1.一种无碳刷旋转等离子体电极结构,包括:
本体,其绕一轴心进行转动,该本体包括多个间隔设置的电极部,各该电极部的周缘设置一第一凸出部;
多个导引部,贯穿于该些电极部;
多个导通件,各该导通件包括第二凸出部,该第一凸出部与相对应的该第二凸出部具有第一间隔。
2.如权利要求1所述的无碳刷旋转等离子体电极结构,还包括:
RF产生器,耦接于相对应的该导通件。
3.如权利要求1所述的无碳刷旋转等离子体电极结构,还包括:
隔离部,位于该些电极部之间。
4.如权利要求1所述的无碳刷旋转等离子体电极结构,其中各该导通件的一端呈鳍片状,各该电极部的周缘呈鳍片状,该第二凸出部位于两相对应的该第一凸出部之间。
5.如权利要求1所述的无碳刷旋转等离子体电极结构,其中各该导通件的一端呈鳍片状,各该电极部的周缘呈鳍片状,该第一凸出部位于两相对应的该第二凸出部之间。
6.如权利要求1所述的无碳刷旋转等离子体电极结构,其中各该导通件位于两相对应的该第一凸出部之间,各该第一凸出部包覆部分该导通件,且该第一凸出部并未接触于该导通件。
7.如权利要求1所述的无碳刷旋转等离子体电极结构,其中各该导通件一端呈ㄇ字形,该导通件所具有的该第二凸出部包覆部分该第一凸出部,且该第二凸出部并未接触于该第一凸出部。
8.如权利要求1所述的无碳刷旋转等离子体电极结构,其中各该导通件一端呈ㄇ字形,该电极部位于两相对应的该第二凸出部之间,各该第二凸出部包覆部分该电极部,且该第二凸出部并未接触于该电极部。
9.如权利要求1所述的无碳刷旋转等离子体电极结构,其中各该导通件至相对应的该电极部具有一第二间隔,该第二间隔大于2mm。
10.如权利要求1所述的无碳刷旋转等离子体电极结构,其中该第一凸出部是经由一环形板套在该电极部所形成。
11.如权利要求1所述的无碳刷旋转等离子体电极结构,其中该第一凸出部是由电极部经加工铣槽而形成。
12.如权利要求1所述的无碳刷旋转等离子体电极结构,其中该第一间隔小于2mm。
13.一种镀膜系统,包括:
无碳刷旋转等离子体电极结构,包括:
本体,其绕一轴心进行转动,该本体包括多个间隔设置的电极部,各该电极部的周缘设置一第一凸出部;
多个导引部,贯穿于该些电极部;以及
多个导通件,各该导通件包括第二凸出部,该第一凸出部与相对应的该第二凸出部具有第一间隔。
14.如权利要求13所述的镀膜系统,还包括:
RF产生器,耦接于相对应的该导通件。
15.如权利要求13所述的镀膜系统,还包括:
隔离部,位于该些电极部之间。
16.如权利要求13所述的镀膜系统,其中各该导通件的一端呈鳍片状,各该电极部的周缘呈鳍片状,该第二凸出部位于两相对应的该第一凸出部之间。
17.如权利要求13所述的镀膜系统,其中各该导通件的一端呈鳍片状,各该电极部的周缘呈鳍片状,该第一凸出部位于两相对应的该第二凸出部之间。
18.如权利要求13所述的镀膜系统,其中各该导通件位于两相对应的该第一凸出部之间,各该第一凸出部包覆部分该导通件,且该第一凸出部并未接触于该导通件。
19.如权利要求13所述的镀膜系统,其中各该导通件一端呈ㄇ字形,该导通件所具有的该第二凸出部包覆部分该第一凸出部,且该第二凸出部并未接触于该第一凸出部。
20.如权利要求13所述的镀膜系统,其中各该导通件一端呈ㄇ字形,该电极部位于两相对应的该第二凸出部之间,各该第二凸出部包覆部分该电极部,且该第二凸出部并未接触于该电极部。
21.如权利要求13所述的镀膜系统,其中各该导通件至相对应的该电极 部具有第二间隔,该第二间隔大于2mm。
22.如权利要求13所述的镀膜系统,其中该第一凸出部是经由一环形板套在该电极部所形成。
23.如权利要求13所述的镀膜系统,其中该第一凸出部是由电极部经加工铣槽而形成。
24.如权利要求13所述的镀膜系统,其中该第一间隔小于2mm。