表面声波器件和液态材料特性测量装置的制造方法_3

文档序号:9618398阅读:来源:国知局
2b和顶板34b构建成的。壁42a和面向壁42a的第一壁80a,以及壁42b和面向壁42b的第一壁80b分别构成了双重保护壁,用于保护物体52。此外,第一传播路径16和第二传播路径26被第一壁80a、80b和侧壁62所围绕。一面涂有粘合剂36的顶板34a被结合到周壁32a和第一壁80a的相应上端。并且,一面涂有粘合剂36的顶板34b被结合到周壁32b和第一壁80b的相应上端。顶板34a、周壁32a、压电基板54和第一壁80a共同限定了封闭空间82a,而顶板34b、周壁32b、压电基板54和第一壁80b共同限定了另一封闭空间82b。由输入电极12,22、输出电极14,24和印制电路板64之间的焊线68形成的连接、布置在印制电路板64上的外周壁70和保护树脂74与第一实施方式中的相同,因此下面将不再对这些特征进行详细描述。
[0045]在液态材料特性测量装置50A中,输入电极12、22被密封件30Aa围绕,该密封件30Aa包括:布置在压电基板54上的感光树脂的周壁32a ;面向施加在压电基板54上的物体52并平行于周壁32a的一部分延伸的第一壁80a ;以及覆盖了周壁32a和第一壁80a的顶板34a。输出电极14、24被密封件30Ab围绕,该密封件30Ab包括:布置在压电基板54上的感光树脂的周壁32a ;面向施加在压电基板54上的物体52并平行于周壁32a的一部分延伸的第一壁80b ;以及覆盖了周壁32b和第一壁80b的顶板34b。
[0046]在液态材料特性测量装置50A中,双重保护壁防止了物体52被施加到输入电极12,22和输出电极14,24上。即使第一壁80a、80b从压电基板54上剥离,由此使物体52进入封闭空间82a、82b,在周壁32a、32b由于进入到封闭空间82a、82b的物体52而从压电基板54上剥离之前仍需要相当长的一段时间。因此,可以维持正常的一段时间,在此期间可以使用液态材料特性测量装置50A。
[0047]液态材料特性测量装置50A按照与第一实施方式相同的方式来测量物体52的物理特性。因此,下面将不再详细描述通过液态材料特性测量装置50A对物体52的物理特性的测量。
[0048]下面将描述根据本发明第三实施方式的液态材料特性测量装置50B。图5为根据本发明第三实施方式的液态材料特性测量装置50B的平面图。图6A为沿着图5的线VIA-VIA截取的局部端视图,图6B为图6A的局部放大图。第三实施方式的与第一和第二实施方式相同的部分采用相同的附图标记来表示,并在下面不再详细描述这些特征。
[0049]液态材料特性测量装置50B不同于液态材料特性测量装置50之处在于:对密封件30Ba、30Bb添加了第一壁80a、80b。在液态材料特性测量装置50B中,由感光树脂制成的第一壁80a、80b布置在压电基板54上,面向施加在压电基板54上的物体52。密封件30Ba是由第一壁80a、壁42a和顶板34a构建成的,而密封件30Bb是由第一壁80b、壁42b和顶板34b构建成的。此外,第一传播路径16和第二传播路径26被第一壁80a、80b和侧壁62所围绕。一面涂有粘合剂36的顶板34a被结合到周壁32a和第一壁80a的相应上端。一面涂有粘合剂36的顶板34b被结合到周壁32b和第一壁80b的相应上端。顶板34a、周壁32a、压电基板54和第一壁80a共同限定了封闭空间82a,而顶板34b、周壁32b、压电基板54和第一壁80b共同限定了另一封闭空间82b。分别用包括触变底层填料剂的密封加强物84a、84b来填充封闭空间82a和封闭空间82b,以便更可靠地防止物体52施加到输入电极12、22和输出电极14、24上。
[0050]由输入电极12,22、输出电极14,24和印制电路板64之间的焊线68形成的连接、布置在印制电路板64上的外周壁70,以及保护树脂74与第一实施方式中的相同,因此下面将不再对这些特征进行详细描述。液态材料特性测量装置50B按照与第一实施方式相同的方式来测量物体52的物理特性。因此,下面将不再详细描述通过液态材料特性测量装置50B对物体52的物理特性的测量。
[0051]下面将描述根据本发明第四实施方式的液态材料特性测量装置50C。图7为根据本发明第四实施方式的液态材料特性测量装置50C的平面图。在上述第一至第三实施方式中,第一表面声波器件10和第二表面声波器件20包括各自的输入电极12和各自的输出电极14。但是,液态材料特性测量装置50C有单个输入电极。第四实施方式的与第一实施方式相同的其它部分采用相同的附图标记来表示,并在下面不再详细描述这些特征。
[0052]液态材料特性测量装置50C包括:具有一个输入电极112和输出电极114、124的表面声波器件;被设置为输入电极112与输出电极114之间的断路传输路径的第一传输路径116 ;以及被设置为输入电极112与输出电极124之间的短路传输路径的第二传输路径126。
[0053]输入电极112由密封件130a进行密封,输出电极114由密封件130b进行密封,而输出电极124由密封件130c进行密封,用于在测量物体52的物理特性时防止物体52施加在梳齿电极上。
[0054]密封件130a包括周壁132a和顶板134a。周壁132a以围绕输入电极112的形式设置在压电基板54上。顶板134a通过粘合剂136结合在周壁132a的上端。顶板134a与压电基板54大致平行地结合在周壁132a的上端。顶板134a向着输出电极114、124延伸,在顶板134a的一端与压电基板54之间限定了间隙138a。该间隙138a用密封加强物140a进行填充,该密封加强物140a施加在周壁132a的面向施加于压电基板54上的物体52的表面。类似于密封件130a,密封件130b也包括周壁132b和顶板134b。间隙138b用施加在周壁132b上的密封加强物140b进行填充。类似于密封件130a,密封件130c也包括周壁132c和顶板134c。间隙138c用施加在周壁132c上的密封加强物140c进行填充。
[0055]由输入电极112、输出电极114,124和印制电路板64之间的焊线68形成的连接、布置在印制电路板64上的外周壁70,以及保护树脂74与第一实施方式中的相同,因此下面将不再对这些特征进行详细描述。
[0056]液态材料特性测量装置50C如下来测量物体52的物理特性。将液态材料特性测量装置50C浸入到物体52中,并且振荡器(未示出)向输入电极112输入电信号。基于所输入的信号,从输入电极112的两侧激发出相同的表面声波,其中一个表面声波在第一传播路径116上传播并由输出电极114接收,另一个表面声波在第二传播路径126上传播并由输出电极124接收。
[0057]根据输出电极114、124所接收的表面声波产生输出信号,由此来检测输出信号的振幅比和相位差。根据检测到的振幅比和检测到的相位差来测量物体52的物理特性。
[0058]除了液态材料特性测量装置50C仅有单个输入电极以外,液态材料特性测量装置50C的结构类似于根据第一实施方式的液态材料特性测量装置50。但是,应当理解,液态材料特性测量装置50C可以被构造为类似于根据第二实施方式的液态材料特性测量装置50A,除了有单个输入电极外。此外,液态材料特性测量装置50C可以被构造为类似于根据第三实施方式的液态材料特性测量装置50B的结构,除了有单个输入电极外。
[0059]下面将描述根据本发明第五实施方式的液态材料特性测量装置50D。图
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