35]步骤S1065中，数据处理部7 (修正量算出部72d)基于在步骤S1064算出的重心坐标和角度Θ2来算出修正量。
[0136]其次，图5的步骤S107中，数据处理部7将步骤S1065算出的修正量反馈到控制部8。
[0137]如果从数据处理部7输入修正量，则控制部8将与该修正量相对应的指令信号输出到驱动部9。也就是，控制部8使箱体部3移动，以便消除电子部件图像20c相对于安装部位图像31c的位置偏移。另外，使喷嘴4绕ζ轴仅旋转角度(一 Θ 2)(参照图14(b))。
[0138]于是，由于箱体部3的移动而使电子部件20的位置进一步接近部件安装部位31的位置(参照图14(c))。另外，由于喷嘴4的旋转而使电子部件20相对于部件安装部位31绕ζ轴所成的角度大致成为零。
[0139]其次，图5的步骤S108中，数据处理部7判定电子部件20是否存在于第二区域。
[0140]在电子部件20存在于第二区域的情况(S108—是)下，数据处理部7的处理返回到步骤S106。另一方面，在电子部件20不存在于第二区域、即存在于第三区域的情况(S108 —否)下，数据处理部7的处理进入步骤S109。
[0141]步骤S109中，数据处理部7基于由第一图像传感器5拍摄的安装部位图像31c来算出修正量。顺便说一下，在该时刻中，电子部件20存在于第三区域(参照图15)，因此由第二图像传感器6得到的电子部件20的像模糊(或者不被拍摄)。另一方面，如上所述，部件安装部位31由第一图像传感器5清晰地拍摄。
[0142]因此，数据处理部7使用与电子部件20位于第一区域的情况相同的方法算出修正量。也就是，图5的步骤S109、S110的处理由于与上述步骤S103、S104的处理相同，所以省略说明。
[0143]步骤Slll中，数据处理部7判定电子部件20是否存在于第三区域。在电子部件20存在于第三区域的情况(S111—是)下，数据处理部7的处理返回到步骤S109。另一方面，在电子部件20不存在于第三区域的情况(S111—否)下，数据处理部7的处理进入步骤 SI12ο
[0144]其次，步骤S112中，控制部8将电子部件20安装于部件安装部位31。该安装处理包含解除喷嘴4对电子部件20的真空吸附的处理。
[0145]这样，在电子部件20下降到第一、第二、第三区域的过程中，通过依次修正电子部件20的位置(以及方向)，从而能够将电子部件20准确地安装于部件安装部位31。
[0146]< 效果 >
[0147]根据本实施方式的部件安装装置100，由第一图像传感器5拍摄部件安装部位31，由第二图像传感器6拍摄电子部件20，从而能够较窄地取得拍摄图像幅度(也就是，使对应于I像素的实空间的距离非常小)。也就是，即使第一图像传感器5、第二图像传感器6的景深浅，也能够以高分辨率拍摄拍摄对象。
[0148]因此，能够准确把握部件安装部位31的位置以及电子部件20的位置并将电子部件20高精度地定位。
[0149]另外，将相当于图像取得部71的电路(未图示)和相当于数据处理部7的电路(未图示)设于共用的印制电路板(未图示)，从而能够将由图像取得部71取得的图像信息高速地转送到图像处理部72。而且，无需在图像取得部71和图像处理部72之间设置连接器等，能够实现系统的小型化。
[0150]另外，在算出部件相对于安装部位图像的偏移时，通过使用各自的重心坐标，从而能够恰当且容易地算出修正量。
[0151]另外，通常，在使用图像传感器进行高速拍摄(每Isec的拍摄次数多)的情况下，为了转送拍摄到的数据，需要数据转送速率高的布线。但是，本实施方式中，数据处理部7仅将控制部8所需的数据(也就是上述修正量)向控制部8转送。这样，由于在数据处理部7仅转送所需的数据，因而能够抑制数据转送速率，并且高速地拍摄。换言之，利用较细的布线(低转送速率)与控制部8进行通信，因而能够削减部件安装装置100的制作成本。
[0152]另外，由于将数据处理部7内装于箱体部3，因而将从第一图像传感器5以及第二图像传感器6输入的图像信息向数据处理部7转送的布线的布局变得容易。
[0153]另外，在上述第一、第二、第三区域中，依次进行电子部件20的在X轴方向、y轴方向的位置修正，从而能够使电子部件20的重心与部件搭载部位的重心一致。尤其是在第二区域中，使用高分辨率的电子部件图像以及安装部位图像来进行位置修正、角度修正。因此，能够相对于部件安装部位31将电子部件20高速且高精度地进行定位。
[0154]另外，在本实施方式中，使用由设于箱体部3的第一图像传感器5以及第二图像传感器6拍摄的图像的相对位置关系来进行修正，从而能够不受驱动部9、喷嘴4的经时变化的影响地进行位置修正。
