技术特征：
技术总结
一种用于从具有特定形貌的目标区移除碎屑的碎屑移除系统，其包括第一气体吹送装置及第二气体吹送装置，所述第一气体吹送装置及所述第二气体吹送装置相对于彼此设置在固定位置中且成角度并且适于沿着目标衬底的表面吹送气体，以逐出设置在所述表面上的碎屑。第一气体吹送装置及第二气体吹送装置分别适于在第一气体流动方向及第二气体流动方向上吹送气体，且可为空气刀。碎屑移除系统进一步包括抽吸装置，所述抽吸装置相对于第一气体吹送装置及第二气体吹送装置设置在固定位置中且适于收集被逐出的碎屑。控制电路系统适于依据碎屑相对于衬底的目标区的特定形貌的位置而操作第一气体吹送装置、第二气体吹送装置或两个气体吹送装置。
技术研发人员：马纳许·姚海
受保护的技术使用者：奥宝科技股份有限公司
技术研发日：2019.03.19
技术公布日：2019.10.08