谐波的节点部分从高阶谐波的Cl值低的振动部212、222的区域，向高阶谐波的Cl值更高的第二槽部区域移动的作用。其结果是，由于与激励音叉型压电振子所需的基波的Cl值相比，能够增大不需要的高阶谐波的Cl值，从而能够确保其Cl比，因此能够以更加稳定的状态抑制高阶谐波的振荡。
[0101](实施方式二)
[0102]接着，结合附图对实施方式二所涉及的音叉型水晶振子进行说明。由于在本实施方式中使用的音叉型水晶振子I具有与在实施方式一中说明过的音叉型水晶振子几乎相同的结构，因此关于共同的结构采用同一符号，并省略其说明，仅对不同部分进行说明。
[0103]图6是本实施方式二所涉及的音叉型水晶振子的示意剖面图。图7是本实施方式二所涉及的音叉型水晶振动片的一主面一侧的平面图。图8是本实施方式二所涉及的音叉型水晶振动片的腿部的一部分的放大平面图。图9是本实施方式二所涉及的另一音叉型水晶振动片的腿部的一部分的放大平面图。
[0104]在实施方式一中，关于连接部213、223，其具有从振动部212、222朝向锤部211、221，以指数函数增大宽度方向上的尺寸的增幅部2131、2231，增幅部2131、2231被形成为长度方向上的尺寸比宽度方向上的尺寸长，但是在本实施方式二中，不限于这样的连接部形状，可以是单纯的R形或锥形或(长度方向的尺寸与宽度方向的尺寸的)阶梯状。即，如图7、图8所示，增幅部2131、2231可以由用圆周的一部分构成的Rl形成，如图9所示，增幅部2131、2231可以由用椭圆的一部分构成的R2形成，该椭圆在腿部的突出方向上具有长轴。
[0105]在振动部212、222上，在中间夹有桥部272的状态下，在第一槽部27的前端沿着长度方向形成有有底的第二槽部271。第二槽部271从振动部212、222的前端朝向锤部211、221延伸，在第二槽部271的内部分别仅形成有引出电极293、294，未形成激励电极。在本实施方式中，使桥部272位于振动部212、222，同时，从该振动部212、222的前端到连接部213、223，沿着腿部的突出方向形成了第二槽部271。另外，将桥部272作为未对音叉型水晶振动片(压电振动板原板)进行蚀刻的剩余部分区域，并且以与各腿部21、22上的除第一槽部27和第二槽部271之外的区域相同的厚度来构成。进一步，在第一腿部21的连接部213和第二腿部22的连接部223上，在两个主面(一主面261和另一主面262)和两个侧面28的几乎整个表面上分别形成有引出电极293、294，在上述第二槽部的内部也分别形成有引出电极293、294。
[0106]另外，在本实施方式中，虽然第二槽部仅形成在连接部213、223的一部分区域内，但是根据特性可以延长形成至锤部211、221的区域内。另外，第二槽部的上表面可以是不形成引出电极的结构，也可以是不仅形成引出电极而且还在其上部形成后述调整用金属膜M3的结构。另外，可以是将这些结构中的至少两个以上进行组合的结构。但是，在上述第二槽部上，不形成用于通过相邻地配置不同极性的电极从而在水晶振动片内部产生电场效果的激励电极。
[0107]这样，在振动部212、222上，在中间夹有桥部272的状态下，在第一槽部27的前端沿着长度方向形成有有底的第二槽部271。第二槽部271，从振动部212、222的前端朝向锤部211、221延伸，并且仅形成有引出电极293、294。因此，通过在振动部212、222的前端形成质量小的区域(刚性低的区域)，能够使除基波以外的不需要的高阶谐波的节点部分位置从高阶谐波的Cl值低的振动部212、222的区域，向高阶谐波的Cl值更高的具有第二槽部271的连接部213、223或锤部211、221进行位移。通过进行这样的位移，与激励音叉型压电振子所需的基波的Cl值(串联共振电阻)相比，能够增大不需要的高阶谐波的Cl值，从而能够确保其Cl值的比率(以下，称为Cl比)并抑制高阶谐波的振荡。
[0108]另外，由于在第一槽部27与第二槽部271之间夹有桥部272，因此在振动部212、222的前端，构成有桥部272，从而提高了这部分的机械强度，因此降低了在此区域产生裂纹或破损的危险性，提高了耐冲击性能。另外，通过在第一槽部27与第二槽部271之间形成弯曲应力强的区域，可发挥作用使位移后的高阶谐波的节点部分的位置难以返回到形成有激励电极的区域。其结果是，能够在更稳定的状态下确保Cl比。
[0109]本发明可以在不脱离其精神或主要特征的范围内以其他各种各样的形式进行实施。因此，上述实施方式只不过是各方面示例而已，不能将其作为限定来解释。本发明的范围是权利要求书所表达的范围，说明书中不存在任何限定，进一步，属于权利要求书范围的等同范围的变形或变更均在本发明的范围之内。
[0110]产业上的利用可能性
[0111]本发明适用于音叉型水晶振子等压电振动设备。
[0112]符号说明
[0113]I音叉型水晶振子
[0114]2音叉型水晶振动片
[0115]3 基座
【主权项】
