侧壁部对向的位置朝向外部被切割而形成为三角柱状，且 通过将所述工具插入至由所述工具安装部及所述覆盖板所形成的槽内，并将所述覆盖板的侧壁部按压至所述底板而对准所述第一、第二基准面以固定所述工具。2.根据权利要求1所述的工具保持器，其中所述底板的工具安装部的侧壁部的第一基准面具有隔着固定间隔而形成同一平面的第一平面及第二平面， 所述覆盖板的侧壁部具有以在将所述覆盖板按压至所述底板时位于所述第一、第二平面之间的方式按压所述工具的第三平面。3.一种槽加工装置，具备: 平台，供载置基板； 加工头，安装有具有用以进行槽加工的工具的根据权利要求1或2所述的工具保持器；以及 移动机构，使所述平台与所述加工头在水平面内相对移动；且该槽加工装置使所述加工头在基板的上表面平行地移动而在基板上形成槽。
【专利摘要】本案发明涉及一种工具保持器及槽加工装置。本发明的课题在于将工具保持器的工具正确地定位并安装，且使其容易拆卸。将覆盖板(50)固定于底板(40)的工具安装部(42)。工具安装部(42)具有相互对向的第一侧壁部(46)与第二侧壁部(47)，并在它们之间形成槽(48)。将第二侧壁部(47)向内切割而形成三角柱状的倾斜面(47a)。也将覆盖板(50)的侧壁部(54)向外切割而形成倾斜面(54b)。利用螺丝(62)拧紧覆盖板(50)而使倾斜面(47a)、(54b)接触并通过楔子固定角柱状的工具(60)。
【IPC分类】H01L21/67, H01L31/18
【公开号】CN105280754
【申请号】CN201510154460
【发明人】片桐直树
【申请人】三星钻石工业股份有限公司
【公开日】2016年1月27日
【申请日】2015年4月2日