弹性波装置以及弹性波模块的制作方法

本发明涉及带通型滤波器等弹性波装置以及弹性波模块。

背景技术：

近年来，弹性波装置被广泛用作便携式电话机的带通型滤波器等。

在下述的专利文献1示出了弹性波装置的一个例子。专利文献1的弹性波装置具有两个弹性波元件。在各弹性波元件中，在压电基板的一个主面形成有idt电极。上述两个弹性波元件经由中间层进行接合，使得形成有idt电极的压电基板的主面彼此对置。在任一个压电基板的外侧的主面形成有外部连接端子。

在下述的专利文献2记载的弹性波装置中，与专利文献1同样地将两个弹性波元件进行接合。在专利文献2中，各弹性波元件的压电基板的厚度不同。在厚度小的一方的压电基板的外侧的主面形成有外部连接端子。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2008-546207号公报

专利文献2：wo2011/102049

技术实现要素：

发明要解决的课题

然而，在专利文献1、2中，压电基板彼此经由中间层进行接合。因此，未形成外部连接端子的弹性波元件与外部连接端子的距离大。所以上述弹性波元件的接地阻抗大。因此，不能充分地增大弹性波装置的带外衰减量。

本发明的目的在于，提供一种带外衰减量大的弹性波装置以及弹性波模块。

用于解决课题的技术方案

本发明涉及的弹性波装置具备：第一压电基板，具有第一主面、第二主面；第二压电基板，具有第一主面、第二主面，且厚度比所述第一压电基板的厚度大；多个第一idt电极，形成在所述第一压电基板的所述第一主面上；多个第二idt电极，形成在所述第二压电基板的所述第一主面上；以及多个外部连接用端子，形成在所述第一压电基板的所述第二主面上，在所述第一压电基板的所述第一主面构成有包括所述多个第一idt电极的第一弹性波滤波器，在所述第二压电基板的所述第一主面构成有包括所述多个第二idt电极的第二弹性波滤波器，所述多个外部连接用端子中的至少一个是接地端子，所述第一压电基板和所述第二压电基板经由支承构件进行接合，使得所述第一压电基板的所述第一主面与所述第二压电基板的所述第一主面彼此对置，所述支承构件设置为在俯视下包围构成有所述第一弹性波滤波器、第二弹性波滤波器的部分，所述第一弹性波滤波器的带外衰减量大于所述第二弹性波滤波器的带外衰减量。

在本发明涉及的弹性波装置的某个特定的局面中，所述第一弹性波滤波器的通带的中心频率的0.85倍以上且1.15倍以下的范围的频带中的带外衰减量的最大值，大于所述第二弹性波滤波器的通带的中心频率的0.85倍以上且1.15倍以下的范围的频带中的带外衰减量。在该情况下，能够降低所述范围中的带外衰减量大的所述第一弹性波滤波器中的接地阻抗。由此，能够增大带外衰减量。

在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，所述第一弹性波滤波器具有第一纵向耦合谐振器型弹性波滤波器，所述第二弹性波滤波器具有第二纵向耦合谐振器型弹性波滤波器，所述第一纵向耦合谐振器型弹性波滤波器的级数大于所述第二纵向耦合谐振器型弹性波滤波器的级数。在该情况下，能够有效地增大带外衰减量。

在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，所述第一弹性波滤波器具有第一梯型滤波器，所述第二弹性波滤波器具有第二梯型滤波器，所述第一梯型滤波器具有的弹性波谐振器的个数大于所述第二梯型滤波器具有的弹性波谐振器的个数。在该情况下，能够有效地增大带外衰减量。

在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，在所述第一压电基板的所述第一主面构成有第一双工器，所述第一双工器具有作为所述第一弹性波滤波器的第一带通型滤波器和通带与所述第一带通型滤波器不同的第二带通型滤波器，在所述第二压电基板的所述第一主面构成有第二双工器，所述第二双工器具有作为所述第二弹性波滤波器的第三带通型滤波器和通带与所述第三带通型滤波器不同的第四带通型滤波器，所述第一带通型滤波器的相当于所述第二带通型滤波器的通带的频带中的衰减量，大于所述第三带通型滤波器的相当于所述第四带通型滤波器的通带的频带中的衰减量。在该情况下，能够降低所述频带中的衰减量大的所述第一带通型滤波器的接地阻抗。因此，能够有效地增大由所述第一双工器、第二双工器构成的四工器的隔离特性。

