元件1，振动元件I作为滤波器、谐振器、角速度传感器等而发挥功能。
[0101]图9为表示作为具备本发明的一种实施方式所涉及的振动元件I的电子设备的数码照相机1300的结构的立体图。并且，在图9中，对该数码照相机与外部设备之间的连接也简单地进行了图示。
[0102]数码照相机1300通过CO) (Charge Coupled Device，电荷親合元件)等的摄像元件而对被摄物体的光像进行光电转换，并生成摄像信号(图像信号)。
[0103]在数码照相机1300的壳体(机身)1302的背面设置有显示部1000，并且成为根据由CCD产生的摄像信号而进行显示的结构，显示部1000作为将被摄物体显示为电子图像的取景器而发挥功能。另外，在壳体1302的正面侧(图中背面侧)，设置有包括光学透镜(摄像光学系统)和CCD等的受光单元1304。
[0104]当摄影者对被显示在显示部1000上的被摄物体图像进行确认，并按下快门按钮1306时，该时间点的CCD的摄像信号将被传送并存储于存储器1308中。另外，在该数码照相机1300中，在壳体1302的侧面上设置有影像信号输出端子1312和数据通信用的输入输出端子1314。而且，如图所示，根据需要，而在影像信号输出端子1312上连接有电视监视器1330，在数据通信用的输入输出端子1314上连接有个人电子计算机1340。而且，成为了如下的结构，即，通过预定的操作，从而使被存储在存储器1308中的摄像信号向电视监视器1330或个人电子计算机1340输出。在这种数码照相机1300中，，内置了作为电子部件的振动元件1，振动元件I作为滤波器、谐振器、角速度传感器等而发挥功能。
[0105]如上所述，通过作为电子部件而运用了抑制不需要的振动的产生且具有较高的Q值的振动7Π件I，从而能够提尚更尚性能的电子设备。
[0106]并且，作为本发明的一种实施方式所涉及的电子部件的振动元件I除了能够应用于图8(a)的个人电子计算机1100(便携型个人电子计算机)、图8(b)的移动电话1200、图9的数码照相机1300中之外，还能够应用于如下的电子设备中，例如，喷墨式喷出装置(例如喷墨式打印机)、膝上型个人计算机、电视、摄像机、汽车导航装置、寻呼机、电子记事本(也包括带有通信功能的产品)、电子词典、台式电子计算机、电子游戏机、工作站、可视电话、防盗用视频监视器、电子双筒望远镜、POS (Point of Sale:销售点)终端、医疗设备(例如，电子体温计、血压计、血糖仪、心电图计测装置、超声波诊断装置、电子内窥镜)、鱼群探测器、各种测量设备、计量设备类(例如，车辆、飞机、船舶的计量设备类)、飞行模拟器等。。
[0107]移动体
[0108]接下来，根据图10，对应用了本发明的实施方式所涉及的振动元件I的移动体进行说明。
[0109]图10为表示作为具备本发明的实施方式所涉及的振动元件I的移动体的汽车1400的结构的立体图。
[0110]在汽车1400中搭载有通过包含本发明所涉及的振动元件I而被构成的陀螺传感器。例如，如该图所示，在作为移动体的汽车1400中，打在了内置对轮胎1401进行控制的该陀螺传感器的电子控制单元1402。另外，作为其他示例，振动元件还能够广泛应用于无钥匙进入系统、发动机防盗锁止装置、导航系统、汽车空调、防抱死制动系统(ABS)、安全气囊、轮胎压力监测系统(TPMS:Tire Pressure Monitoring System)、发动机控制、混合动力型汽车和电动汽车的电池监视器、车身姿态控制系统等的电子控制单元(ECU ElectronicControl Unit，电子控制模块)。
[0111]如上所述，通过作为移动体而运用了抑制不需要的振动的产生且具有较高的Q值的振动7Π件I，能够提尚更尚性能的移动体。
[0112]以上，根据图示的实施方式，对本发明的实施方式所涉及的振动元件1、电子装置2、电子设备(1100、1200、1300)以及移动体(1400)进行了说明，但是，本发明的实施方式并不限定于此，各部的结构能够被置换为具有同样功能的任意的结构。。另外，也可以在本发明的实施方式中附加其他任意的结构物。另外，也可以对前文所述的各实施方式进行适当的组合。
[0113]符号说明
