专利名称：压电马达、驱动装置、机器手、机器人、打印机的制作方法
技术领域：
本发明涉及压电马达、使用了该压电马达的驱动装置、机器人、电子部件搬送装置、电子部件检查装置以及打印机。
背景技术：
以往，公开了使用平板的压电元件的面内振动来使被驱动体进行旋转或者进行直线运动的压电马达(压电促动器)。作为这样的压电马达的一个例子，公开有利用弹性部件在恒定方向对相当于压电元件的振动的节点的侧面位置施力而进行保持的构造(例如，参照专利文献I)。此外，作为另一个例子，公开了在与形成有长方体的供给电极的一个面正交的4个侧面设置对压电元件进行支承的支承体，利用弹性部件对压电元件施加压缩力从而利用该支承体支承压电元件的构造(例如，参照专利文献2 )。并且，公开了在压电元件的厚度方向施加按压力来支承压电元件的按压体在压电素子的伸缩方向与压电元件一起移动的压电马达的构造(例如，参照专利文献3 )。专利文献1:日本特开平8-237971号公报专利文献2:国际公开W02007/080851号小册子专利文献3:日本特开2007-189900号公报在上述的专利文献I以及专利文献2中，配置以限制压电元件的振动方向特别是限制相对于弯曲振动而振动的方式保持压电元件的弹性部件，由此压电元件的振动通过弹性部件而向保持机体泄漏，存在损失被驱动体的驱动能量的课题。此外，在专利文献3的构造中，从引导壳体的引导部产生振动泄漏，也存在导致驱动能量向被驱动体的传递效率降低的课题。
发明内容
本发明是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，能够通过以下的方式或者应用例实现。(应用例I)本应用例所涉及的压电马达的特征在于，具备:压电元件，被激振成弯曲振动模式而振动，或者同时激振被上述弯曲振动模式和纵向振动模式而振动；上部支承部件，与在上述压电元件的第一主面的四角方向分离地配置的支承部面进行接触；按压部件，与上述上部支承部件的与上述第一主面相对的面进行面接触；下部支承部件，隔着上述压电元件配设在相对于上述上部支承部件呈面对称的位置并与上述压电元件进行面接触；机架部件，与相对于上述下部支承部件与上述压电元件的接触面位于相反侧的面进行面接触；以及弹性部件，在将上述机架部件、上述下部支承部件、上述压电元件、上述上部支承部件、上述按压部件按顺序层叠的状态下，在上述支承部的位置进行按压。根据本应用例，以利用上部支承部件和下部支承部件夹住在压电元件的第一主面四角方向分离地配置的支承部的方式进行按压、保持，所以能够可靠地保持压电元件并能够抑制振动向上部支承部件和下部支承部件泄漏，从而提高驱动能量向被驱动体的传递效率。(应用例2)在上述应用例所涉及的压电马达中优选为，上述支承部配置在通过上述压电元件的次级弯曲振动的节点并与上述压电元件的纵向振动正交的线上的范围。本应用例的压电元件具有一级纵向振动模式和次级弯曲振动模式。通过次级弯曲振动的节点并与压电元件的纵向振动正交的线上的位置的压电元件的位移比其它位置的位移小，所以若在该位置按压、支承压电元件，则能够抑制振动朝上部支承部件和下部支承部件泄漏。(应用例3)在上述应用例所涉及的压电马达中优选为，在上述压电元件的上述第一主面的配置有上述支承部的位置形成有激振电极，在上述压电元件的与上述第一主面相对的第二主面形成有共用电极，在上述上部支承部件的与上述激振电极的接触面形成有凹凸，在上述下部支承部件的与上述共用电极的接触面形成有凹凸。根据这样的结构，在利用弹性部件以隔着压电元件的方式按压上部支承部件和下部支承部件时，上部支承部件的凹凸被转印到激振电极并且下部支持部件的凹凸被转印到共用电极，从而接触面的摩擦力增大，能够可靠地保持压电元件，由此能够进一步抑制振动泄漏。(应用例4)在上述应用例所涉及的压电马达中优选为，在上述压电元件的上述第一主面的配置有上述支承部的位置形成有激振电极，在上述压电元件的第二主面形成有共用电极，在上述激振电极的与上述上部支承部件的接触面形成有凹凸，在上述共用电极的与上述下部支承部件的接触面形成有凹凸。 在这样的结构中，激振电极的凹凸被转印到上部支承部件，共用电极的凹凸被转印到下部支承部件，从而接触面的摩擦力增大，能够可靠地保持压电元件，由此能够进一步抑制振动泄漏。(应用例5)在上述应用例所涉及的压电马达中优选为，在上述压电元件的上述第一主面的配置有上述支承部的位置形成有激振电极，在上述压电元件的第二主面形成有共用电极，在上述上部支承部件和上述激振电极双方的接触面形成有凹凸，在上述下部支承部件和上述共用电极双方的接触面形成有凹凸。这样，若形成在激振电极和上部支承部件双方形成凹凸并在共用电极和下部支承部件双方形成凹凸的结构，则能够更可靠地保持压电元件，由此能够进一步抑制振动泄漏。此外，这样的结构在各接触面的硬度大致相等的情况下是有效的。(应用例6)在上述应用例所涉及的压电马达中优选为，在上述上部支承部件和上述激振电极的接触面以及上述下部支承部件和上述共用电极的接触面的任意一方或者双方形成有凹凸，并且在上述上部支承部件和上述按压部件的接触面的任意一方或者双方、在上述下部支承部件和上述机架部件的接触面形成有凹凸。根据这样的结构，除了在压电元件的接触面形成的凹凸之外，还在上部支承部件与按压部件的接触面、下部支承部件与机架部件的接触面形成凹凸，从而上部支承部件与按压部件的接触面以及下部支承部件与机架部件的接触面的摩擦力增大，能够进一步可靠地保持压电元件，由此能够进一步抑制振动泄漏。(应用例7)本应用例所涉及的驱动装置的特征在于，具备:上述各应用例中任一项所述的压电马达；对上述突起部朝被驱动体施力的弹性部件；以及由于上述突起部的椭圆运动而被驱动的被驱动体。根据本应用例，如上所述，使用振动泄漏小的压电马达，从而提高驱动能量向被驱动体传递的效率，能够实现高效率的驱动装置。(应用例8)在上述应用例的驱动装置中优选为，具备:上述各应用例中任一项所述的压电马达和被驱动体，该被驱动体具有与上述突起部抵接的接触面和正交于上述第一主面的旋转轴或者平行于上述第一主面的旋转轴的。根据这样的结构，在具有正交于纵向振动方向的旋转轴的情况下，能够利用突起部按压、驱动圆柱状的被驱动体的侧面并使其旋转。此外，在具有平行于纵向振动方向的旋转轴的情况下，能够利用突起部按压、驱动圆盘状的被驱动体的平面并使被驱动体旋转。(应用例9)在上述应用例所涉及的驱动装置中优选为，具备上述各应用例中任一项所述的压电马达、对上述被驱动体进行支承的直线状的导轨以及具有与上述突起部抵接的接触面并能够沿着上述导轨移动的被驱动体。根据这样的结构，能够高效地沿着导轨呈直线状驱动被驱动体。(应用例10)在上述应用例所涉及的驱动装置中优选为，具有:上述各应用例中任一项所述的压电马达；与上述突起部抵接的面呈直线状延伸的固定轨道；以及对上述突起部朝上述固定轨道施力的弹性部件，利用上述突起部的椭圆运动，上述压电马达能够沿着上述固定轨道移动。在这样的结构中，压电马达本身能够相对于固定轨道而沿着固定轨道移动。因此，例如，若在压电马达安装卷筒纸的切割装置等作为其他的功能机构，则能够使切割装置等以规定的速度、方向高效地移动。(应用例11)本应用例所涉及的机器人的在于，具备臂；连结上述臂的关节部；配置于上述关节部的上述应用例所述的驱动装置。根据本应用例，使用没有振动泄漏且驱动力的传递效率高的驱动装置，从而可以实现能够使臂高效率地驱动的机器人。此外，在具有把持工件的指部的机器手中，若将指部作为很小的臂，则只要在指部间的关节使用上述驱动装置，就能够实现小型化且高效率的机器手的驱动。(应用例12)