在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，还具备：第一连接布线，对所述接地端子和所述第一弹性波滤波器进行电连接；以及第二连接布线，对所述接地端子和所述第二弹性波滤波器进行电连接，所述第一连接布线的长度比所述第二连接布线的长度短。在该情况下，能够降低所述第一弹性波滤波器的接地阻抗。因此，能够有效地增大带外衰减量。

本发明涉及的弹性波模块具备安装基板和安装在所述安装基板上的按照本发明构成的弹性波装置。由此，能够有效地增大带外衰减量。

发明效果

根据本发明，能够提供一种带外衰减量大的弹性波装置以及弹性波模块。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式涉及的弹性波装置的俯视图。

图2是沿图1中的a-a线的阶梯剖视图。

图3(a)以及图3(b)是本发明的第一实施方式中的第一弹性波滤波器的电路图以及第二弹性波滤波器的电路图。

图4是沿图2中的b-b线的剖视图。

图5是沿图2中的c-c线的剖视图。

图6是示出本发明的第一实施方式以及第一比较例中的第一弹性波滤波器的衰减量频率特性的图。

图7是示出本发明的第一实施方式以及第一比较例中的第二弹性波滤波器的衰减量频率特性的图。

图8是示出本发明的第二实施方式中的第一压电基板的第一主面上的电极结构的俯视剖视图。

图9是示出本发明的第二实施方式中的第二压电基板的第一主面上的电极结构的俯视剖视图。

图10(a)～图10(d)是本发明的第二实施方式中的第一～第四带通型滤波器的电路图。

图11是示出本发明的第二实施方式以及第二比较例中的第一带通型滤波器的衰减量频率特性的图。

图12是示出本发明的第二实施方式以及第二比较例中的第三带通型滤波器的衰减量频率特性的图。

图13(a)～图13(d)是第三实施方式中的第一～第四带通型滤波器的电路图。

图14是作为本发明的第四实施方式的弹性波模块的主视剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的具体的实施方式进行说明，从而明确本发明。

另外，需要指出，在本说明书记载的各实施方式是例示性的，能够在不同的实施方式之间进行结构的部分置换或组合。

图1是本发明的第一实施方式涉及的弹性波装置的俯视图。图2是沿图1中的a-a线的阶梯剖视图。

如图2所示，弹性波装置1具有第一弹性波元件11a、第二弹性波元件11b。第一弹性波元件11a具有第一压电基板2a。第一压电基板2a具有第一主面2aa和与第一主面2aa对置的第二主面2ab。第二弹性波元件11b具有第二压电基板2b。第二压电基板2b具有第一主面2ba、第二主面2bb。第一压电基板2a的厚度小于第二压电基板2b的厚度。第一压电基板2a、第二压电基板2b由litao3、linbo3等的压电单晶构成。另外，第一压电基板2a、第二压电基板2b也可以由压电陶瓷构成。

在第一压电基板2a的第一主面2aa上，形成有多个第一idt电极3a11。通过对idt电极施加交流电压，从而激励声表面波。虽然未图示，但是在各第一idt电极3a11的声表面波传播方向上的两侧分别形成有反射器。由此，构成了多个弹性波谐振器。像后面说明的那样，上述多个弹性波谐振器连接为构成梯型滤波器。由此，构成了第一弹性波滤波器。在第二压电基板2b的第一主面2ba形成有多个第二idt电极3b11。由多个第二idt电极3b11以及多个反射器构成了多个弹性波谐振器。上述多个弹性波谐振器相互连接，从而构成了第二弹性波滤波器。

第一idt电极3a11、第二idt电极3b11由金属构成。idt电极可以由单一的金属膜构成，也可以是层叠了多个金属膜的层叠体。

另外，第一弹性波滤波器的带外衰减量大于第二弹性波滤波器的带外衰减量。

第一压电基板2a和第二压电基板2b经由支承构件4进行接合，使得第一压电基板2a的第一主面2aa与第二压电基板2b的第一主面2ba彼此对置。支承构件4设置为在俯视下包围构成第一、第二弹性波滤波器的部分。支承构件4由适当的树脂或焊料等构成。

