陶瓷毛细管放电装置的制造方法
【专利摘要】陶瓷毛细管放电装置，涉及陶瓷毛细管放电技术，为了解决陶瓷毛细管与管座不能紧密配合造成工作失常的问题。该装置包括陶瓷毛细管和两个管座，两个管座的结构相同，管座为圆筒，圆筒的一端同时设有边沿和嵌固在圆筒内的圆板，陶瓷毛细管的两端均通过圆板中心的小孔固定在管座上，陶瓷毛细管与小孔之间的空隙充满702胶。本实用新型的管座与陶瓷毛细管固化成一体，不会出现打穿现象，本实用新型适用于在大电流快脉冲时放电。
【专利说明】
陶瓷毛细管放电装置
技术领域
[0001 ]本实用新型涉及陶瓷毛细管放电技术。
【背景技术】
[0002]毛细管放电Z箍缩极紫外光技术(DPP技术)基本工作原理就是在直径为的陶瓷毛细管两端加上大电流(>10KA)快脉冲(<120ns)放电，在工作气体氙(Xe)上产生强电磁场，使工作介质电离，在管壁附近首先形成等离子体，在劳伦兹力作用下等离子体向轴心运动，称为Z箍缩。在箍缩同时产生欧姆加热，产生高温，从而使工作介质气体产生高价电离。离子复合过程产生极紫外光辐射，对Xe介质，Xe十价离子可以产生13.5nm极紫外光，所以技术的核心是毛细管在大电流快脉冲时放电。
[0003]在结构上，加工出的陶瓷毛细管需放置在一个座上，放置在放电室中，并在毛细管两端加装电极。陶瓷毛细管放置在管座上的安置技术有很大的意义，如何做到紧密配合是研究的重点，通过大量实验发现，经常在工作中有打穿现象，即在毛细管管壁与管座间某一极小区域内产生打火，而在毛细管管壁上烧出一微小的孔，孔内有碳化现象，存在这一小损伤的情况下在大电流快脉冲放电时，便形成了一个旁路通道，使毛细管内放电电流大大衰减，造成工作失常。为此陶瓷毛细管与管座之间耦合，便是正常工作的一个极大的瓶颈。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型是为了解决陶瓷毛细管与管座不能紧密配合造成工作失常的问题，从而提供陶瓷毛细管放电装置。
[0005]本实用新型所述的陶瓷毛细管放电装置，包括陶瓷毛细管和两个管座，两个管座的结构相同，管座为圆筒，圆筒的一端同时设有边沿和嵌固在圆筒内的圆板，陶瓷毛细管的两端均通过圆板中心的小孔固定在管座上，陶瓷毛细管与小孔之间的空隙充满702胶。
[0006]陶瓷毛细管与管座接触表面加工上要求表面粗糙度要低，但是陶瓷毛细管是一次成型的，不能再机械加工，也就是表面粗糙度无法通过再机械加工降低粗糙度。管座的材料通常较软，也不可能降低加工的粗糙度。但是两者表面粗糙度要求做到尽量好。
[0007]在这样条件下，无论两者如何紧密配合，两者接触表面总会留有细微的缝隙，在真空中，抽真空难以将残存的空气排除净，也就是在两者接触面处，真空度难以做到很高。只要有一点小的缝隙，就会残留稀薄的空气，这就是造成做为绝缘介质的管座与毛细管管壁间中间有断层，由高绝缘介质管座，经过空气层的低绝缘介质再到毛细管陶瓷管壁的高绝缘介质，电磁场在接触面处有突变，因而会造成场强有突变，这一突变便成为导致打穿的主要原因。
[0008]基于以上分析，就要求陶瓷毛细管安装到管座上时两接触面间不允许有空气层，为此本实用新型提出，在安装配合时，用填充物填充在两接触面间，使管座与陶瓷毛细管固化成一体，用填充物排除接触面夹层中的残余空气，本实用新型采用702胶填充，毛细管在长期工作中，陶瓷毛细管和管座接触面处都没再出现打穿的现象，工作实现了稳定。
[0009]本实用新型适用于在大电流(>10KA)快脉冲(<120ns)时放电。
【附图说明】
[0010]图1是【具体实施方式】一所述的陶瓷毛细管放电装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0011 ]【具体实施方式】一:参照图1具体说明本实施方式，本实施方式所述的陶瓷毛细管放电装置，包括陶瓷毛细管I和两个管座2，两个管座2的结构相同，管座2为圆筒，圆筒的一端同时设有边沿和嵌固在圆筒内的圆板，陶瓷毛细管I的两端均通过圆板中心的小孔固定在管座2上，陶瓷毛细管I与小孔之间的空隙充满702胶。
[0012]【具体实施方式】二:本实施方式是对【具体实施方式】一所述的陶瓷毛细管放电装置作进一步说明，本实施方式中，管座2为聚四氟乙稀座。
[0013]聚四氟乙稀座耐高温、耐腐蚀、电绝缘性好。
[0014]【具体实施方式】三:本实施方式是对【具体实施方式】一或二所述的陶瓷毛细管放电装置作进一步说明，本实施方式中，小孔的外围设有一圈凹槽，凹槽的一端延伸至小孔。
[0015]由凹槽处滴落702胶，不仅方便滴胶，同时可保证陶瓷毛细管I与小孔无空隙粘接。
【主权项】
1.陶瓷毛细管放电装置，其特征在于，包括陶瓷毛细管(I)和两个管座(2)，两个管座(2)的结构相同，管座(2)为圆筒，圆筒的一端同时设有边沿和嵌固在圆筒内的圆板，陶瓷毛细管(I)的两端均通过圆板中心的小孔固定在管座(2)上，陶瓷毛细管(I)与小孔之间的空隙充满702胶。2.根据权利要求1所述的陶瓷毛细管放电装置，其特征在于，管座(2)为聚四氟乙稀座。3.根据权利要求1或2所述的陶瓷毛细管放电装置，其特征在于，小孔的外围设有一圈凹槽，凹槽的一端延伸至小孔。
【文档编号】H01J17/18GK205645745SQ201620519252
【公开日】2016年10月12日
【申请日】2016年5月31日
【发明人】赵永蓬, 徐强, 王骐
【申请人】哈尔滨工业大学