无碳刷旋转等离子体电极结构及镀膜系统的制作方法

文档序号:11846996阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种无碳刷旋转等离子体电极结构,包括:

本体,其绕一轴心进行转动,该本体包括多个间隔设置的电极部,各该电极部的周缘设置一第一凸出部;

多个导引部,贯穿于该些电极部;

多个导通件,各该导通件包括第二凸出部,该第一凸出部与相对应的该第二凸出部具有第一间隔。

2.如权利要求1所述的无碳刷旋转等离子体电极结构,还包括:

RF产生器,耦接于相对应的该导通件。

3.如权利要求1所述的无碳刷旋转等离子体电极结构,还包括:

隔离部,位于该些电极部之间。

4.如权利要求1所述的无碳刷旋转等离子体电极结构,其中各该导通件的一端呈鳍片状,各该电极部的周缘呈鳍片状,该第二凸出部位于两相对应的该第一凸出部之间。

5.如权利要求1所述的无碳刷旋转等离子体电极结构,其中各该导通件的一端呈鳍片状,各该电极部的周缘呈鳍片状,该第一凸出部位于两相对应的该第二凸出部之间。

6.如权利要求1所述的无碳刷旋转等离子体电极结构,其中各该导通件位于两相对应的该第一凸出部之间,各该第一凸出部包覆部分该导通件,且该第一凸出部并未接触于该导通件。

7.如权利要求1所述的无碳刷旋转等离子体电极结构,其中各该导通件一端呈ㄇ字形,该导通件所具有的该第二凸出部包覆部分该第一凸出部,且该第二凸出部并未接触于该第一凸出部。

8.如权利要求1所述的无碳刷旋转等离子体电极结构,其中各该导通件一端呈ㄇ字形,该电极部位于两相对应的该第二凸出部之间,各该第二凸出部包覆部分该电极部,且该第二凸出部并未接触于该电极部。

9.如权利要求1所述的无碳刷旋转等离子体电极结构,其中各该导通件至相对应的该电极部具有一第二间隔,该第二间隔大于2mm。

10.如权利要求1所述的无碳刷旋转等离子体电极结构,其中该第一凸出部是经由一环形板套在该电极部所形成。

11.如权利要求1所述的无碳刷旋转等离子体电极结构,其中该第一凸出部是由电极部经加工铣槽而形成。

12.如权利要求1所述的无碳刷旋转等离子体电极结构,其中该第一间隔小于2mm。

13.一种镀膜系统,包括:

无碳刷旋转等离子体电极结构,包括:

本体,其绕一轴心进行转动,该本体包括多个间隔设置的电极部,各该电极部的周缘设置一第一凸出部;

多个导引部,贯穿于该些电极部;以及

多个导通件,各该导通件包括第二凸出部,该第一凸出部与相对应的该第二凸出部具有第一间隔。

14.如权利要求13所述的镀膜系统,还包括:

RF产生器,耦接于相对应的该导通件。

15.如权利要求13所述的镀膜系统,还包括:

隔离部,位于该些电极部之间。

16.如权利要求13所述的镀膜系统,其中各该导通件的一端呈鳍片状,各该电极部的周缘呈鳍片状,该第二凸出部位于两相对应的该第一凸出部之间。

17.如权利要求13所述的镀膜系统,其中各该导通件的一端呈鳍片状,各该电极部的周缘呈鳍片状,该第一凸出部位于两相对应的该第二凸出部之间。

18.如权利要求13所述的镀膜系统,其中各该导通件位于两相对应的该第一凸出部之间,各该第一凸出部包覆部分该导通件,且该第一凸出部并未接触于该导通件。

19.如权利要求13所述的镀膜系统,其中各该导通件一端呈ㄇ字形,该导通件所具有的该第二凸出部包覆部分该第一凸出部,且该第二凸出部并未接触于该第一凸出部。

20.如权利要求13所述的镀膜系统,其中各该导通件一端呈ㄇ字形,该电极部位于两相对应的该第二凸出部之间,各该第二凸出部包覆部分该电极部,且该第二凸出部并未接触于该电极部。

21.如权利要求13所述的镀膜系统,其中各该导通件至相对应的该电极 部具有第二间隔,该第二间隔大于2mm。

22.如权利要求13所述的镀膜系统,其中该第一凸出部是经由一环形板套在该电极部所形成。

23.如权利要求13所述的镀膜系统,其中该第一凸出部是由电极部经加工铣槽而形成。

24.如权利要求13所述的镀膜系统,其中该第一间隔小于2mm。

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