如图1所示，在第一压电基板2a的第二主面2ab上，形成有多个外部连接用端子5。多个外部连接用端子5包括接地端子5a、5b。

如图2所示，形成有过孔电极6a、6b，使得贯通第一压电基板2a。过孔电极6a、6b的上端部分别与接地端子5a、5b电连接。过孔电极6a、6b的下端部分别与形成在第一压电基板2a的第一主面2aa上的连接用端子7aa、7ab电连接。虽然在图2未进行图示，但是连接用端子7aa、7ab与第一弹性波滤波器电连接。

在第二压电基板2b的第一主面2ba上，形成有连接用端子7ba、7bb。虽然在图2未进行图示，但是连接用端子7ba、7bb与第二弹性波滤波器电连接。连接用端子7ba经由连接用布线8a与连接用端子7aa电连接。连接用端子7bb经由连接用布线8b与连接用端子7ab电连接。

在此，将连接第一弹性波滤波器和接地电位的布线设为第一连接布线。将连接第二弹性波滤波器和接地电位的布线设为第二连接布线。如图2所示，连接用端子7aa、过孔电极6a以及接地端子5a是第一连接布线。连接用端子7ab、过孔电极6b以及接地端子5b也是第一连接布线。连接用端子7ba、连接用布线8a、连接用端子7aa、过孔电极6a以及接地端子5a是第二连接布线。连接用端子7bb、连接用布线8b、连接用端子7ab、过孔电极6b以及接地端子5b也是第二连接布线。即，第一、第二弹性波滤波器共同连接于接地电位。如上所述，第一连接用布线不包括连接用端子7ba和连接用布线8a以及连接用端子7bb和连接用布线8b。因此，第一连接用布线的长度比第二连接用布线的长度短。

接着，对本实施方式中的第一、第二弹性波滤波器的具体的电路结构进行说明。

图3(a)是第一实施方式中的第一弹性波滤波器的电路图，图3(b)是第二弹性波滤波器的电路图。

第一弹性波滤波器3a1是梯型滤波器。第一弹性波滤波器3a1具有连接在输入端子9aa与输出端子9ab之间的串联臂谐振器s1～s5。在串联臂谐振器s1与串联臂谐振器s2之间的连接点与接地电位之间，连接有并联臂谐振器p1。在串联臂谐振器s2与串联臂谐振器s3之间的连接点与接地电位之间，连接有并联臂谐振器p2。在串联臂谐振器s3与串联臂谐振器s4之间的连接点与接地电位之间，连接有并联臂谐振器p3。在串联臂谐振器s4与串联臂谐振器s5之间的连接点与接地电位之间，连接有并联臂谐振器p4。

第二弹性波滤波器3b1是与第一弹性波滤波器3a1同样的电路结构的梯型滤波器，具有输入端子9ba、输出端子9bb、串联臂谐振器s11～s15以及并联臂谐振器p11～p14。

图4是沿图2中的b-b线的剖视图，示出第一实施方式中的第一弹性波滤波器的电极结构。图5是沿图2中的c-c线的剖视图，示出第一实施方式中的第二弹性波滤波器的电极结构。如前所述，各弹性波谐振器具有idt电极以及反射器。另外，各弹性波谐振器通过用矩形框包围了x的简图符号来表示。

并联臂谐振器p1、p3与连接用端子7ab电连接。并联臂谐振器p2、p4与连接用端子7aa电连接。并联臂谐振器p11、p13与连接用端子7ba电连接。并联臂谐振器p12、p14与连接用端子7bb电连接。如图2、图4以及图5所示，并联臂谐振器p1、p3、p12、p14经由连接用端子7ab、7bb而共同连接于接地电位。并联臂谐振器p2、p4、p11、p13经由连接用端子7aa、7ba而共同连接于接地电位。

本发明的特征在于，第一弹性波滤波器3a1经由长度相对短的第一连接用布线与接地电位连接，且第一弹性波滤波器3a1的带外衰减量大于第二弹性波滤波器3b1的带外衰减量。由此，能够有效地增大弹性波装置1的带外衰减量。以下对此进行说明。

