无碳刷旋转等离子体电极结构及镀膜系统的制作方法

技术总结
本发明公开一种无碳刷旋转等离子体电极结构及一种镀膜系统。无碳刷旋转等离子体电极结构包括本体、多个导引部以及多个导通件。本体包括多个电极部。电极部的周缘设置第一凸出部。导引部贯穿于电极部。各导通件包括第二凸出部，第一凸出部与第二凸出部具有一间隔。

技术研发人员：林士钦;张家豪;林冠宇
受保护的技术使用者：财团法人工业技术研究院
文档号码：201510171039
技术研发日：2015.04.13
技术公布日：2016.11.23