1.一种音叉型压电振动片，其压电振动板原板具有基部和从该基部的一端面突出的并排的一对腿部，其中，将所述腿部的突出方向作为长度方向，并将所述腿部的并排方向作为宽度方向，其特征在于， 所述一对腿部具有:具有沿着长度方向形成的槽部和激励电极的振动部；一体形成在该振动部的前端一侧，且具有比所述振动部在宽度方向上的尺寸更宽的部分的锤部；所述振动部与所述锤部之间的连接部， 所述振动部的激励电极的构成为:含有形成在所述槽部的内面的内面电极和与该内面电极在宽度方向上相对的形成在所述腿部的侧面的侧面电极， 所述连接部具有从所述振动部朝向所述锤部，以指数函数增大其宽度方向上的尺寸的增幅部，所述增幅部被形成为长度方向上的尺寸比宽度方向上的尺寸长， 所述锤部具有从与所述连接部的连结位置起宽度方向上的尺寸为固定的等宽部分，并且所述锤部不形成激励电极。2.一种音叉型压电振动片，其压电振动板原板具有基部和从该基部的一端面突出的并排的一对腿部，其中，将所述腿部的突出方向作为长度方向，并将所述腿部的并排方向作为宽度方向，其特征在于， 所述一对腿部具有:具有沿着长度方向形成的槽部和激励电极的振动部；一体形成在该振动部的前端一侧，且具有比所述振动部在宽度方向上的尺寸更宽的部分的锤部；所述振动部与所述锤部之间的连接部， 所述振动部的激励电极的构成为:含有形成在所述槽部的内面的内面电极和与该内面电极在宽度方向上相对的形成在所述腿部的侧面的侧面电极， 所述连接部具有从所述振动部朝向所述锤部增大其宽度方向上的尺寸的增幅部，所述增幅部的主面上的形状由曲率半径不小于所述增幅部在宽度方向上的尺寸的圆的圆周一部分形成，或者由在长度方向上具有长轴的椭圆的圆周一部分形成， 所述锤部具有从与所述连接部的连结位置起宽度方向上的尺寸为固定的等宽部分，并且所述锤部不形成激励电极。3.一种音叉型压电振动片，其具有基部和从该基部的一端面突出的并排的一对腿部，其特征在于， 所述各腿部由以下构成:与所述基部连接，并具有激励电极的振动部；配置在所述腿部的前端一侧，且比所述振动部在宽度方向上的尺寸更宽地形成的锤部；以从所述振动部朝向所述锤部增大其宽度方向上的尺寸的方式连接所述振动部和所述锤部的连接部， 所述连接部具有从所述振动部朝向所述锤部以指数函数增大其宽度方向上的尺寸的增幅部，所述连接部在宽度方向上的尺寸以同时满足以下(a)?(C)的条件的方式来增大: (a)增幅部由平滑曲线形成，连接部的宽度尺寸从振动部朝向锤部单调增加； (b)连接部的宽度尺寸的增加率，越远离与振动部的边界则越大； (C)连接部的宽度尺寸的增加率，在振动部与连接部的边界处为O。4.根据权利要求1?3任一项所述的音叉型压电振动片，其特征在于， 所述槽部的长度/所述腿部的长度设置为55%以上65%以下。5.根据权利要求1?4任一项所述的音叉型压电振动片，其特征在于， 在所述连接部上，具有沿着长度方向形成的第二槽部， 在所述振动部的槽部与所述连接部的第二槽部之间，夹有不形成所述槽部和第二槽部的桥部，并且仅在所述槽部上形成激励电极。6.一种音叉型压电振动片，其压电振动板原板具有基部和从该基部的一端面突出的并排的一对腿部，其中，将所述腿部的突出方向作为长度方向，并将所述腿部的并排方向作为宽度方向，其特征在于， 所述一对腿部具有:具有沿着长度方向形成的第一槽部和激励电极的振动部；一体形成在该振动部的前端一侧，且具有比所述振动部在宽度方向上的尺寸更宽的部分的锤部；所述振动部与所述锤部之间的连接部， 仅形成在所述振动部上的激励电极的构成为:含有形成在所述第一槽部的内面的内面电极和与该内面电极在宽度方向上相对的形成在所述腿部的侧面的侧面电极， 在所述连接部上具有沿着长度方向形成的第二槽部， 在所述振动部的第一槽部与所述连接部的第二槽部之间，夹有不形成所述第一槽部和第二槽部的桥部， 所述桥部位于所述振动部上。7.根据权利要求6所述的音叉型压电振动片，其特征在于， 所述连接部具有从所述振动部朝向所述锤部以指数函数增大其宽度方向上的尺寸的增幅部，所述连接部在宽度方向上的尺寸以同时满足以下(a)?(C)的条件的方式增大: (a)增幅部由平滑曲线形成，连接部的宽度尺寸从振动部朝向锤部单调增加； (b)连接部的宽度尺寸的增加率，越远离与振动部的边界则越大； (C)连接部的宽度尺寸的增加率，在振动部与连接部的边界处为O。8.一种音叉型压电振子，其特征在于， 根据权利要求1?7中任一项所述的音叉型压电振动片被设置并气密地密封在该音叉型压电振子的框体内部。
【专利摘要】在音叉型压电振动片(2)中，压电振动板原板由具有与外部接合的区域的基部(25)和从该基部的一端面突出的一对腿部(21、22)构成，上述一对腿部具有：具有激励电极的振动部(212、222)；形成在该振动部的前端的宽幅的锤部(211、221)；上述振动部与锤部之间的连接部(213、223)，上述连接部具有从上述振动部朝向上述锤部，以指数函数增大其宽度方向上的尺寸的增幅部，上述增幅部被形成为长度方向上的尺寸比宽度方向上的尺寸长，上述锤部具有从与上述连接部的连结位置起宽度方向上的尺寸为固定的等宽部分，并且上述锤部不形成激励电极。
【IPC分类】H03H9/19, H03H9/215
【公开号】CN105191124
【申请号】CN201480015932
【发明人】阪本和靖, 石野悟, 藤井智
【申请人】株式会社大真空
【公开日】2015年12月23日
【申请日】2014年5月27日
【公告号】US20160000536, US20160006413, WO2014208251A1