本发明的发明人制作了第一实施方式以及第一比较例的弹性波装置，并对带外衰减量进行了研究。

在第一比较例的弹性波装置中，除了第一、第二弹性波滤波器的配置以外，具有与第一实施方式同样的结构。更具体地，在第一弹性波元件的第一压电基板的第一主面构成有第二弹性波滤波器。在第二弹性波元件的第二压电基板的第一主面构成有第一弹性波滤波器。

在此，第一弹性波滤波器的通带为2400mhz以上且2482mhz以下。第二弹性波滤波器的通带为1559mhz以上且1608mhz以下。

图6是示出第一实施方式以及第一比较例中的第一弹性波滤波器的衰减量频率特性的图。图7是示出第一实施方式以及第一比较例中的第二弹性波滤波器的衰减量频率特性的图。实线表示第一实施方式的结果，虚线表示第一比较例的结果。

如图6所示，本实施方式的第一弹性波滤波器的频率d处的带外衰减量为53.3db，第一比较例的频率d处的带外衰减量为50.5db。因此，可知在本实施方式中带外衰减量比第一比较例增大了2.8db。以下说明其理由。

连接接地电位和弹性波滤波器的布线具有接地阻抗。上述布线的长度越长，接地阻抗越大。当接地阻抗增大时，弹性波滤波器的带外衰减量减小。本实施方式的第一弹性波滤波器和接地电位经由上述第一连接用布线进行连接。第一比较例的第一弹性波滤波器和接地电位经由上述第二连接用布线进行连接。上述第一连接布线的长度比上述第二连接用布线的长度短。因此，第一连接布线的接地阻抗比第二连接用布线的接地阻抗小。因此，能够增大本实施方式的第一弹性波滤波器的带外衰减量。

如图7所示，本实施方式的第二弹性波滤波器的频率e处的带外衰减量为48.2db，第一比较例的第二弹性波滤波器的频率e处的带外衰减量为49.4db。根据与上述同样的理由，本实施方式的第二弹性波滤波器的频率e处的带外衰减量减小。然而，上述减小停留在1.2db，比第一弹性波滤波器的带外衰减量的增大要小。像这样，可知能够有效地增大第二弹性波滤波器的带外衰减量。因此，可知能够有效地增大作为弹性波装置整体的带外衰减量。

优选是，第一弹性波滤波器的通带的中心频率的0.85倍以上且1.15倍以下的范围的频带中的带外衰减量的最大值，最好大于第二弹性波滤波器的通带的中心频率的0.85倍以上且1.15倍以下的范围的频带中的带外衰减量。由此，能够有效地增大作为弹性波装置整体的带外衰减量。

图8是示出本发明的第二实施方式中的第一压电基板的第一主面上的电极结构的俯视剖视图。图9是示出第二实施方式中的第二压电基板的第一主面上的电极结构的俯视剖视图。

第二实施方式的弹性波装置21，除了电路结构与第一实施方式不同这一点以外，具有与第一实施方式同样的构造。

在弹性波装置21的第一弹性波元件31a中的第一压电基板2a的第一主面2aa，构成有第一双工器23a。第一双工器23a具有作为第一弹性波滤波器的第一带通型滤波器23a1以及通带与第一带通型滤波器23a1不同的第二带通型滤波器23a2。在第二弹性波元件31b中的第二压电基板2b的第一主面2ba，构成有第二双工器23b。第二双工器23b具有第三带通型滤波器23b1以及通带与第三带通型滤波器23b1不同的第四带通型滤波器23b2。即，弹性波装置21是具有第一～第四带通型滤波器23a1、23a2、23b1、23b2的四工器。第一带通型滤波器23a1、第三带通型滤波器23b1是接收滤波器，第二带通型滤波器23a2、第四带通型滤波器23b2是发送滤波器。

图10(a)～图10(d)是第二实施方式中的第一～第四带通型滤波器的电路图。

第一带通型滤波器23a1具有纵向耦合谐振器型弹性波滤波器30a。在输入端子29aa与纵向耦合谐振器型弹性波滤波器30a之间连接有串联臂谐振器s21、s22。在串联臂谐振器s21与串联臂谐振器s22之间的连接点与接地电位之间，连接有并联臂谐振器p21。在纵向耦合谐振器型弹性波滤波器30a与输出端子29ac之间的连接点与接地电位之间，连接有并联臂谐振器p22。

