叉指换能器的多层金属电极结构的制作方法

本实用新型涉及声表面波器件，具体涉及一种叉指换能器的多层金属电极结构。

背景技术：

在过去的几十年里，声表面波器件得到了迅速的发展。在通讯，传感等领域得到了广泛的应用。随着应用范围的不断扩展。人们对于高功率耐受性声表面波器件的渴望越来越强烈。在SAW器件制作过程中，电信号和声信号的转换由叉指换能器来承担。铝具有很高的电导率，声阻抗小，易加工。被广泛采用作叉指换能器的材料，使器件具有较小的插入损耗，高的矩形度，高Q值。

图1是现有技术的示意图。如图1所示，现有方案为在胆酸锂或铌酸锂上蒸发沉积Ti，接着直接蒸发Al。现有的铝电极材料都是采用电子束蒸镀的方式沉积。铝的自扩散系数高，高频重复应力会使得铝原子沿着晶界迁移，引起铝膜形成空洞和小丘导致器件失效。各种合金和过渡层已经被用来提高器件的抗电迁移性能和功率耐受性。但是合金膜工艺复杂，器件功率耐受性还不够高。

技术实现要素：

针对现有技术的不足，本实用新型公开了一种叉指换能器的多层金属电极结构。

本实用新型的技术方案如下：

一种叉指换能器的多层金属电极结构，包括压片基底；所述压片基地之上固定有多个电极；相邻电极之间的距离为固定值；所述电极包括由下至上的第一层、第二层和第三层；所述第一层的材料为Ti，厚度为0～10nm；所述第二层材料为Ni，厚度为0～10nm；所述第三层的材料为Al，厚度为90～150nm。

本实用新型的有益技术效果是：

本本实用新型提供了一种抗应力迁移、低电阻的高频声表面波器件多层金属电极结构，能显著增加器件的功率耐受性，器件损耗显著降低。

附图说明

图1是现有技术的示意图。

图2是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

图2是本实用新型的结构示意图。如图2所示，本实用新型包括压片基底1；压片基地之上固定有多个电极；相邻电极之间的距离为固定值；电极包括由下至上的第一层2、第二层3和第三层4。第一层2的材料为Ti，厚度为0～10nm。第二层3的的材料为Ni，厚度为0～10nm；第三层4的材料为Al，厚度为90～150nm。

第一层2、第二层3和第三层4的厚度都不能为零。其中第一层2的材料为Ti，第一层2可以提高电极材料与压片基底1的粘附力，增加电子束蒸发台腔体的真空度。第二层3的的材料为Ni，第二层3有利于提高Al的织构，使得电极具有高的粘附力和较小的电阻。

这种复合多层膜的电极结构，下面两层晶粒小，具有好的强韧性，最上层织构强，晶粒大有较好的导电性。故而能使电极能同时拥有较好的抗应力迁移和低电阻的性能，实现器件较小的插入损耗，高的矩形度，高Q值。

以上所述的仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型不限于以上实施例。可以理解，本领域技术人员在不脱离本实用新型的精神和构思的前提下直接导出或联想到的其他改进和变化，均应认为包含在本实用新型的保护范围之内。