[0114]I…振动元件、2…电子装置、10…基部、12、14…振动臂、16、18…锤部、20…第一主面、21...加工面、22...第二主面、24...槽部、26...倾斜部、28...第一厚壁部、30...第二厚壁部、32...底部、34...第一保护层、36...第二保护层、40...封装件主体、42...第一基板、44...第二基板、46...第三基板、48...支承部、50...外部端子、52...密封部件、54...盖部件、56...接合部件、60...空腔、70...电路元件、80...电极、100…基板、110…保护层、120…第三保护层、130…能量线射出部、140…能量线、150…干蚀刻装置、1000...显示部、1100...个人电子计算机、1102…键盘、1104…主体部、1106…显示单元、1200…移动电话、1202…操作按钮、1204…听筒、1206…话筒、1300…数码照相机、1302…壳体、1304…受光单兀、1306…快门按钮、1308…存储器、1312…影像信号输出端子、1314…输入输出端子、1330…电视监视器、1340…个人电子计算机、1400…汽车、1401...轮胎、1402…电子控制单元。
【主权项】
1.一种振动元件的制造方法，其特征在于，所述振动元件具备: 振动臂； 槽部，其被设置在所述振动臂上； 第一厚壁部和第二厚壁部，在俯视观察所述振动臂的情况下，所述第一厚壁部在与所述振动臂的延伸方向交叉的方向上被设置在所述槽部的一侧，第二厚壁部被设置在与所述一侧相反的一侧， 所述振动元件的制造方法包括: 保护层形成工序，其在基板上设置第一保护层和第二保护层，所述第一保护层用于形成所述第一厚壁部，所述第二保护层用于形成所述第二厚壁部； 在具备干蚀刻用的能量线射出部的装置上配置所述基板的工序； 利用从所述能量线射出部射出的能量线，对如下的所述基板进行蚀刻的工序，所述基板为，在俯视观察所述基板时相对于所述能量线射出部的中心与所述基板交叉的交点而在一侧配置有所述第一保护层以及所述第二保护层的基板， 其中，当所述交点与所述第一保护层之间的距离短于所述交点与所述第二保护层之间的距离时，与所述振动臂的延伸方向交叉的所述第一保护层的宽度窄于与所述振动臂的延伸方向交叉的所述第二保护层的宽度。
2.如权利要求1所述的振动元件的制造方法，其特征在于，包括: 在俯视观察所述基板时的所述第一保护层与所述第二保护层之间设置第三保护层，并利用所述能量线而形成所述振动臂的外形的至少一部分的工序。
3.如权利要求1所述的振动元件的制造方法，其特征在于，包括: 在所述保护层形成工序之前，设置用于形成所述振动臂的外形的第三保护层，并利用所述能量线而形成所述振动臂的外形的至少一部分的工序。
4.如权利要求1所述的振动元件的制造方法，其特征在于， 所述基板为水晶基板。
5.如权利要求2所述的振动元件的制造方法，其特征在于， 所述基板为水晶基板。
6.如权利要求3所述的振动元件的制造方法，其特征在于， 所述基板为水晶基板。
7.如权利要求4所述的振动元件的制造方法，其特征在于， 所述振动臂的延伸方向与所述水晶基板的Y轴方向一致。
8.如权利要求5所述的振动元件的制造方法，其特征在于， 所述振动臂的延伸方向与所述水晶基板的Y轴方向一致。
9.如权利要求6所述的振动元件的制造方法，其特征在于， 所述振动臂的延伸方向与所述水晶基板的Y轴方向一致。
10.一种振动元件，其特征在于，具备: 振动臂； 槽部，其被设置在所述振动臂上， 第一厚壁部和第二厚壁部，在俯视观察所述振动臂的情况下，所述第一厚壁部在与所述振动臂的延伸方向交叉的方向上设置在所述槽部的一侧，所述第二壁厚部设置在与所述一侧相反的一侧， 所述第一厚壁部的宽度窄于所述第二厚壁部的宽度， 在与所述振动臂的延伸方向交叉的截面中观察时，在所述第一厚壁部的外侧面设有倾斜部。
11.一种电子装置，其特征在于，具备: 权利要求10所述的振动元件； 电路元件。
12.一种电子设备，其特征在于， 具备权利要求10所述的振动元件。
13.—种移动体，其特征在于， 具备权利要求10所述的振动元件。
【专利摘要】本发明提供一种振动元件及其制造方法、电子装置、电子设备、移动体。作为抑制倾斜振动等不需要的振动的产生且具有较高的Q值的振动元件的制造方法，包括：其在基板(100)上设置第一保护层(34)和第二保护层(36)的工序；在具备干蚀刻用的能量线射出部的装置上配置基板的工序；利用从能量线射出部射出的能量线，对如下的基板进行蚀刻的工序，所述基板为，在俯视观察基板时相对于能量线射出部的中心与基板交叉的交点(G)而在一侧配置有第一保护层以及第二保护层的基板，其中，当交点(G)与第一保护层之间的距离短于交点(G)与第二保护层之间的距离时，与振动臂的延伸方向交叉的第一保护层的宽度窄于第二保护层的宽度。
【IPC分类】H03H9-21, H03H3-02, H03H9-02
【公开号】CN104836545
【申请号】CN201510057110
【发明人】市川史生
【申请人】精工爱普生株式会社
【公开日】2015年8月12日
【申请日】2015年2月3日
【公告号】US20150222245