1.一种具有地室支柱的薄膜体声波谐振器,其特征在于,包括具有地室的高阻衬底、由上金属电极和下金属电极夹持压电体组成的三明治谐振腔,三明治谐振腔置于高阻衬底表面形成的地室上方,所述压电体为压电薄膜,在地室内设有若干根支柱;地室内的这些支柱位于三明治谐振腔声振幅最小处。
2.根据权利要求1中所述的一种具有地室支柱的薄膜体声波谐振器,其特征在于,所述高阻衬底是由硅、石英、碳化硅、三氧化二铝、蓝宝石或者金刚石材料制成。