本应用例所涉及的电子部件输送装置的特征在于，具备:把持电子部件的把持部；使上述把持部在X轴方向移动的X轴驱动装置；以及使把持部在正交于X轴方向的Y轴方向移动的Y轴驱动装置，X轴驱动装置和Y轴驱动装置是应用例10所述的驱动装置。根据本应用例，使用没有振动泄漏且驱动力的传递效率高的驱动装置，从而可以实现能够使把持部高效率地移动的电子部件输送装置。(应用例13)本应用例所涉及的电子部件检查装置的特征在于，具备:对被检查部件进行检查的检查部；使上述检查部在X轴方向移动的第一驱动装置；以及使上述检查部在正交于上述X轴方向的Y轴方向移动的第二驱动装置，上述第一驱动装置和上述第二驱动装置是应用例10所述的驱动装置。根据本应用例，上述驱动装置能够实现小型化、轻型化，所以能够实现驱动负荷小且利用驱动装置使检查部迅速移动到被检查部件的位置并移动到正确的位置的电子部件检查装置。(应用例14)本应用例所涉及的打印机的特征在于，具备:输送记录介质的输送机构；向上述记录介质排出液滴的排出头；以及能够在正交于上述记录介质的输送方向的方向移动的应用例10所述的驱动装置。在本应用例中，使用上述驱动装置，能够实现小型化、轻型化，并能够实现驱动负荷小的打印机。
图1是表示压电马达的俯视图。图2是表示图1的D-D切断面的剖视图。图3是表示压电元件的结构以及驱动方法的示意图，图3 (a)是静止时的俯视图，图3 (b)以及图3 (C)表示压电元件的振动和被驱动体的驱动方法，图3 Cd)是表示将图3 (b)和图3 (c)的振动合成的示意图。图4是表示压电元件的支承部S1、S2、S3、S4与支承部件的关系的俯视图。图5是示意性地表示压电元件的按压保持构造的剖视图。图6是表示第一实施例的示意图，图6 (a)表示按压前的状态，图6 (b)是表示按压的状态的一部分的剖视图，图6 (C)、图6 (d)是表示凹凸T的形状例的剖视图和俯视图。图7是表示第二实施例的一部分的示意图，图7 Ca)表示按压前的状态，图7 (b)表示凹凸形状的一个例子，图7 (c)是表示按压的状态的剖视图。图8是表示变形例所涉及的第一支承部件以及第二支承部件的形状的俯视图，图8 (a)表示变形例1，图8 (b)表示变形例2，图8 (c)表示变形例3，图8 Cd)表示变形例4。图9是不意性地表不第四实施例的一部分的剖视图。图10表示驱动装置的第一实施例，图10 (a)是俯视图，图10 (b)是表示图10 (a)的E-E切断面的剖视图。图11表示驱动装置的第二实施例，图11 (a)是俯视图，图11 (b)是表示图11 (a)的F-F切断面的剖视图。图12是表示机器人的简要结构的立体图。图13是简略地表不机器手的外观图。图14是表示电子部件检查装置的一个例子的立体图。图15是表示打印机的简要结构的立体图。图16是表示切割装置的一个例子的剖视图。符号说明10…压电马达，20…压电元件，20a…第一主面，20b…第二主面，22…第一激振电极,23...第二激振电极,24...第三激振电极,25...第四激振电极,26...共用电极,30...第一支承部件，30a…接触面，31…第二支承部件，32…第三支承部件，32a…接触面，33…第四支承部件，70...壳体。
具体实施例方式以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。此外，在以下的说明中所参照的图是为了能够识别各部件的大小而使各部件以及部分的纵横的比例尺与实际不同的示意图。(压电马达)图1是表示压电马达10的俯视图，图2是表示图1的D-D切断面的剖视图。在图1、图2中，压电马达10具备:具有矩形的平面并利用面内振动对被驱动体进行驱动的压电元件20、以及与在压电元件20的第一主面20a的四角方向分离地配置的支承部的每一个抵接的第一支承部件30和第二支承部件31。此外，将第一支承部件30以及第二支承部件31作为上部支承部件。压电马达10还具备:由按压第一支承部件30的第一按压板40和按压第二支承部件31的第二按压板41构成的按压部件、与压电元件20的与第一主面20a相对的第二主面20b抵接并隔着压电元件20而配设在相对于第一支承部件30呈面对称的位置的第三支承部件32以及配设于第二支承部件31的面对称的位置的第四支承部件33。将上述第三支承部件32和第四支承部件33作为下部支承部件。压电马达10还具备将上述下部支承部件向压电元件20按压的作为机架部件的壳体70。而且，具备作为弹性部件的第一压紧弹簧60以及第二压紧弹簧61，它们在壳体70的壳体底面71按顺序将下部支承部件(第三支承部件32以及第四支持部件33)、压电元件20、上部支承部件(第一支承部件30以及第二支承部件31)、按压部件(第一按压板40以及第二按压板41)层叠从而在支承部的位置进行按压。第一压紧弹簧60被夹持在第一按压板40与第一固定板50之间，将固定螺钉80紧固于壳体70，从而将第一支承部件30和第三支承部件32按压到压电元件20。第二压紧弹簧61被夹持在第二按压板41与第二固定板51之间，将固定螺钉80紧固于壳体70，从而将第二支承部件31和第四支承部件33按压到压电元件20。此外，在图2中，表示了第一压紧弹簧60以及第二压紧弹簧61不进行按压的初始状态。此时，如图2所示，在第一固定板50以及第二固定板51与壳体70之间，在厚度方向存在间隙。这是为了在将压 电元件20、上部支承部件、下部支承部材、第一按压板40以及第二按压板41层叠了的情况下，利用第一压紧弹簧60和第二压紧弹簧61吸收上述构成要素的厚度的差别。此外，在本实施方式中，第一压紧弹簧60和第二压紧弹簧61的按压力大致为数kg。在压电元件20的短边侧的端部设置有突起部28。突起部28与被驱动体接触并利用其摩擦力使被驱动体驱动，所以采用与被驱动体的摩擦系数高且耐磨损性出色的材料。例如，采用氧化锆、陶瓷等硬质材料。突起部28由于压电元件20的弯曲振动而进行椭圆运动，并驱动被驱动体。