一种体放电等离子体发生装置的制作方法

文档序号:16304993发布日期:2018-12-18 22:06阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种体放电等离子体发生装置,包括电源、上格栅电极组和下栅格电极组,其特征在于:所述格栅式电极组由多个平行、共面排布的单个格栅电极构成,上格栅电极组和下格栅电极组分别接入电源的两个极,两个格栅式电极可裸露相对,或其中一个埋藏在介质层下一定深度,或者两者都埋藏在介质层下一定深度。

2.如权利要求1所述的一种体放电等离子体发生装置,其特征在于:单个格栅电极为长为100mm的长方体,长方体横截面为边长为1mm的正方形,每个单个栅格单电极之间的间距为10mm。

3.如权利要求1所述的一种体放电等离子体发生装置,其特征在于:单个格栅电极可以为附有长方体条形突起的长方体条形结构,突起高为0.5mm,宽为1mm,厚度与长方体条形结构厚度相同,为1mm。

4.如权利要求1所述的一种体放电等离子体发生装置,其特征在于:所述上格栅电极组和下格栅电极组中的单电极相互垂直,且上格栅电极和下格栅电极的间隔较小,一般为小于10mm。

5.如权利要求2或3所述的一种体放电等离子体发生装置,其特征在于:所述上格栅电极组和下格栅电机组的材料为石墨、金属或合金。

6.如权利要求3所述的一种体放电等离子体发生装置,其特征在于:所述上格栅式电极组和下格栅式电极组上的单个格栅电极相互垂直,且突起分布于两个交叉点的中央位置。

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