一种带有深阱终端环结构的平面可控硅芯片及其制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种用于平面可控硅芯片制造的深阱终端环结构，尤其涉及一种带有深阱终端环结构的平面可控硅芯片。
[0002]本发明还涉及一种带有深阱终端环结构的平面可控硅芯片的制造方法。
【背景技术】
[0003]平面终端技术广泛应用于功率半导体器件芯片，目前的平面终端技术多为保护环结构。采用保护环结构的平面可控硅芯片，如图1所示，N__型硅单晶片101’、背面P型阳极区102’、正面P型短基区103’、N-+型阴极区104’、对通隔离环105’、保护环106’、正面的门极金属电极107’、正面的阴极金属电极108’、背面的阳极金属电极109’、钝化保护膜110’，保护环106’环设于正面P型短基区103’四周，保护环106’与正面P型短基区103’间隔一定的距离，保护环106’的深度等于正面P型短基区103’的深度。反向偏置时，耗尽层沿横向水平方向扩展，保护环承担部分耐压；电压越高，所需保护环数量越多，芯片终端尺寸也就越大，芯片尺寸也就越大。具体工艺步骤:1、光刻P型基区窗口和保护环窗口；2、离子注入硼;3、推结扩散。优点是:工艺步骤少。缺点是:采用保护环结构，需更大的芯片终端尺寸，浪费硅片面积。因此，需要新的技术方案来解决上述问题。
【发明内容】
[0004]本发明需要解决的技术问题是提供一种带有深阱终端环结构的平面可控硅芯片。
[0005]本发明还需要解决的技术问题是提供一种带有深阱终端环结构的平面可控硅芯片的制造方法。
[0006]为解决上述技术问题，本发明的一种带有深阱终端环结构的平面可控硅芯片，它包括N__型硅单晶片、背面P型阳极区、正面P型短基区、N-+型阴极区、正面的门极金属电极、正面的阴极金属电极、背面的阳极金属电极、对通隔离环和深阱终端环，所述深阱终端环内填充有钝化保护膜，其特征在于:所述深阱终端环与正面P型短基区相连并环绕在正面P型短基区的四周，所述深阱终端环的深度大于正面P型短基区的深度。
[0007]其中，所述深阱终端环的深度为50-70um，深阱终端环的宽度为90-150um。
[0008]进一步的，所述深阱终端环内的杂质浓度低于正面P型短基区内的杂质浓度。
[0009]制造上述一种带有深阱终端环结构的平面可控硅芯片的方法，先光刻背面P型阳极区窗口和正面P型短基区窗口，再在背面P型阳极区窗口和正面P型短基区窗口内离子注入硼，再光刻深阱终端环窗口，再在深阱终端环窗口内，进行离子注入铝，然后同时进行高温推结扩散，同时实现背面P型阳极区、正面P型短基区和深阱终端环。
[0010]它包括以下具体步骤:
a、硅单晶片进行化学抛光、RCA清洗，将硅单晶片置于1150±50°C下的氧气氛下氧化，氧化时间为5-10小时，生长的氧化膜厚度为1.0?1.8um;
b、双面光刻出对通隔离窗口； C、双面涂硼源予扩散，予扩温度1080±10°c，扩散时间1.8±0.2 h，形成P型沉积层，再推结，温度1275 ± 5°C，时间140 ± 1 h，形成P型对通隔离环；
d、光刻出正面P型短基区窗口和背面P型阳极区窗口；
e、双面注入硼，在窗口内形成硼的注入层；
f、光刻出正面深阱终端环窗口；
g、正面注入铝，在正面深阱终端环窗口内形成铝的注入层；
h、推结扩散，温度1275±5°C，时间25-35h，同时形成正面P型短基区、背面P型阳极区、深阱终端环；
1、光刻出N+型阴极区窗口；
j、磷予扩，温度950?1080°C，时间1.5 ± 0.2 h，形成N+沉积层;磷再扩，温度1205 土 10°C，时间4.0±0.6 h，形成N-+型阴极区；
k、钝化保护，LPCVD系统沉积氮化硅保护膜；
1、光刻出引线窗口 ；
m、双面金属膜蒸镀，正面蒸镀一层高纯铝膜;背面蒸镀钛、镍、银的多层金属电极； n、正面光刻出金属电极，通过真空合金形成最终产品。
[0011]本发明的有益效果:采用深阱终端环结构替代保护环结构，可以有效减少终端尺寸，可以用更小的芯片面积实现相同的参数性能，提高硅单晶片的利用率。
【附图说明】
[0012]下面结合附图对本发明作进一步详细说明。
[0013]图1为【背景技术】中提到的具有保护环结构的平面可控硅芯片的结构示意图。
[0014]图2为本发明具有深阱终端环结构的平面可控硅芯片的结构示意图。
[0015]其中，101、N-_型硅单晶片，102、背面P型阳极区，103、正面P型短基区，104、N-+型阴极区，105、对通隔离环，106、深阱终端环，107、正面的门极金属电极，108、正面的阴极金属电极，109、背面的阳极金属电极，110、钝化保护膜。
【具体实施方式】
[0016]为了加深对本发明的理解，下面对本发明作进一步详述，该实施例仅用于解释本发明，并不构成对本发明的保护范围的限定。
[0017]如图2所示，本发明的一种带有深阱终端环结构的平面可控硅芯片，它包括N-一型硅单晶片101、背面P型阳极区102、正面P型短基区103、N-+型阴极区104、正面的门极金属电极107、正面的阴极金属电极108、背面的阳极金属电极109、对通隔离环105和深阱终端环106，深阱终端环106内填充有钝化保护膜110，深阱终端环106与正面P型短基区103相连并环绕在正面P型短基区103的四周，深阱终端环106的深度大于正面P型短基区103的深度。
[0018]其中，深阱终端环106的深度为50-70um，深阱终端环106的宽度为90-150um。采用深阱终端环结构，反向偏置时，耗尽层向深阱终端环的内部扩展多，能够减小芯片尺寸。
[0019]深阱终端环106内的杂质浓度低于正面P型短基区103内的杂质浓度。使PN结耗尽层向芯片内部扩展，让击穿发生在体内而不是PN的终端。
[0020]本发明的一种带有深阱终端环结构的平面可控硅芯片的制造方法，先光刻背面P型阳极区窗口和正面P型短基区窗口，再在背面P型阳极区窗口和正面P型短基区窗口内离子注入硼，光刻深阱终端环窗口，再在深阱终端环窗口内，进行离子注入铝，然后同时进行高温推结扩散，同时实现背面P型阳极区、正面P型短基区、深阱终端环。深阱终端环是由铝扩散形成，具有更高的临界电场强度，可以实现更高的耐压。
[0021]下面是本发明平面可控硅芯片的制造方法的详细步骤:
1、生长氧化膜:对硅单晶片进行化学抛光，进行RCA清洗、甩干，将硅单晶片置于1150土50°C下的氧气氛下氧化，氧化时间为5-10小时，要求生长的氧化膜厚度为1.0?1.Sum;
2、双面光刻对通隔离窗口:利用匀胶机将光刻胶涂敷在硅片的正、反两面，经100±5°C/25 ± 5min前烘，利用双面光刻机、掩膜版进行曝光，显影，坚膜，利用氢氟酸缓冲腐蚀液腐蚀去掉窗口的二氧化硅膜，去残胶，洗净，甩干；
3、对通隔离扩散:(I)对硅片进行RCA清洗、甩干，(2)在硅片的正、反两面涂硼源，(3)硼予沉积，在1080土 10°C、氮气