多方向致动器的制作方法

文档序号:12277524阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种装置,其包括:

双向梳形驱动致动器;以及

具有用于路由电信号的第一导电层和第二导电层的悬臂梁,所述悬臂梁包括:

连接到所述双向梳形驱动致动器的第一端;以及

连接到内框架的第二端。

2.根据权利要求1所述的致动器,其中所述双向梳形驱动致动器包括:

第一框架件和第二框架件;以及

第一梳形驱动器和第二梳形驱动器。

3.根据权利要求2所述的致动器,其中所述第一梳形驱动器和所述第二梳形驱动器中的每一个包括第一梳形指状阵列和第二梳形指状阵列。

4.根据权利要求3所述的致动器,其中:

所述第一梳形驱动器的所述第一梳形指状阵列被连接到所述第二框架件;

所述第一梳形驱动器的所述第二梳形指状阵列被连接到所述第一框架件;

所述第二梳形驱动器的所述第一梳形指状阵列被连接到所述第一框架件;并且

所述第二梳形驱动器的所述第二梳形指状阵列被连接到所述第二框架件。

5.根据权利要求4所述的致动器,其中:

所述第一梳形驱动器的所述第一梳形指状阵列和所述第二梳形驱动器的所述第二梳形指状阵列被耦合到第一电势;

所述第一梳形驱动器的所述第二梳形指状阵列被耦合到第二电势;并且

所述第二梳形驱动器的所述第一梳形指状阵列被耦合到第三电势。

6.根据权利要求5所述的致动器,其中所述第一导电层电耦合到所述第二电势,并且所述第二导电层电耦合到所述第三电势。

7.根据权利要求1所述的致动器,其中所述第一导电层与所述第二导电层电隔离。

8.根据权利要求7所述的致动器,其中所述第一导电层将第一电信号路由到所述双向梳形驱动致动器,并且所述第二导电层将第二电信号路由到所述双向梳形驱动致动器。

9.根据权利要求1所述的致动器,其中所述梳形驱动致动器包括:

两个或多个梳形驱动器,所述梳形驱动器中的每个包括第一弯曲的梳形指状阵列和第二弯曲的梳形指状阵列;

被连接到所述悬臂梁中的一个的所述第一端的内挠性件;以及

在所述内挠性件相对侧上的一对外挠性件。

10.用于移动器件的多方向致动器,所述多方向致动器包括:

一个或多个双向梳形驱动致动器,所述双向梳形驱动致动器中的每个包括:

两个或多个梳形驱动器,所述梳形驱动器中的每个包括第一梳形指状阵列和第二梳形指状阵列;以及

第一框架件和第二框架件;

其中所述第一梳形驱动器的所述第一梳形指状阵列和所述第二梳形驱动器的所述第二梳形指状阵列被连接到所述第二框架件,并且其中所述第一梳形驱动器的所述第二梳形指状阵列和所述第二梳形驱动器的所述第一梳形指状阵列被连接到所述第一框架件。

11.根据权利要求10所述的致动器,进一步包括通过一个或多个悬臂梁被连接到所述双向梳形驱动致动器的内框架,所述悬臂梁中的每个包括路由第一电信号,所述悬臂梁中的至少一个进一步包括路由第二电信号。

12.根据权利要求10所述的多方向致动器,进一步包括通过一个或多个弹簧元件被连接到所述内框架的外框架,其中所述双向梳形驱动致动器被附接到中心锚定件,所述中心锚定件相对于所述外框架被机械地固定。

13.根据权利要求11所述的多方向致动器,其中平台相对于所述外框架机械地固定所述中心锚定件;并且其中所述平台选自包括光电器件和图像传感器的组。

14.根据权利要求12所述的多方向致动器,其中,对于所述双向梳形驱动致动器中的每一个:

所述悬臂梁将所述双向梳形驱动致动器电耦合到设置在所述内框架上的一个或多个接触焊盘;并且

所述弹簧元件将设置在所述内框架上的所述接触焊盘电耦合到设置在所述外框架上的一个或多个对应的接触焊盘。

15.一种方法,其包括:

使用针对所述双向梳形驱动致动器中的每一个的悬臂梁将内框架连接到一个或多个双向梳形驱动致动器;

使用所述悬臂梁将电信号耦合到所述双向梳形驱动致动器;

使用所述双向梳形驱动致动器和所述电信号产生受控力。

16.根据权利要求15所述的方法,其中所述双向梳形驱动致动器中的每一个包括第一梳形驱动器和第二梳形驱动器,并且其中所述第一梳形驱动器和所述第二梳形驱动器中的每个包含第一梳形指状阵列和第二梳形指状阵列;并且所述方法进一步包括响应于施加所述受控力而移动所述第一梳形驱动器的所述第二梳形指状阵列和所述第二梳形驱动器的所述第一梳形指状阵列或者所述第一梳形驱动器的所述第一梳形指状阵列和所述第二梳形驱动器的所述第二梳形指状阵列。

17.根据权利要求15所述的方法,其中所述受控力在平面中实施运动;并且其中所述运动包括线性运动。

18.根据权利要求15所述的方法,其中所述受控力在平面内实施运动;并且其中所述运动包括旋转运动。

19.根据权利要求15所述的方法,其进一步包括:

在外框架和内框架之间施加所述受控力;以及

相对于所述外框架机械地固定锚定件,其中所述受控力被施加到所述锚定件。

20.根据权利要求15所述的方法,其中所述双向梳形驱动致动器包括挠性件;并且其中针对所述双向梳形驱动致动器中的一个或多个,将所述电信号耦合到所述双向梳形驱动致动器包括使用所述挠性件以路由所述电信号。

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