接着，对用于本实施例的压电马达10的压电元件20以及驱动方法进行说明。图3是表示压电元件20的结构以及驱动方法的示意图，图3 (a)是静止时的俯视图，图3 (b)以及图3 (c)表示压电元件20的振动和被驱动体的驱动方法，图3 Cd)是表示将图3 (b)和图3 (c)的振动合成的示意图。在图3 Ca)中，在压电元件20的压电体21的第一主面20a侧形成有第一激振电极22、第二激振电极23、第三激振电极24、第四激振电极25。此外，在与第一主面20a是正反关系的第二主面20b侧，共用电极26 (参照图2)形成于压电体21的第二主面20b侧的几乎整个面。压电体21的材料只要是具有压电性的材料，则没有特别限定，但优选使用PZT(锆钛酸铅)。此外，第一激振电极22、第二激振电极23、第三激振电极24、第四激振电极25以及共用电极26的材质只要是导电性金属，则没有限定，但也可以采用对Ag浆料进行丝网印刷等来形成的方法、对Al、Au、W、Cu、Ag等实施派射法、蒸镀法等方法而形成。此外，第一激振电极22与第三激振电极24电连接，第二激振电极23与第四激振电极25电连接。根据这样的电极构成，激励如下的纵向振动，即、若对第一激振电极22和第三激振电极24施加电荷，则压电体21伸长(用实线的箭头表示)，若除去电荷则复原。另一方面，激励如下的纵向振动，即、若对第二激振电极23和第四激振电极25施加电荷，则压电体21伸长(用虚线的箭头表示)，若除去电荷则复原。这样，对第一激振电极22和第三激振电极24，或者对第二激振电极23和第四激振电极25施加电荷，由此激振压电元件20进行弯曲振动。参照图3 (b)、(c)、(d)对这样被激励的弯曲振动进行说明。图3 (b)表示在第一激振电极22以及第三激振电极24与共用电极26之间施加电荷，而不对第二激振电极23和第四激振电极25施加电荷的情况，在第一激振电极22以及第三激振电极24所形成的范围激励纵向振动(参照图3 (a))。然而，由于不对第二激振电极23和第四激振电极25施加电荷所以不激励纵向振动，其结果是，如图3 (b)所示，压电元件20在第一主面20a和第二主面20b的平面内激励次级弯曲振动。其结果是，突起部28沿图示的椭圆轨道％的箭头方向进行椭圆运动。由于突起部28由被驱动体90按压，所以利用突起部28在方向的椭圆轨道，使抵接被驱动体90朝凡方向移动。此外，如图3 (b)所示，用L表示弯曲振动的中心轴，用Ρ1、Ρ2、Ρ3表示振动的节点，用La表示振动模式。在突起部28与被驱动体90的接触部分，利用突起部28的椭圆轨道Qp借助接触部的摩擦力对被驱动体90产生驱动力。利用该驱动力朝方向驱动被驱动体90。图3 (C)表示在第二激振电极23以及第四激振电极25与共用电极26之间施加电荷而不对第一激振电极22以及第三激振电极24施加电荷的情况，在第二激振电极23和第四激振电极25所形成的范围激励纵向振动(参照图3 (a))。然而，由于没有对第一激振电极22以及第三激振电极24施加电荷，所以不激励纵向振动，其结果是，如图3 (c)所示，压电元件20在第一主面20a和第二主面20b的平面内激励次级弯曲振动。图3 (c)所示的次级弯曲振动相对于图3 (b)所示的次级弯曲振动为相反相位。其结果是，突起部28沿图示的椭圆轨道Qk的箭头方向进行椭圆运动。由于突起部28由被驱动体90按压，所以利用突起部28在Qk方向的椭圆运动，朝Hk方向驱动被驱动体90。此外，如图3 (C)所示，用L表示弯曲振动的中心轴，用P1、P2、P3表示振动的节点，用Lb表示振动模式。在突起部28与被驱动体90的接触部分，利用突起部28的椭圆轨道Qk，借助摩擦力而对被驱动体90产生驱动力。利用该驱动力朝Hk方向驱动被驱动体90。这样，切换电荷朝第一激振电极22以及第三激振电极24、和朝第二激振电极23以及第四激振电极25的施加，由此改变压电元件20的弯曲振动的方向，能够容易切换被驱动体90的驱动方向。结合图3 Cd)对上述的压电元件20的弯曲振动以及纵向振动的2种振动模式下的振动的节点进行说明。图3 (d)是表示压电元件20的振动模式的概念图。如图3 (d)所示,压电元件20表示出使用图3 (b)、图3 (C)进行说明的振动状态的振动模式La、Lb。如将振动模式La、Lb合成表示，则在振动的中心轴L上存在振动的节点P1、P2、P3。通过该振动的节点P1、P2、P3并在正交于压电元件20的纵向振动的方向延长的线PrUPr2,Pr3 (以下表示为节点线Prl、Pr2、Pr3)上的范围是压电元件20的位移比其他的位置小的区域。因此，优选在节点线Prl、Pr2、Pr3上的范围配置对压电元件20进行按压、支承的支承部，更优选在最靠近压电元件20的外形部的含有振动的节点P2、P3的区域配置支承部。接着，参照图4、图5对压电元件20的按压、支承构造进行说明。图4是表示压电元件20的支承部S1、S2、S3、S4与支承部件的关系的俯视图。这里，以在节点线Pr2上跨越第一激振电极22和第二激振电极23的方式配置第一支承部件30。第一支承部件30与第一激振电极22交叉的区域为支承部SI，第一支承部件30与第二激振电极23交叉的区域为支承部S2。以隔着压电元件20与第一支承部件30大致呈面对称的方式配置第三支承部件32。另一方面，以在节点线Pr3上跨越第三激振电极24和第四激振电极25的方式配置第二支承部件31。第二支承部件31与第三激振电极24交叉的区域为支持部S3，第二支承部件31与第四激振电极25交叉的区域为支承部S4。以隔着压电元件20与第二支承部件31大致呈面对称的方式配置第四支承部件33。如以上说明，支承部S1、S2、S3、S4分别配置在压电元件20的四角方向。此外，本实施方式的压电元件20是长度为30mm、宽度为7.5mm、厚度为3.0mm的扁平的长方体，与其他的步进电机、伺服电机相比，能够实现压电马达10的小型、轻型化。图5是示意性地表示压电元件20的按压保持构造的剖视图，表示了图4的C-C切断面。如图5所示，压电元件20在壳体底面71上配设有第三支承部件32以及第四支承部件33，并且在第三支承部件32以及第四支承部件33的上部重叠压电元件20，在压电元件20的上部重叠第一支承部件30以及第二支承部件31，而且将第一按压板40以及第二按压板41层叠，并在支承部S1、S2、S3、S4的位置(参照图4)利用第一压紧弹簧60和第二压紧弹簧61 (图示省略)而借助按压力F进行按压、支承。而且,具体如图4、图5所不,第一支承部件30与第一激振电极22的表面22a和第二激振电极23的表面23a进行面接触，第二支承部件31与第三激振电极24的表面24a和第四激振电极25的表面25a进行面接触。此外，第三支承部材32以及第四支承部件33与共用电极26的表面26a进行面接触。