[0155]《第二实施方式》
[0156]第二实施方式与第一实施方式相比不同方面在于，拍摄电子部件20的第二图像传感器6A与喷嘴4 一起进行上下，其它方面与第一实施方式相同。因此，对该不同部分进行说明，对于与第一实施方式重复部分，省略说明。
[0157]图16是本实施方式的部件安装装置的结构图。如图16所示，构成为，拍摄电子部件20的第二图像传感器6A设于喷嘴4，并与喷嘴4 一起进行上下移动。这种情况下，电子部件20和第二图像传感器6的在ζ轴方向的距离固定。而且，关于第一图像传感器5，与第一实施方式一样设于箱体部3的下部。
[0158]本实施方式中，电子部件20的X轴方向、y轴方向的位置能够从向驱动部9输出指令信号的控制部8等取得。另外，电子部件20的相对于部件安装部位31的倾斜度(绕ζ轴的角度)能够利用由第一图像传感器5拍摄的部件安装部位31和由第二图像传感器6拍摄的电子部件20来求出。
[0159]控制部8根据从数据处理部7输入的修正量使箱体部3移动，使喷嘴4绕ζ轴旋转规定角度，从而修正电子部件20的位置。另外，关于电子部件20位于第一、第二、或者第三区域的情况的控制，由于与第一实施方式相同，因此省略说明。
[0160]〈效果〉
[0161]根据本实施方式，在电子部件20到达部件安装部位31为止的全部区域(也就是，上述第一、第二、第三区域)中，继续第二图像传感器6的焦点与电子部件20对准的状态。因此，能够总是使用第一图像传感器5和第二图像传感器6相对于部件安装部位31高精度地修正电子部件20的位置。
[0162]《第三实施方式》
[0163]第三实施方式与第一实施方式相比不同方面在于，使用支撑于反射部件支撑部IlB的反射部件12从斜下方拍摄电子部件20，其它方面与第一实施方式相同。因此，对该不同部分进行说明，对于与第一实施方式重复的部分，省略说明。
[0164]图17是本实施方式的部件安装装置的结构图。如图17所示，在箱体部3利用焊接或者螺栓紧固等牢固地连接反射部件支撑部11Β。反射部件支撑部IlB相比箱体部3向更下方延伸，与箱体部3 —起在X轴方向、y轴方向上移动。
[0165]另外，在反射部件支撑部IlB的下端设置有反射部件12。反射部件12的反射面相对于水平面仅倾斜规定角度，在第一实施方式说明的第二区域中，设定成，焦点对准于电子部件20。而且，在反射部件12的上方设置有第二图像传感器6，用反射部件12反射后的光(相当于电子部件20的像)入射到第二图像传感器6。
[0166]< 效果 >
[0167]根据本实施方式的部件安装装置100B，在利用第二图像传感器6拍摄电子部件20时，能够拍摄电子部件20的底面。也就是，能够防止喷嘴4等对象物以外的映入。由此，能够省略图像转换处理(从画面去除喷嘴4，并对电子部件20的图像进行再现处理)，能够简化数据处理部7所进行的处理。
[0168]《第四实施方式》
[0169]第四实施方式与第一实施方式相比不同方面在于，利用被第二图像传感器支撑部IIC支撑的第二图像传感器6从斜下方拍摄电子部件20，其它方面与第一实施方式相同。因此，对该不同部分进行说明，对于与第一实施方式重复的部分，省略说明。
[0170]图18是本实施方式的部件安装装置的结构图。如图18所示，在箱体部3上，通过焊接或者螺栓紧固等牢固地连接第二图像传感器支撑部11C，且相比箱体部3更向下方延伸。即、第二图像传感器支撑部IIC与箱体部3—起在X轴方向、y轴方向上移动。
[0171]在第二图像传感器支撑部IlC的下端设置第二图像传感器6。第二图像传感器6设置成，其光轴相对于水平面以规定角度朝向上方，并设定成，在第一实施方式说明的第二区域中焦点对准于电子部件20。
[0172]< 效果 >
[0173]根据本实施方式的部件安装装置100C，在用第二图像传感器6拍摄电子部件20时，能够拍摄电子部件20的底面。也就是，能够防止喷嘴4等对象物以外的映入。由此，能够省略图像转换处理，并能简化数据处理部7的处理。
[0174]《变形例》
[0175]以上，对本发明的部件安装装置利用各实施方式进行了说明，但本发明的实施方式不限于这些记载，能够进行各种变更。
[0176]例如，如图19所示，上述各实施方式中，还可以取代吸附保持电子部件20的喷嘴4，而使用机器手13。另外，部件40也可以是电子部件以外的物体。这种情况下，也能够利用与上述各实施方式相同的方法相对于设置部位来对物体高精度地进行定位。
[0177]另外，上述各实施方式中，箱体部