选择全部的上述检测元件。4.根据权利要求2所述的带电粒子束装置，其特征在于， 上述用户接口具备输入部，该输入部用于指示选择哪个上述检测元件， 上述信号控制电路在经由上述用户接口选择了上述检测元件的情况下，按着该指示，选择上述检测元件。5.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于， 通过沿上述同心环连结多个扇形的上述检测元件而构成上述检测元件。6.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于， 通过沿上述同心环配置具有朝向上述同心环的中心变细的锥形形状的上述检测元件而构成上述检测元件。7.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于， 通过沿上述同心环配置具有从上述同心环的中心朝向外周变细的锥形形状的上述检测元件而构成上述检测元件。8.一种带电粒子束装置，对试样照射带电粒子束，其特征在于，具备: 带电粒子束源，其射出带电粒子束； 试样移动装置，其使上述试样的位置移动； 反射电子检测器，其具有多个检测元件，该检测元件检测通过对上述试样照射上述带电粒子束，从上述试样产生的反射电子； 信号控制电路，其对使用上述反射电子检测器所具有的上述检测元件中的哪个检测元件进行选择； 压力计，其对配置上述试样的试样室内的气压进行测量；以及 排气系统，其对上述试样室内进行真空排气， 沿同心环配置有多个上述检测元件， 上述信号控制电路在上述试样室内的气压为预定气压阈值以上的情况下，与沿上述带电粒子束的照射轴的上述试样与上述反射电子检测器之间的距离无关地，选择全部的上述检测元件。9.根据权利要求8所述的带电粒子束装置，其特征在于， 上述信号控制电路在上述试样室内的气压小于上述预定气压阈值并且上述距离为预定距离阈值以上的情况下，选择全部的上述检测元件， 在上述试样室内的气压小于上述预定气压阈值并且上述距离小于上述预定距离阈值的情况下，选择除了沿最内周侧的上述同心环配置的上述检测元件以外的上述检测元件中的至少任意一个检测元件或选择除了沿最外周侧的上述同心环配置的上述检测元件以外的上述检测元件中的至少任意一个检测元件。10.根据权利要求9所述的带电粒子束装置，其特征在于， 上述带电粒子束装置还具备: 运算装置，其使用上述反射电子的检测信号，生成上述试样的观察图像；以及用户接口，其用于指示生成强调了上述试样的原子组成的组成图像还是生成强调了上述试样的凹凸形状的凹凸图像， 上述信号控制电路在经由上述用户接口输入了应生成上述组成图像的主旨的指示，上述试样室内的气压小于上述预定气压阈值并且上述距离小于上述预定距离阈值的情况下，选择除了沿最外周侧的上述同心环配置的上述检测元件以外的上述检测元件中的至少任意一个检测元件， 在经由上述用户接口输入了应生成上述凹凸图像的主旨的指示，上述试样室内的气压小于上述预定气压阈值并且上述距离小于上述预定距离阈值的情况下，选择除了沿最内周侧的上述同心环配置的上述检测元件以外的上述检测元件中的至少任意一个检测元件。11.根据权利要求10所述的带电粒子束装置，其特征在于， 上述用户接口具备输入部，该输入部用于指示选择哪个上述检测元件， 上述信号控制电路在经由上述用户接口选择了上述检测元件的情况下，按着该指示选择上述检测元件。12.根据权利要求8所述的带电粒子束装置，其特征在于， 通过沿上述同心环连结多个扇形的上述检测元件而构成上述检测元件。13.根据权利要求8所述的带电粒子束装置，其特征在于， 通过沿上述同心环配置具有朝向上述同心环的中心变细的锥形形状的上述检测元件而构成上述检测元件。14.根据权利要求8所述的带电粒子束装置，其特征在于， 通过沿上述同心环配置具有从上述同心环的中心朝向外周变细的锥形形状的上述检测元件而构成上述检测元件。15.