此外，优选在上述各要素的接触面形成凹凸而增大摩擦力来进行压电素子20的按压、支承。此外，也可以形成如下构造:将第一支承部件30和第二支承部件31—体形成来作为上部支承部件，并在上部支承部件上设置对第一支承部S1、第二支承部S2、第三支承部S3、第四支承部S4的每一个进行按压的突出设置部。在图6、图7中表示实施例来对上述各要素的接触面的结构进行说明。(第一实施例)图6是表不第一实施例的不意图，图6 (a)表不按压前的状态，图6 (b)是表不按压的状态的一部分的剖视图。在本实施例中，表示了在第一支承部件30、第二支承部件31、第三支承部件32以及第四支承部件与压电元件20的接触面形成有凹凸T的结构。此外，图6 (C)、图6 (d)例示了凹凸T的形状。此外，第一支持部件30、第二支承部件31、第三支承部件32、第四支承部件33是大致相同的式样，所以例示第一支承部件30和与第一支承部件30相对的第三支承部件32来进行说明。如图6 Ca)所示，在第一支承部件30的与压电元件20接触侧的表面30a以及在第三支承部件32的靠近压电元件20侧的表面32a形成有凹凸T。在本实施例中，第一支承部件30、第二支承部件31、第三支承部件32以及第四支承部材33的材质为聚酰亚胺或者ABS树脂等，每一个是长度为5.0mm、宽度为6.5mm、厚度为1.0mm的长方体。此外，第一激振电极22、第二激振电极23、第三激振电极24、第四激振电极25以及共用电极26为Ag浆料。接下来，如图6 (b)所示，若利用按压力F押压第一支承部件30和第三支承部件32，则第一支承部件30的凹凸T以在激振电极22、23的表面22a、23a被转印的方式卡入。此外,第三支承部件32的凹凸T以在共用电极26的表面26a被转印的方式卡入。这样，第一支承部件30和第三支承部件32的凹凸T卡入各电极表面从而能够增大接触面的摩擦力。此外，凹凸T能够采用各种形态，所以例示代表性的实施例进行说明。图6 (C)是直线地形成凹凸T的例子，上层表示剖视图，下层表示俯视图。凹凸T在与压电元件20的纵向振动方向大致正交的方向形成为直线状。使用锉、砂纸、硬质的转印模等形成该凹凸T。凹凸T的间距、深度由作为对象的各电极的表面硬度决定。图6 (d)是将凹凸T形成为点状的例子，上层表示剖视图，下层表示俯视图。凹凸T在第一支承部件30的表面30a上可以如图示那样排列，也可以随机配置。利用硬质的转印模等形成这样的凹凸T。凹凸T的大小、形状、配置数量、深度由作为对象的各电极的表面硬度决定。此外，凹凸也可以形成于各电极，参照图7对第二实施例进行说明。
(第二实施例)图7是表示第二实施例的一部分的示意图，图7 (a)表示按压前的状态，图7 (b)表示凹凸形状的一个例子，图7 (C)是表示按压的状态的剖视图。本实施例是在形成于压电元件20的第一激振电极22、第二激振电极23、第三激振电极24、第四激振电极25以及共用电极26上形成有凹凸的结构。例示第一支承部件30、第一激振电极22、第三支承部件32以及共用电极26进行说明。此外，对与第一实施例(参照图6)相同的部分标注相同的符号。如图7 (a)所示，在第一支承部件30以及第二支承部件31不形成凹凸T。另一方面，在第一激振电极22以及共用电极26上形成有凹凸T2。如图7 (b)所示，在第一支承部件30与第一激振电极22的交叉区域，即在支承部SI的区域，将第一激振电极22形成图案从而形成凹凸T2。共用电极26也如此。通过丝网印刷能够使凹凸T2容易地形成所希望的形状，相当于凸部或者凹部的部分的宽度以及间距由电极材料和支承部件的表面硬度决定。而且，如图7 (C)所示，若隔着压电元件20利用第一支承部件30和第三支承部件32通过按压力F进行按压，则第一激振电极22的凹凸T2在第一支承部件30的表面30a以转印的方式卡入。此外，共用电极26的凹凸T2在第三支承部件32的表面32a以转印的方式卡入。这样，各电极的凹凸T2在支承部材的表面30a以及32a卡入从而能够增大接触面的摩擦力。此时，将各支承部件的表面硬度<各电极的硬度的材质进行组合。此外，激振电极侧的凹凸T2和共用电极侧的凹凸T2的形状未必一定要相同。上述压电马达10利用作为上部支承部件的第一支承部件30及第二支承部件31、和作为下部支承部件第三支承部件32及第四支承部件33将分离地配置于压电元件20的四角方向的第一支承部S1、第二支承部S2、第三支承部S3、第四支承部S4的每一个以平衡地夹住的方式按压并保持。由此，能够可靠地支承压电元件20并抑制振动泄漏，从而能够提高驱动能量向被驱动体90的传递效率。此外，将第一支承部SI以及第二支承部S2配置于通过压电元件20的次级弯曲振动的节点P2的节点线Pr2上的区域，将第三支承部S3以及第四支承部S4配置于通过压电元件20的次级弯曲振动的节点P3的节点线Pr3上的区域。在节点线Pr2、Pr3上，压电元件20的位移比在其他位置的位移小，所以若在该位置对压电素子20进行按压、支承，则能够进一步抑制振动泄漏的产生。此外，在第一主面20a侧的第一支承部SI的配置位置配置有第一激振电极22，在第二支承部S2的配置位置配置有第二激振电极23，在第三支承部S3的配置位置配置有第三激振电极24，在第四支承部S4的配置位置配置有第四激振电极25，在压电元件20的第二主面侧形成有共用电极26。而且，在第一支承部件30、第二支承部件31、第三支承部件32、第四支承部件33分别与第一激振电极22、第二激振电极23、第三激振电极24、第四激振电极25的各接触面形成有凹凸T。而且，在按压、支承压电元件20时，凹凸T被转印到各电极的表面，从而能够增大接触面的摩擦力，能够对压电元件20进行更可靠的支承，从而能够进一步抑制振动泄漏。此外，与上述情况相反，在第一激振电极22、第二激振电极23、第三激振电极24、第四激振电极25的每一个上形成凹凸T2，来使凹凸T2在各支承部件的接触面转印，从而能够增大接触面的摩擦力。(第三实施例)在上述第一实施例中，表示了在第一支承部件30、第二支承部件31、第三支承部件32、第四支承部件33形成凹凸T的例子，在第二实施例中，表示了在第一激振电极22、第二激振电极23、第三激振电极24、第四激振电极25形成凹凸T2的例子，但也可以在各支承部件和各电极双方的接触面形成凹凸。虽然省略图示，但例如在第一支承部件30、第二支承部件31、第三支承部件32、第四支承部件33与压电元件20的各接触面形成上述第一实施例(参照图6 (c)、(d))所示的凹凸T。并且，在第一激振电极22、第二激振电极23、第三激振电极24和第四激振电极25、以及共用电极26与第一支承部件30、第二支承部件31、第三支承部件32、第四支承部件33的每一接触面形成第二实施例(参照图7 (b))所示的凹凸T2。