一种石墨加热器的制作方法

文档序号:20261730发布日期:2020-04-03 15:38阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种石墨加热器,应用于单晶炉的加热,包括加热器本体(1),所述加热器本体(1)的外壁上设有多个开槽(11),其特征在于:所述开槽(11)的槽底为圆弧形,取开槽(11)槽底的半径为r,取开槽(11)的槽宽为w,则r大于w/2。

2.根据权利要求1所述的一种石墨加热器,其特征在于:所述加热器本体(1)为圆筒状结构,所述开槽(11)呈竖直开设在加热器本体(1)的外壁上,且多个开槽(11)沿加热器本体(1)的圆周方向等距分布。

3.根据权利要求2所述的一种石墨加热器,其特征在于:所述加热器本体(1)上相邻的两个开槽(11)中,其中一个开槽(11)从加热器本体(1)的上端向下开设,另一个开槽(11)从加热器本体(1)的下端向上开设,使加热器本体(1)的轮廓呈蛇形曲线结构。

4.根据权利要求1所述的一种石墨加热器,其特征在于:所述加热器本体(1)为环形的平板状结构,所述开槽(11)开设在加热器本体(1)的环壁上,且开槽(11)沿加热器本体(1)的厚度方向贯穿加热器本体(1),多个所述开槽(11)沿加热器本体(1)的圆周方向等距分布,其中,相邻的两个开槽(11),一个开槽(11)从加热器本体(1)的环外壁上水平向内侧开设,另一个开槽(11)从加热器本体(1)的环内壁上水平向外侧开设,使加热器本体(1)的轮廓呈蛇形曲线结构。

5.根据权利要求1所述的一种石墨加热器,其特征在于:所述开槽(11)槽底的半径范围为w/2<r≤5w。

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