固态摄像装置及其制造方法和电子设备的制作方法

专利名称：固态摄像装置及其制造方法和电子设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种固态摄像装置及其制造方法和电子设备，尤其涉及 一种实施了有效的防耀斑及防重影措施的固态摄像装置及其制造方法 和电子设备。
背景技术：
在具备固态摄像元件的固态摄像装置中配置有用于保护固态摄像 元件的玻璃罩(透光性构件)。在固态摄像装置中，通过透镜入射至玻 璃罩的侧面的视野外耀斑光线(耀斑光)被玻璃罩反射后到达固态摄像 元件的受光部。其结果，由于该入射至受光部的光，导致在拍摄图像上 产生耀斑(重影)。
对此，例如在专利文献1 (日本国专利申请公开特开平8-160339号 公报，
公开日1996年6月21日)揭示了 一种已实施了防耀斑措施的 固态摄像装置(相机模块)。具体而言，专利文献l中所揭示的固态摄 像装置采用如下方法，即，设置玻璃罩使得玻璃罩的侧面所反射的视野 外耀斑光线不入射至摄像元件的受光部。图7是表示专利文献1所揭示 的已实施防耀斑措施的固态摄像装置的剖面图。
如图7所示，在专利文献1所揭示的固态摄像装置100中，基板113 上的玻璃罩112的侧面与固态摄像元件Ul的受光部(实际用以摄像的 部分)llla之间形成有间隔，且当视野外耀斑光线入射至玻璃罩112的 侧面时该光线不入射至受光部llla。如图7所示，以b，的光路入射的视 野外耀斑光线在玻璃罩112的侧面的点rb，不发生反射。此外，如该图 所示，以a，的光路入射的视野外耀斑光线在玻璃罩112的侧面的点ra， 被反射后，直接反射至基板U3。
如上所述，专利文献l的固态摄像装置100具有固态掇像元件111 和用于保护固态摄像元件111的玻璃罩112，且玻璃罩112的端部和固 态摄像元件111的受光部Ula的端部lllb之间保持有一定尺寸以上的 距离。由此，避免被玻璃罩112的侧面所反射的耀斑光入射至受光部 llla。然而，专利文献1所揭示的固态摄像装置IOO并不能充分防止耀斑。
因此，要求更有效的防耀斑措施。
具体而言，在专利文献1所揭示的结构中，由于在玻璃罩的侧面上 并没有实施防耀斑措施，因此其并非是一个防耀斑的根本措施。另外， 实际入射至玻璃罩的侧面的光线包含有不同波长成分的光。各波长成分 的反射角各不相同，所以，设定玻璃罩时有必要考虑全波长成分的反射 角。从而，玻璃罩的设定变得非常繁瑣，而且，透镜等光学系统的设计 也受到非常大的限制。
另外，固态摄像元件的芯片尺寸趋于缩小化，并且今后此缩小化的 倾向还将不断增速。但是，当采用专利文献1所揭示的、固态摄像装置
的防耀斑措施时，需使玻璃罩112的端部和固态摄像元件111的受光部 llla的端部lllb之间保持在一定尺寸以上的距离。因此，随着固态摄 像元件的芯片的缩小化，将难于实施专利文献1所揭示的防耀斑措施。 也就是说，基于专利文献1所揭示的结构，受光部llla和玻璃罩112 的设置将受到限制。