这样，根据在第一激振电极22、第二激振电极23、第三激振电极24、第四激振电极25和共用电极26、以及第一支承部件30、第二支承部件31、第三支承部件32、第四支承部件33双方的接触面形成凹凸T或者凹凸T2的构成，能够更可靠地支承压电元件20，从而能够进一步抑制振动泄漏。此外，这样的结构在各接触面的硬度大致相同的情况下是有效的。在以上说明的第一实施例 第三实施例中，例示了将第一支承部件30以及第二支承部件31、第三支承部件32以及第四支承部件33的俯视形状设为长方形而支承部Sf S4的形状为四边形的情况，但上述形状并不局限于长方形而是能够采用各种形状，所以将其作为变形例来进行图示和说明。此外，对与上述的第一实施例相同的结构部分标注相同的符号。(变形例)图8是例示变形例所涉及的第一支承部件30以及第二支承部件31的形状的俯视图，图8 (a)表示变形例1，图8 (b)表示变形例2，图8 (c)表示变形例3，图8 (d)表示变形例4。此外，第三支承部件32、第四支承部件33的形状与第一支承部件30相同。因此，例示第一支承部件30和第二支承部件31来进行说明。如图8 Ca)所示，变形例I是第一支承部件30以及第二支承部件与压电元件20的接触面为椭圆形的例子。如图8 (b)所示，变形例2是第一支承部件30以及第二支承部件与压电元件20的接触面为压电元件20的宽度方向端部一侧变窄的变形六边形。如图8(c)所示，变形例3是第一支承部件30以及第二支承部件与压电元件20的接触面为菱形形状的例子。此外，如图8 (d)所示，变形例4表示了第一支承部件30以及第二支承部件与压电元件20的接触面为轨道形状的例子。使用以上说明的变形例，来形成上述的第一实施例 第三实施例所示的凹凸T或者凹凸T2，从而也能够得到相同的效果。(第四实施例)接着，对压电马达10的第四实施例进行说明。在上述实施例f实施例3中，在各支承部件以及各电极的接触面的任意一方或者双方形成有凹凸T或者凹凸T2，但第四实施例的特征在于，进一步在上部支承部件与按压板的接触面、以及下部支承部件与壳体70的接触面都形成凹凸。图9是示意性地表示第四实施例的一部分的剖视图。此外，例示作为上部支承部件之一的第一支承部件30以及作为下部支承部件之一的第三支承部件32来进行说明。对与实施例1相同的部分标注相同的符号。此外，在图9中，虽然省略了图示，但在第一支承部件30与第一激振电极22的接触面的任意一方或者双方、以及在第三支承部件32与共用电极26的接触面的任意一方或者双方形成有图6或图7所示的凹凸T、T2。在图9中，在第一按压板40的与第一支承部件30的接触面40a上形成有与上述第一实施例(参照图6 (c)、(d))相同的凹凸T。此外，在壳体底面71的接触面71a上也形成有与第一按压板40相同的凹凸T3。如图9所不,若利用第一按压板40和壳体70经由第一支承部件30和第三支承部件32而通过按压力F对压电元件20进行按压，则以第一按压板40的凹凸T在第一支承部件30的接触面30b转印的方式卡入。此外，壳体底面71的凹凸T在第三支持部件32的接触面32b以转印的方式卡入。此外，凹凸T可以形成 于第一支承部件30的与第一按压板40的接触面30b，也可以形成于第三支承部件32的与壳体底面71的接触面32b。根据这样的结构，除了形成上述的第一实施例 第三实施例所说明的凹凸T或者凹凸T2之外，还在第一支承部件30与第一按压板40的接触面、以及第二支承部件31与第二按压板41的接触面形成凹凸T，并在第三支承部件32以及第四支承部件33与壳体底面71的接触面形成凹凸T。因此，提高上述接触面上的摩擦力，能够更加可靠地支承压电元件20，由此能够进一步抑制振动泄漏。(驱动装置 第一实施例)接着，对使用了上述压电马达10的驱动装置100进行说明。图10表示驱动装置的第一实施例，图10 (a)是俯视图，图10 (b)是表示图10 (a)的E-E切断面的剖视图。本实施例的驱动装置100具有:上述的第一实施例 第四实施例所说明的压电马达10 ;以及具有与压电马达10的突起部28抵接的接触面131和与压电马达10的纵向振动方向正交的旋转轴132的作为被驱动部件的转子130。这里，将与压电马达10的纵向振动方向正交的旋转轴132置换为正交于压电马达10的第一主面20a (或者第二主面20b)的旋转轴132来说明。压电马达10以被配置到机架85的状态安装于基台110。转子130被基台110和上基台140轴支承为能够旋转。在壳体70的长边方向的一侧的侧面形成有切口部72、73。此外，在机架85的、切口部72、73的各自的配置位置架设有支承轴86、87。而且，利用作为弹性部件的螺旋弹簧91、92将压电马达10按压于支承轴86、87，从而限制宽度方向的位置。此外，利用螺旋弹簧93朝转子130对压电马达10施力，从而对转子130的接触面131施加所产生的按压力。这样构成的驱动装置100在供给电力时能够根据上述的压电马达10的驱动原理(参照图3)使转子130以旋转轴132为旋转中心进行顺时针或者逆时针旋转。此外，在转子为环状(表示为圆环转子150)的情况下，能够将压电马达10配置于圆环转子150的内周面内侧。在这样的构造中，使压电马达10的突起部28与圆环转子150的内周面151 (相当于接触面)抵接，从而能够使圆环转子150以旋转轴152为旋转中心进行顺时针或者逆时针旋转。此外，虽然省略了图示，但也能够实现具有被驱动体的驱动装置，上述被驱动体具有与突起部28抵接的接触面和与压电马达10的第一主面20a平行的旋转轴132。
这样的被驱动体是具有旋转轴的圆盘状的转子，突起部28的接触面与转子的平面抵接。因此，例如也能够应用于使突起部28与圆盘状盘子那样的转子的表面抵接来进行旋转驱动的情况。因此，本实施例的驱动装置100采用上述的振动泄漏小的压电马达10，从而能够提高驱动能量向转子130、圆环转子150等被驱动体传递的效率，并能够实现驱动效率高的驱动装置100。此外，利用螺旋弹簧93通过所产生的按压力来朝转子130、圆环转子150对突起部28施力，从而能够实现稳定的驱动。此外，这样的驱动装置100相对于采用一般的伺服电机、步进电机等的驱动装置，对进一步需要轻型、小型化的机器人的关节部是有效的。(驱动装置 第二实施例)接着，对第二实施例所涉及的驱动装置100进行说明。本实施例的驱动装置100的特征在于，构成使被驱动体或者压电马达10本身被直线驱动的情况。图11表示驱动装置100的第二实施例，图11 Ca)是俯视图，图11 (b)是表示图11 (a)的F-F切断面的剖视图。本实施例的驱动装置100构成为具备:上述的第一实施例 第四实施例所说明的压电马达10 ;直线状的导轨125 ;以及具有与设置在压电马达10的突起部28抵接的直线状的接触面121，并由导轨125支承且能够沿着导轨125移动的被驱动体120。