一种真空光波导校准装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种真空光波导的校准装置，适用于有真空环境需求的激光与物质相互作用领域，如激光驱动产生极紫外辐射、高次谐波、四波混频、光谱展宽等。
【背景技术】
[0002]激光与物质的相互作用经常会采用毛细管光波导的模式使之充分反应并获得最佳的相位匹配关系。同时，为了使充满毛细管的气态物质不被污染，经常需要将毛细管置于真空环境中，然后再充入纯净的特定工作物质。那么，如何将激光准确导入真空中的毛细管将面临一定的校准挑战。本发明由此产生。
【发明内容】
[0003]针对现有技术的上述技术问题，本发明提供了一种真空光波导校准装置，可用于有真空环境需求的激光与物质相互作用领域，如激光驱动产生极紫外辐射、高次谐波、四波混频、光谱展宽等领域，具有操作简单、灵活性强和适用范围广等特点。
[0004]为达到上述目的，本发明是通过以下技术方案实现的:
一种真空光波导校准装置，包括腔体直通管，所述腔体直通管内安装有空心细钢管，所述空心细钢管内设有光波导毛细管，所述腔体直通管的两端分别安装有入射窗和出射窗，所述入射窗与腔体直通管之间设有入射调节装置，所述出射窗和腔体直通管之间设有出射调节装置。
[0005]所述的入射调节装置包括入射二维平移台一、入射二维平移台二、入射观察直通管、入射波纹管和三通管，所述入射二维平移台一位于光波导毛细管的入口处，所述入射二维平移台二与入射窗相邻，所述入射观察直通管与腔体直通管连接，所述空心细钢管和光波导毛细管的端部位于入射观察直通管内部，所述入射波纹管的一端与入射观察直通管连接，入射波纹管的另一端与三通管连接，所述入射窗位于三通管上，且三通管上设有接入端。
[0006]所述的出射调节装置包括出射二维平移台一、出射二维平移台二、出射观察直通管、出射波纹管和直通管，所述出射二维平移台一位于光波导毛细管的出口处，所述出射二维平移台二与出射窗相邻，所述出射观察直通管与腔体直通管连接，所述空心细钢管和光波导毛细管的端部位于出射观察直通管内部，所述出射波纹管的一端与出射观察直通管连接，出射波纹管的另一端与直通管连接，所述出射窗位于直通管上。
[0007]所述空心细钢管的两端均设有细钢管支架，所述细钢管支架位于腔体直通管的内部。
[0008]所述的腔体直通管、入射调节装置和入射窗之间均设有真空法兰接口，所述的真空法兰接口之间采用真空卡箍密封并链接;所述的腔体直通管、出射调节装置和出射窗之间均设有真空法兰接口，所述的真空法兰接口之间采用真空卡箍密封并链接。
[0009]所述的入射观察直通管和出射观察直通管均透明。
[0010]所述的入射波纹管为入射可弯曲波纹管，所述的出射波纹管为出射可弯曲波纹管。
[0011]所述的入射窗和出射窗均采用KF盲板结构，所述盲板的圆心设挖孔，所述挖空位置通过透明窗片覆盖密封。
[0012]所述的细钢管支架包括内圆环和外圆环，所述内圆环咬住空心细钢管，所述外圆环将空心细钢管固定于腔体直通管的中心轴位置。
[0013]所述光波导校准装置使用时，接入四通管，所述四通管的上部与光波导校准装置连接，四通管的下部通过挡板阀安装有真空栗，四通管的左部通过进气钢管连接有储气钢瓶，且进入口安装有进气微调阀，四通管的右部安装有真空计；入射窗的一侧设有聚焦透镜，激光从聚焦透镜射入。
[0014]本发明的有益效果如下:
本发明利用入射窗将激光器发射的激光导入真空腔装置，利用二维平移台调节入射窗、毛细管、出射窗的位置，利用有观察窗直通管观察激光的准直位置，最后利用出射窗输出与毛细管内的工作物质相互作用后的特定激光，可快速便捷地实现光波导管的有效校准。本发明可应用于有真空环境需求的激光与物质相互作用领域，如激光驱动产生极紫外辐射、高次谐波、四波混频、光谱展宽等领域，具有操作简单、灵活性强和适用范围广等特点。
【附图说明】
[0015]图1为本发明的结构示意图；
图2为本发明中的入射窗和出射窗的结构示意图；
图3为本发明中的细钢管支架结构示意图；
图4为本发明的使用状态图；
其中，I为腔体直通管、2为入射观察直通管、3为出射观察直通管、4为入射可弯曲波纹管、5为出射可弯曲波纹管、6为三通管、7为直通管、8为入射窗、9为出射窗、10为入射二维平移台一、11为出射二维平移台一、12为入射二维平移台二、13为出射二维平移台二、14为空心细钢管、15为细钢管支架、151为内圆环、152为外圆环、16为光波导毛细管、17为接入端、18为激光、19为聚焦透镜、20为四通管、21为进气微调阀、22为进气钢管、23为储气钢瓶、24为真空栗、25为挡板阀、26为真空计。
【具体实施方式】
[0016]下面结合具体实施例对本发明作进一步的说明，但本发明的保护范围并不限于此。
[0017]如图1-3所示，本发明的真空光波导校准装置，包括腔体直通管I，腔体直通管I内安装有空心细钢管14，空心细钢管14内设有光波导毛细管16，空心细钢管14的两端均设有细钢管支架15，细钢管支架15位于腔体直通管I的内部;细钢管支架15包括内圆环151和外圆环152，内圆环151咬住空心细钢管14，外圆环152将空心细钢管14固定于腔体直通管I的中心轴位置。
[0018]本发明中的腔体直通管I的两端分别安装有入射窗8和出射窗9，入射窗8和出射窗9均采用KF盲板结构，盲板的圆心设挖孔，挖空位置通过透明窗片覆盖密封。
[0019]本发明中的入射窗8与腔体直通管I之间设有入射调节装置，出射窗9和腔体直通管I之间设有出射调节装置。
[0020]本发明中的入射调节装置包括入射二维平移台一10、入射二维平移台二 12、入射观察直通管2、入射波纹管4和三通管6，入射二维平移台一 10位于光波导毛细管16的入口处，入射二维平移台二 12与入射窗8相邻，入射观察直通管2与腔体直通管I连接，空心细钢管14和光波导毛细管16的端部位于入射观察直通管2内部，入射波纹管4的一端与入射观察直通管2连接，入射波纹管4的另一端与三通管6连接，入射窗8位于三通管6上，且三通管6上设有接入端17，使用时接入抽气、进气、测气等装置。
[0021]本发明中的出射调节装置包括出射二维平移台一11、出射二维平移台二 13、出射观察直通管3、出射波纹管5和直通管7，出射二维平移台一11位于光波导毛细管16的出口处，出射二维平移台二 13与出射窗9相邻，出射观察直通管3与腔体直通管I连接，空心细钢管14和光波导毛细管16的端部位于出射观察直通管3内部，出射波纹管5的一端与出射观察直通管3连接，出射波纹管5的另一端与直通管7连接，出射窗9位于直通管7上。
[0022]本发明中的入射观察直通管2和入射观察直通管3需采用透明材料定制，以方便观察激光准直情况。
[0023]本发明中的