—种控制带电粒子束装置的方法，该带电粒子束装置对试样照射带电粒子束，该方法的特征在于， 上述带电粒子束装置具备: 带电粒子束源，其射出带电粒子束； 试样移动装置，其使上述试样的位置移动； 反射电子检测器，其具有多个检测元件，该检测元件检测通过对上述试样照射上述带电粒子束，从上述试样产生的反射电子； 压力计，其对配置上述试样的试样室内的气压进行测量；以及 排气系统，其对上述试样室内进行真空排气， 沿同心环配置有多个上述检测元件， 上述方法具有对使用上述反射电子检测器所具有的上述检测元件中的哪个检测元件进行选择的信号控制步骤， 在上述信号控制步骤中， 在上述试样室内的气压小于预定气压阈值并且沿上述带电粒子束的照射轴的上述试样与上述反射电子检测器之间的距离为预定距离阈值以上的情况下，选择全部的上述检测元件， 在上述试样室内的气压小于上述预定气压阈值并且上述距离小于上述预定距离阈值的情况下，选择除了沿最内周侧的上述同心环配置的上述检测元件以外的上述检测元件中的至少任意一个检测元件或选择除了沿最外周侧的上述同心环配置的上述检测元件以外的上述检测元件中的至少任意一个检测元件。16.—种控制带电粒子束装置的方法，该带电粒子束装置对试样照射带电粒子束，该方法的特征在于， 上述带电粒子束装置具备: 带电粒子束源，其射出带电粒子束； 试样移动装置，其使上述试样的位置移动； 反射电子检测器，其具有多个检测元件，该检测元件检测通过对上述试样照射上述带电粒子束，从上述试样产生的反射电子； 压力计，其对配置上述试样的试样室内的气压进行测量；以及 排气系统，其对上述试样室内进行真空排气， 沿同心环配置有多个上述检测元件， 上述方法具有对使用上述反射电子检测器所具有的上述检测元件中的哪个检测元件进行选择的信号控制步骤， 在上述信号控制步骤中，在上述试样室内的气压为预定气压阈值以上的情况下，与沿上述带电粒子束的照射轴的上述试样与上述反射电子检测器之间的距离无关地，选择全部的上述检测元件。17.一种带电粒子束装置，对试样照射带电粒子束，其特征在于，具备: 带电粒子束源，其射出带电粒子束； 试样移动装置，其使上述试样的位置移动； 反射电子检测器，其具有多个检测元件，该检测元件检测通过对上述试样照射上述带电粒子束，从上述试样产生的反射电子； 用户接口，其用于指示使用上述反射电子检测器所具有的上述检测元件中的哪个检测元件；以及 运算装置，其使用上述反射电子的检测信号，生成上述试样的观察图像， 上述反射电子检测元件具有同心圆状的检测元件以及在其外侧配置的多个扇型的检测元件， 上述用户接口具有与上述同心圆状的检测元件对应的指示区域以及与在该同心圆状的检测元件的外侧配置的上述多个扇型的检测元件对应的多个指示区域。18.一种带电粒子束装置，对试样照射带电粒子束，其特征在于，具备: 带电粒子束源，其射出带电粒子束； 试样移动装置，其使上述试样的位置移动； 反射电子检测器，其具有多个检测元件，该检测元件检测通过对上述试样照射上述带电粒子束，从上述试样产生的反射电子； 用户接口，其用于指示使用上述反射电子检测器所具有的上述检测元件中的哪个检测元件；以及 运算装置，其使用上述反射电子的检测信号，生成上述试样的观察图像， 沿同心环配置有多个上述检测元件， 上述用户接口具有与沿内周侧的上述同心环配置的上述检测元件对应的同心圆状的指示区域以及与沿其外周侧的上述同心环配置的上述检测元件对应的多个指示区域。
【专利摘要】本发明的目的在于提供一种识别反射电子检测元件与试样之间的位置关系、试样周围的真空状态，自动地选择适合获取目的图像的反射电子检测元件的带电粒子束装置。本发明的带电粒子束装置在试样室内的真空度高试样与反射电子检测器离开时选择全部的反射电子检测元件，在试样室内的真空度高试样与反射电子检测器接近时选择适合于获取组成图像或凹凸图像的反射电子检测元件。在试样室内的真空度低时选择全部的反射电子检测元件(参照图7)。
【IPC分类】H01J37/244, H01J37/28
【公开号】CN105593966
【申请号】CN201480053931
【发明人】青木贤治, 斋藤勉, 细谷幸太郎, 中村光宏, 重藤训志
【申请人】株式会社日立高新技术
【公开日】2016年5月18日
【申请日】2014年10月7日
【公告号】DE112014004025T5, US20160203947, WO2015053262A1