压电马达10的支承构造与驱动装置100的第二实施例(参照图10)相同，所以省略说明。在本实施例的驱动装置100中，以相对于基台110平行的方式安装压电马达10和导轨125，被驱动体120相对于导轨125为可动体。这样构成的驱动装置100在供给电力时根据上述压电马达10的驱动原理(参照图3)`能够使被驱动体120沿着导轨125 (图中箭头Htl方向)往复驱动。此外，如果使图11所示的被驱动体120与导轨125 —体化而形成固定轨道126并形成能够使压电马达10沿着固定轨道126移动的被驱动体，则驱动装置100在供给电力时根据上述压电马达10的驱动原理(参照图3)使压电马达10本身沿着固定轨道126 (图中箭头H1方向)往复驱动。因此，驱动装置100采用上述的振动泄漏小的压电马达10从而能够提高驱动能量向被驱动体120传递的效率，并能够实现高效率化。在将压电马达10形成为固定体的结构的情况下，能够使被驱动体120沿着导轨125直线往复运动，例如，对在XY台上使被驱动体120在X方向或者Y方向移动的装置是有效的。此外，在将压电马达10本身作为被驱动体的结构中，能够使压电马达10沿着固定轨道126进行往复驱动，若在压电马达10安装其他的功能装置，则能够在XY台上使功能装置在X方向或者Y方向移动。例如，若使用拍摄装置作为功能装置，则作为检查装置是有效的，若使用墨水排出头、卷筒纸的切断切割装置，则对于打印机等是有效的。此外，利用螺旋弹簧93通过所产生的按压力朝被驱动体120或者固定轨道对突起部28施力，从而在使被驱动体直线驱动的情况下也实现能够稳定的驱动。(机器人)
接着，对使用了上述驱动装置100的机器人200进行说明。图12是表示机器人200的简要结构的立体图。机器人200具备主体部210、臂部220以及机器手230。图示的机器人200被分类为所谓的多关节型机器人。将主体部210固定于例如地面、墙壁、天棚、能够移动的台车上等。臂部220相对于主体部210能够转动或者弯折地设置，在主体部210中内置有产生用于使臂部220旋转的动力的未图示的马达、控制马达的控制部等。臂部220由第一框架221、第二框架222、第三框架223、第四框架224以及第五框架225构成。第一框架221经由旋转弯折机构而能够旋转或者能够弯折地与主体部210连接。第二框架222经由旋转弯折机构而与第一框架221以及第三框架223连接。第三框架223经由旋转弯折机构而与第二框架222以及第四框架224连接。第四框架224经由旋转弯折机构而与第三框架223以及第五框架225连接。第五框架225经由旋转弯折机构而与第四框架224连接。臂部220通过控制部的控制，使各框架22广225以各旋转弯折机构为中心而复合地进行旋转或者弯折动作。在臂部220的第五框架225中的与第四框架224连接的端部的相反侧的端部，连接有机器手连接部226，在机器手连接部226上安装有机器手230。在机器手连接部226中内置有具备使机器手230进行旋转动作的压电马达10的驱动装置100，使机器手230能够把持对象物(工件)。此外，能够形成在将第一框架22广第五框架225的每一个连接的各旋转弯折机构中使用驱动装置100的结构，在旋转弯折机构中设置具有图10所示的压电马达10和作为被驱动体的转子130的驱动装置100，从而使旋转弯折轴(未图示)旋转。此外，也可以形成在转子130与旋转弯折轴之间设置减速机构的构造。本实施方式的机器人200使用没有上述的振动泄漏且驱动力的传递效率高的驱动装置100，从而能够使臂部220以高效率驱动。此外，机器手230需要轻型、小型的驱动装置，所以使用上述驱动装置100是有效的。图13是简要地表示机器手230的外观图。机器手230具备与基部231连接的作为小型臂的指部240。在基部231与指部240的连接部以及连接各指部的关节部232安装有驱动装置100。驱动装置100具备图10所示的压电马达10和作为被驱动体的转子130，能够使指部240分别独立地转动，并能够像人的手指那样以所希望的形态驱动。这样，若在机器手230的关节部232使用驱动装置100，则能够实现高效率驱动和机器手230的轻型化。此外，驱动装置100除了能够应用于上述多关节型机器人之外，还能够应用于正交型机器人，因此，作为正交型机器人的应用例，对电子部件输送装置、电子部件检查装置进行说明。(电子部件输送装置)首先，对电子部件输送装置进行说明。此外，省略图示。电子部件输送装置具备:把持电子部件的把持部；使把持部在X轴方向移动的X轴驱动装置；以及使把持部在正交于X轴方向的Y轴方向移动的Y轴驱动装置。在X轴驱动装置以及Y轴驱动装置中使用图11所示的驱动装置100，具有压电马达10和与突起部28抵接的面以直线状延伸的固定轨道126，利用突起部28的椭圆运动，压电马达10能够沿着固定轨道126移动。此外，在X轴驱动装置中，固定轨道126在Y轴方向延伸，在Y轴驱动装置中，固定轨道126在X轴方向延伸。把持部相当于图12、13所示的机器人200的机器手230，能够采用具有指部240和关节部232的构造。此外，能够在关节部232中采用驱动装置100。这样的电子部件输送装置采用没有振动泄漏且驱动力的传递效率高的驱动装置，从而能够使把持部以高效率移动。即，能够以高效率输送电子部件。(电子部件检查装置)图14是表示电子部件检查装置的一个例子的立体图。电子部件检查装置300具备长方体状的装置基台301。这里，将装置基台301的长边方向设为Y方向，将在水平面上与Y方向正交的方向设为X方向。而且，将与XY平面正交的方向(高度方向)设为Z方向。在装置基台301上，在图中左侧配置有供料装置310。在供料装置310的上表面，遍及供料装置310的Y方向整个宽度地配设有在Y方向延伸的一对导轨311。在一对导轨311的上侧安装有具备直动机构的工作台312。工作台312的直动机构具备例如能够沿着导轨311而在Y方向移动的线性马达。而且，若向线性马达输入与规定的步数对应的驱动信号，则线性马达前进或者后退，工作台312沿Y方向往动或者复动相当于相同步数的量。在工作台312上载置电子部件W。在装置基台301上，在供料装置310的靠近Y方向侧配置有第二拍摄部381。第二拍摄部381具备:搭载有将接收的光转换为电信号的CCD (Charge Coupled Devices:电荷耦合元件)元件等的电气电路基板、具备变焦机构的物镜、落射照明装置、自动对焦机构。在电子部件W位于同第二拍摄部381相对的位置时，第二拍摄部381能够对电子部件W进行拍摄。而且，第二拍摄部381向电子部件W照射光，在对焦之后进行拍摄，由此能够拍摄对焦了的图像。