第二带通型滤波器23a2具有连接在输入端子29aa与输出端子29ab之间的串联臂谐振器s31～s35。在串联臂谐振器s31与串联臂谐振器s32之间的连接点与接地电位之间，连接有并联臂谐振器p31。在串联臂谐振器s32与串联臂谐振器s33之间的连接点与接地电位之间，连接有并联臂谐振器p32。在串联臂谐振器s33与串联臂谐振器s34之间的连接点与接地电位之间，连接有并联臂谐振器p33。在串联臂谐振器s34与串联臂谐振器s35之间的连接点与接地电位之间，连接有并联臂谐振器p34。

第三带通型滤波器23b1具有纵向耦合谐振器型弹性波滤波器30b。在输入端子29ba与纵向耦合谐振器型弹性波滤波器30b之间，连接有串联臂谐振器s41。在纵向耦合谐振器型弹性波滤波器30b与输出端子29bc之间的连接点与接地电位之间，连接有并联臂谐振器p41。

第四带通型滤波器23b2具有连接在输入端子29ba与输出端子29bb之间的串联臂谐振器s51～s53。在输入端子29ba与串联臂谐振器s51之间的连接点与接地电位之间，连接有并联臂谐振器p51。在串联臂谐振器s51与串联臂谐振器s52之间的连接点与接地电位之间，连接有并联臂谐振器p52。在串联臂谐振器s52与串联臂谐振器s53之间的连接点与接地电位之间，连接有并联臂谐振器p53。

如图8所示，并联臂谐振器p21、p22与连接用端子27ac电连接。并联臂谐振器p31、p33与连接用端子27aa电连接。并联臂谐振器p32、p34与连接用端子27ab电连接。如图9所示，并联臂谐振器p41与连接用端子27bc电连接。并联臂谐振器p51、p53与连接用端子27ba电连接。并联臂谐振器p52与连接用端子27bb电连接。并联臂谐振器p21、p22、p41经由连接用端子27ac、27bc共同连接于接地电位。并联臂谐振器p31、p33、p51、p53经由连接用端子27aa、27ba共同连接于接地电位。并联臂谐振器p32、p34、p52经由连接用端子27ab、27bb共同连接于接地电位。

接着，本发明的发明人制作了第二实施方式以及第二比较例中的弹性波装置，并对带外衰减量进行了研究。更具体地，对第一带通型滤波器的相当于第二带通型滤波器的通带的频带的衰减量进行了研究。对第三带通型滤波器的相当于第四带通型滤波器的通带的频带的衰减量进行了评价。

第二比较例除了第一～第四带通型滤波器的配置不同以外，具有与第二实施方式同样的构造。更具体地，第一、第二带通型滤波器构成在第二压电基板的第一主面。第三、第四带通型滤波器构成在第一压电基板的第一主面。

在此，第一带通型滤波器的通带为2110mhz以上且2170mhz以下。第二带通型滤波器的通带为1920mhz以上且1980mhz以下。第三带通型滤波器的通带为1805mhz以上且1880mhz以下。第四带通型滤波器的通带为1710mhz以上且1785mhz以下。

图11是示出第二实施方式以及第二比较例中的第一带通型滤波器的衰减量频率特性的图。图12是示出第二实施方式以及第二比较例中的第三带通型滤波器的衰减量频率特性的图。实线表示第二实施方式的结果，虚线表示第二比较例的结果。

如图11所示，本实施方式中的第一带通型滤波器的相当于第二带通型滤波器的通带的频带的衰减量为53.6db。第二比较例中的第一带通型滤波器的相当于第二带通型滤波器的通带的频带的衰减量为51.6db。因此，可知本实施方式与第二比较例相比，上述衰减量增大了2.0db。

如图12所示，本实施方式中的第三带通型滤波器的相当于第四带通型滤波器的通带的频带的衰减量为48.0db。第二比较例中的第三带通型滤波器的相当于第四带通型滤波器的通带的频带的衰减量为49.2db。虽然第三带通型滤波器的上述衰减量与第二比较例相比减小，但是上述衰减量的减小停留在1.2db。第三带通型滤波器的上述衰减量的减小，比第一带通型滤波器中的上述衰减量的增大要小。像这样，可知能够有效地抑制第一、第二双工器中的第一、第三带通型滤波器的上述衰减量的减小。因此，可知能够有效地改善弹性波装置的隔离特性。