在装置基台301上，在第二拍摄部381的靠近Y (+)方向侧设置有检查台302。检查台302是用于在检查电子部件W时收发电信号的夹具。在装置基台301上，在检查台302的靠近Y (+)方向侧配置有出料装置320。在出料装置320的上表面配置有在Y方向延伸的一对导轨321。在导轨321上安装有具备直动机构的工作台322。工作台322的直动机构能够采用与工作台312的直动机构相同的机构。而且，工作台322沿着导轨321进行往动或者复动。在工作台322上载置电子部件W。在装置基台301的X(-)方向配置有近似长方体状的支承台303。与装置基台301相比，支承台303形成为在Z (+)方向较高的形状。在支承台303上，在朝向X (+)方向的面配置有在Y方向延伸的一对导轨331，并安装有具备沿着导轨331移动的直动机构的Y工作台370。导轨371相当于上述驱动装置100中的固定轨道126(参照图11)，将Y工作台370支承为能够移动。Y工作台370具有包含上述压电马达10的驱动装置100。与导轨371的Y工作台370相对的平面是供压电马达10的突起部28抵接的接触面121 (参照图11)。而且，使压电马达10振动，由此Y工作台370沿着导轨371在Y方向进行往动或者复动。在Y工作台370上的朝向X (+)方向的面上，朝X (+)方向延伸有臂部330。在臂部330的朝向Y (_)方向的面配置有朝X (+)方向延伸的一对导轨331。而且，安装有具备沿着导轨331移动的直动机构的X工作台340。导轨331相当于上述驱动装置100中的固定轨道126(参照图11)，将X工作台340支承为能够移动。X工作台340具有包含上述压电马达10的驱动装置100。导轨331的一部分平面是供压电马达10的突起部28抵接的接触面121 (参照图11)。而且，使压电马达10振动，由此X工作台340沿着导轨331在X方向进行往动或者复动。在X工作台340上配置有作为拍摄部的第一拍摄部380以及Z移动装置350。第一拍摄部380具备与第二拍摄部381相同的构造和功能。Z移动装置350在内部具备直动机构，直动机构使Z工作台(未图示)升降。而且，在Z工作台上配设有旋转装置360。而且，Z移动装置350能够使旋转装置360在Z方向升降。Z移动装置350的直动机构与沿着导轨371被驱动的Y工作台370以及沿着导轨331被驱动的X工作台340 —样，也可以具备上述驱动装置100。在装置基台301上设置有作为控制部的控制装置390。控制装置390具备对电子部件检查装置300的整体动作进行控制的功能。并且，控制装置390具备对电子部件W进行检查的功能。此外，虽然省略了图示，但控制装置390具备输入装置、输出装置。输入装置是键盘、输入连接器等，是除了信号、数据之外还输入操作者的指示的装置。输出装置是向显示装置、外部装置输出的输出连接器等，将信号、数据向其他装置输出。在上述的结构中，在检查部305进行作为检查对象的电子部件W的出料供料、图像处理、电特性计测等。此外，利用导轨371、Y工作台370、导轨331、X工作台340、Z移动装置350、旋转装置360等，将电子部件W从供料装置310向检查台302输送，而且一直输送到出料装置320。由电子部件检查装置300检查的电子部件W —般设置在清洁环境、即防尘环境下。此外，在将电子部件W载置于检查台302之前，根据由第一拍摄部380、第二拍摄部381得到的电子部件W的图像来进行图像处理从而相对于检查台302的规定位置来正确地限制电子部件W的位置。很多情况下电子部件W小型、精密且具有多功能，所以通常进行所谓的全数检查。因此，对于电子部件W的一系列的检查时间而言，由于应检查的电子部件W的数量非常多，所以希望能够进行更短时间的检查处理。特别是希望缩短占用检查时间的电子部件W的输送时间。因此，具备使用了上述压电马达10的驱动装置100的Y工作台370、X工作台340乃至Z移动装置350能够更短地控制到达规定的移动速度之前的加速时间以及停止之前的减速时间，从而能够实现检查时间短的电子部件检查装置300。此外，作为电子部件W的代表性的部件，可以列举“半导体”、“CLD、OLED等显示设备”，“水晶设备”，“各种传感器”，“喷墨头”，“各种MEMS设备”等。此外，具备上述压电马达10的驱动装置100并不局限于电子部件检查装置300，也能够应用于具有使功能要素进行直线移动或者旋转驱动的功能的装置。因此，例示打印机作为上述装置的一个例子来进行说明。(打印机)图15是表示打印机400的简要结构的立体图。打印机400具备:输送片状的记录介质的输送台401、设置于输送台401的一方的端部并在输送台401的宽度方向(X方向)延伸的导轨410、能够沿着导轨410往复移动并排出液滴的排出头420、切割装置430以及进行打印机整体的控制的控制装置450。在本实施例的打印机400中，记录介质是卷筒纸500，具备能够使卷筒纸500在Y方向往复移动的输送装置(未图示)。此外，液滴是含有墨水、金属细粉的液体等。因此，在本实施例中，将排出头420作为墨水排出头420，能够在相对于卷筒纸500的输送方向(Y方向)正交的方向(X方向)往复移动。此外，墨水排出头420能够采用使用了各种公知技术的结构，所以省略说明。切割装置430具备:沿着导轨410而能够往复移动的驱动装置100和在规定的位置切断卷筒纸500的刀具。因此，对切割装置430进行说明。图16是表示切割装置430的一个例子的剖视图。切割装置430具备驱动装置100和安装于驱动装置100的切刀440。驱动装置100采用图11所示的构造，导轨410相当于作为固定体的固定轨道126，是具备压电马达10的被驱动体。压电马达10配置在由下机架431和上机架432所形成的空间内，并且被固定于下机架431。而且，固定于刀具框441的切刀440安装于下机架431。刀具440的刀尖突出到能够切断卷筒纸500的位置。切割装置430使分别形成于下机架431和上机架432的槽部与在导轨410的图示上下方向设置的引导部411、412吻合，从而被支承于导轨410。而且，压电马达10的突起部28与导轨410的接触面413抵接，利用突起部28的椭圆驱动，压电马达10本身沿着导轨410进行往复移动。此时，利用刀具440切断卷筒纸500。此外，刀具440在墨水排出头420排出墨水时位于从卷筒纸500的宽度方向离开的位置，在墨水排出结束时，或者在不排出墨水时沿X方向移动，在规定的位置切断卷筒纸500。在输送台401的与卷筒纸500接触的上表面的刀具440的移动轨迹范围形成有槽402，或者配置为比刀具440硬度低的材质(例如树脂等)，从而能够延长刀具寿命。此外，安装能够使刀具440在Z方向往复移动的Z驱动机构，能够采用使用驱动装置100作为该Z动驱动机构的构造。此外，对于墨水排出头420的驱动，能够采用使用了切割装置430的驱动装置100。此外，在本实施例的打印机400中，墨水排出头420和切割装置430由共用的导轨410支承，但也可以分别采用专用的导轨。这样，打印机400具备切割装置430，切割装置430具备图11所说明的构造的驱动装置100。该驱动装置100具备上述的能够高效率驱动的压电马达10，所以能够实现小型化、轻型化，并能够实现驱动负荷小的打印机400。