如图10所示，第一带通型滤波器23a1具有的弹性波谐振器的个数比第三带通型滤波器23b1具有的弹性波谐振器的个数大。在该情况下，第一带通型滤波器23a1的带外衰减量比第三带通型滤波器23b1的带外衰减量大。在本实施方式中，能够减小带外衰减量大的第一带通型滤波器23a1的接地阻抗。因此，能够有效地抑制作为弹性波装置21整体的带外衰减量的减小。

图13(a)～图13(d)是第三实施方式中的第一～第四带通型滤波器的电路图。

本实施方式将图10所示的第二实施方式中的第三带通型滤波器23b1做成为第三带通型滤波器43b1。进而，第一～第四带通型滤波器23a1、23a2、43b1、23b2的配置与第二实施方式不同。除了上述的结构以外，具有与第二实施方式同样的结构。

更具体地，第一带通型滤波器23a1、第二带通型滤波器23a2构成在第二压电基板的第一主面。第三带通型滤波器43b1、第四带通型滤波器23b2构成在厚度比第二压电基板小的第一压电基板的第一主面。第三带通型滤波器43b1的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器50b由两级构成。即，纵向耦合谐振器型弹性波滤波器50b的级数大于第一带通型滤波器23a1的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器30a的级数。在该情况下，第三带通型滤波器43b1的带外衰减量大于第一带通型滤波器23a1的带外衰减量。在本实施方式中，因为第三带通型滤波器43b1构成在第一压电基板，所以能够抑制第三带通型滤波器43b1的带外衰减量的减小。因此，能够有效地增大作为弹性波装置整体的带外衰减量。

另外，虽然在本实施方式中，纵向耦合谐振器型弹性波滤波器30a以及50b由一级以及两级构成，但是不限于上述级数。只要纵向耦合谐振器型弹性波滤波器的级数大的带通型滤波器构成在厚度比第二压电基板小的第一压电基板的第一主面即可。

图14是作为第四实施方式的弹性波模块的主视剖视图。

弹性波模块61具有安装基板62。在安装基板62安装有第一实施方式的弹性波装置1。更具体地，在安装基板62上形成有安装用端子65a、65b。弹性波装置1的接地端子5a、5b经由由焊料等构成的接合剂68a、68b接合在安装用端子65a、65b。虽然未进行图示，但是弹性波装置1的接地端子以外的上述多个外部连接用端子也接合在安装基板62的多个安装用端子。在弹性波模块61还安装有装置63。像这样，也可以在弹性波模块61安装有弹性波装置1以外的装置、元件。弹性波模块61具有安装的弹性波装置1，因此能够有效地增大带外衰减量。

附图标记说明

1：弹性波装置；

2a、2b：第一、第二压电基板；

2aa、2ab：第一、第二主面；

2ba、2bb：第一、第二主面；

3a1、3b1：第一、第二弹性波滤波器；

3a11、3b11：第一、第二idt电极；

4：支承构件；

5：外部连接用端子；

5a、5b：接地端子；

6a、6b：过孔电极；

7aa、7ab、7ba、7bb：连接用端子；

8a、8b：连接用布线；

9aa、9ba：输入端子；

9ab、9bb：输出端子；

10：纵向耦合谐振器型弹性波滤波器；

11a、11b：第一、第二弹性波元件；

21：弹性波装置；

23a、23b：第一、第二双工器；

23a1、23a2、23b1、23b2：第一、第二、第三、第四带通型滤波器；

27aa、27ab、27ba、27bb、27ac、27bc：连接用端子；

29aa、29ba：输入端子；

29ab、29bb：输出端子；

30a、30b：纵向耦合谐振器型弹性波滤波器；

31a、31b：第一、第二弹性波元件；

43b1：第三带通型滤波器；

50b：纵向耦合谐振器型弹性波滤波器；

61：弹性波模块；

62：安装基板；

63：装置；

65a、65b：安装用端子；

68a、68b：接合剂；

s1～s5、s11～s15、s21、s22、s31～s35、s41、s51～s53：串联臂谐振器；

p1～p4、p11～p14、p21、p22、p31～p34、p41、p51～p53：并联臂谐振器。