权利要求
1.一种压电马达，其特征在于，具备: 压电元件，被激振成弯曲振动模式而振动，或者同时被激振成所述弯曲振动模式和纵向振动模式而振动； 上部支承部件，与在所述压电元件的第一主面的四角方向分离地配置的支承部进行面接触； 按压部件，与所述上部支承部件的与所述第一主面相对的面进行面接触； 下部支承部件，隔着所述压电元件配设在相对于所述上部支承部件呈面对称的位置并与所述压电元件进行面接触； 机架部件，与相对于所述下部支承部件与所述压电元件的接触面位于相反侧的面进行面接触；以及 弹性部件，在将所述机架部件、所述下部支承部件、所述压电元件、所述上部支承部件、所述按压部件按顺序层叠的状态下，在所述支承部的位置进行按压。
2.根据权利要求1所述的压电马达，其特征在于， 所述支承部配置在通过所述压电元件的次级弯曲振动的节点并与所述压电元件的纵向振动正交的线上的范围。
3.根据权利要求1或2所述的压电马达，其特征在于， 在所述压电元件的所述第一主面的配置有所述支承部的位置形成有激振电极，在所述压电元件的与所述第一主面相对的第二主面形成有共用电极，在所述上部支承部件的与所述激振电极的接触面形成有凹凸，在所述下部支承部件的与所述共用电极的接触面形成有凹凸。
4.根据权利要求1或2所述的压电马达，其特征在于， 在所述压电元件的所述第一主面的配置有所述支承部的位置形成有激振电极，在所述压电元件的与所述第一主面相对的第二主面形成有共用电极，在所述激振电极的与所述上部支承部件的接触面形成有凹凸，在所述共用电极的与所述下部支承部件的接触面形成有凹凸。
5.根据权利要求1或2所述的压电马达，其特征在于， 在所述压电元件的所述第一主面的配置有所述支承部的位置形成有激振电极，在所述压电元件的与所述第一主面相对的第二主面形成有共用电极，在所述上部支承部件和所述激振电极双方的接触面形成有凹凸，在所述下部支承部件和所述共用电极双方的接触面形成有凹凸。
6.根据权利要求5所述的压电马达，其特征在于， 在所述上部支承部件和所述按压部件的接触面的任意一方或者双方形成有凹凸，在所述下部支承部件和所述机架部件的接触面的任意一方或者双方形成有凹凸。
7.—种驱动装置，其特征在于，具备: 权利要求广权利要求6中的任一项所述的压电马达； 由于所述支承部的椭圆运动而被驱动的被驱动体；以及 对所述支承部朝所述被驱动体施力的弹性部件。
8.根据权利要求7所述的驱动装置，其特征在于， 所述被驱动体具有:与所述支承部抵接的接触面；和 正交于所述第一主面的旋转轴或者平行于所述第一主面的旋转轴。
9.根据权利要求7所述的驱动装置，其特征在于， 所述驱动装置具备对所述被驱动体进行支承的直线状的导轨， 所述被驱动体具有与所述支承部抵接的接触面，并被支承为能够沿着所述导轨移动。
10.根据权利要求7所述的驱动装置，其特征在于， 所述驱动装置具有与所述支承部抵接的面呈直线状延伸的固定轨道和对所述支承部朝所述固定轨道施力的弹性部件， 利用所述支承部的椭圆运动，所述压电马达能够沿着所述固定轨道移动。
11.一种机器人,其特征在于,具备: 臂； 连结所述臂的关节部；以及 配置于所述关节部的权利要求8所述的驱动装置。
12.一种电子部件输送装置，其特征在于，具备: 把持电子部件的把持部； 使所述把持部在X轴方向移动的X轴驱动装置；以及 使所述把持部在正交于所述X轴方向的Y轴方向移动的Y轴驱动装置， 所述X轴驱动装置和所述Y轴驱动装置是权利要求10所述的驱动装置。
13.一种电子部件检查装置，其特征在于，具备: 对被检查部件进行检查的检查部； 使所述检查部在X轴方向移动的第一驱动装置；以及 使所述检查部在正交于所述X轴方向的Y轴方向移动的第二驱动装置， 所述第一驱动装置和所述第二驱动装置是权利要求10所述的驱动装置。
14.一种打印机，其特征在于，具备: 输送记录介质的输送机构； 向所述记录介质排出液滴的排出头；以及 能够在正交于所述记录介质的输送方向的方向移动的权利要求10所述的驱动装置。
15.一种压电马达，其特征在于，具备: 压电元件； 第一支承部件和第二支承部件，配置在所述压电元件的一侧的面并支承所述压电元件; 第三支承部件和第四支承部件，配置在所述压电元件的一侧的面的相反侧的另一侧的面并支承所述压电元件； 按压部件，从所述一侧的面按压所述第一支承部件和所述第二支承部件； 机架部件，从所述另一侧的面按压所述第三支承部件和所述第四支承部件；以及 弹性部件，与所述按压部件接触并朝向所述压电元件按压所述按压部件， 所述第三支承部件隔着所述压电元件与所述第一支承部件相对配置， 所述第四支承部件隔着所述压电元件与所述第二支承部件相对配置， 所述一侧的面以及所述另一侧的面包括所述压电元件进行弯曲振动的方向。
16.—种机器手,其特征在于,具备: 指部; 关节部，连结所述指部； 压电元件，配置于所述关节部； 第一支承部件和第二支承部件，配置在所述压电元件的一侧的面并支承所述压电元件; 第三支承部件和第四支承部件，配置在所述压电元件的一侧的面相反侧的另一侧的面并支承所述压电元件； 按压部件，从所述一侧的面按压所述第一支承部件和所述第二支承部件； 机架部件，从所述另一侧的面按压所述第三支承部件和所述第四支承部件；以及 弹性部件，与所述按压部件接触并朝向所述压电元件按压所述按压部件， 所述第三支承部件隔着所述压电元件与所述第一支承部件相对配置， 所述第四支承部件隔着所述压电元件与所述第二支承部件相对配置， 所述一侧的面以及所述另一侧的面包括所述压电元件进行弯曲振动的方向。
17.一种机器人，其特征在于，具备权利要求16所述的机器手。
18.一种电子部件输送装置，其特征在于，具备权利要求15所述的压电马达。
全文摘要
本发明提供压电马达、驱动装置、机器手、机器人、打印机。压电马达具备压电元件、支承压电元件的第一支承部件、第二支承部件、第三支承部件和第四支承部件、按压第一支承部件和第二支承部件的按压部、与第三支承部件和第四支承部件接触的壳体以及对按压部进行按压的按压板。
文档编号H02N2/00GK103151952SQ20121051753
公开日2013年6月12日 申请日期2012年12月5日 优先权日2011年12月6日
发明者上条浩一, 宫泽修 申请人:精工爱普生株式会社