发明内容
本发明是鉴于上述问题而进行开发的，其目的在于提供一种可减小 耀斑发生的固态摄像装置及其制造方法和电子设备。另外，本发明的目 的还在于提供一种采取了具有广泛应用性的防耀斑措施并能适用于固 态摄像元件的芯片缩小化的固态摄像装置及其制造方法和电子设备。
为了解决上迷课题，达成上迷目的，本发明的固态摄像装置包括固 态摄像元件和透光性构件，其中，上述固态摄像元件被安装在基板上， 上述透光性构件与上述固态摄像元件的受光部对置，并且在上述固态摄 像元件和上迷透光性构件之间保持有间隔，上述透光性构件的侧面形成 为凹凸形状，使得入射至该透光性构件的侧面的光发生散射。
根据上述发明，上述透光性构件的侧面形成为凹凸形状，所以，可 使得入射至该透光性构件的侧面的光发生散射。由此，可减少透光性构
的受光部。即，可减少被透光性构件的侧面反射后口入射至受光^的光(耀 斑光)。从而，可抑制在拍摄图像上的耀斑和重影的发生，使得在拍摄 图像上的耀斑和重影减少到对实际使用无影响的程度。并且，根据上述发明，只需将透光性构件的侧面加工成凹凸形状， 即可减少耀斑和重影的发生，因此可适用于固态摄像元件的芯片尺寸的 缩小化。即，即使固态摄像元件小型化，也可以通过改变透光性构件的 侧面的形状来减少耀斑和重影的发生。因此，能够提供采取了具有广泛 应用性的防耀斑措施并且可应用于各种固态摄像元件的芯片尺寸的固 态摄像装置。
另外，专利文献l所揭示的固态摄像装置是通过使玻璃罩(透光性 构件)的尺寸大于通常尺寸来抑制耀斑的发生。对此，在本发明的固态 摄像装置中，透光性构件的侧面形成为凹凸形状。由此，无需变更透光 性构件的尺寸即可实施防耀斑措施，使得耀斑光在受光部不发生聚光。
为了达成上述目的，在本发明的固态摄像装置的制造方法中，该固 态摄像装置包括固态摄像元件和透光性构件，上述固态摄像元件被安装 在基板上，上述透光性构件与上迷固态摄像元件的受光部对置，并且， 在上述固态摄像元件和上述透光性构件之间保持有间隔，该固态摄像装
置制造方法的特征在于，包括在上述透光性构件的侧面形成凹凸的凹 凸形成步骤。
根据上迷发明，制造固态摄像装置时，利用了侧面为凹凸形状的透
四凸形状所散射。从而:可减-透光'^构件的侧面的二射光被该透光性
构件的侧面反射后入射至固态摄像元件的受光部。即，可减少被透光性 构件的侧面反射后入射至受光部的光(耀斑光)。从而，可抑制拍摄图 像上的耀斑和重影的发生，使得在拍摄图像上的耀斑和重影减少到对实 际使用无影响的程度。
并且，根据上述发明，只需将透光性构件的侧面加工成凹凸形状， 即可减少耀斑和重影的发生，因此可适用于固态摄像元件的芯片尺寸的 缩小化。即，即使固态摄像元件缩小化，也可以通过改变透光性构件的 侧面的形状来减少耀斑和重影的发生。因此，能够提供实施了具有广泛 应用性的防耀斑措施并且可应用于具有各种固态摄像元件的芯片尺寸 的固态摄像装置。
此外，为了达成上述目的，本发明的电子设备的特征在于，包括上 述固态摄像装置。根据上述发明，可提供具备了有效的防耀斑措施的电 子设备。本发明的其他目的，特征和优点在以下的描述中会变得十分明确。 以下，参照附图来明确本发明的优点。


图1是本发明的实施方式的相机模块的剖面图。
图2是表示本发明的实施方式中的耀斑发生评价方法的概念的概念图。
图3是表示通过裁切处理(dicing)所形成的玻璃罩侧面的斜视图 以及侧面图。
图4是表示通过激光照射所形成的玻璃罩侧面的斜视图以及侧面图。
图5是表示通过具有图3所示的玻璃罩的固态摄像装置所拍摄的图像。
图6是表示通过具有图4所示的玻璃罩的固态摄像装置所拍摄的图像。
图7是表示专利文献1所揭示的固态摄像装置的剖面图。
具体实施例方式
下面，根据附图来说明本发明的实施方式。
本发明的固态摄像装置是通过将粘合在固态摄像元件上部的玻璃 罩的侧面加工成凹凸形状来减少被玻璃罩的侧面反射的耀斑光线。
本发明的固态摄像装置适用于诸如具备摄像功能的便携式电话、数 字静态照相机、摄像机、监视用摄像机等的各种可摄像的电子设备。在 本实施方式中以具备摄像功能的便携式电话中的相机模块(固态摄像装 置)为例进行说明。
图1是本实施方式的相机模块10的剖面图。相机模块10包括固态 摄像元件11和玻璃罩12，其中，固态摄像元件11安装在配线基板(基 板)13上，玻璃軍12与固态摄像元件U对置。
另外，相机模块10包括未图示的、用于形成被拍摄物体像的摄像 光学系统(透镜)，经该摄像光学系统形成的被拍摄物体像通过固态摄 像元件11被转换成电信号。该摄像光学系统的光学中心与固态摄像元 件U的光学中心一致d配线基板13是形成有配线图案(不图示)的基板。作为配线基板 13的示例，可例举出印刷基板、陶瓷基板等。在配线基板13的、用于 安装固态摄像元件11的安装面上，设有引线键合端子13a,安装面的反 面(背面)设有外部连接用电极13b。引线键合端子13a和外部连接用 电极13b之间相互电连接。
另外，引线键合端子13a和固态摄像元件11之间通过引线15形成 电连接，相互间可收发电信号，其中，固态摄像元件11被叠层设置在 配线基板13的中央部。另外，通过外部连接用电极13b，相机模块10 和搭栽有该相机模块10的具备摄像功能的便携式电话(电子设备)之 间可进行信号的输入输出。
固态摄像元件11是由半导体芯片构成的固态摄像元件，将经过摄 像光学系统(不图示)形成的被拍摄物体像转换成电信号。即，固态摄 像元件11是对于经摄像光学系统入射的入射光进行光电转换的传感器 构件。作为固定摄像元件ll,可例举CCD或CMOS传感器IC等。
利用粘合材料(不图示)将固态摄像元件11固定在配线基板13上。 然后，通过引线15(连接部，不图示)使得固态摄像元件11的焊盘(不 图示)和配线基板13的引线键合端子13a电连接。
固态摄像元件11的表面上形成有受光部Ua(像素区域)。该受光 部Ua是经摄像光学系统(不图示)入射的光进行成像的区域(成像区 域)。固态摄像元件11将在该受光部lla形成的被拍摄物体像转换成 电信号，并作为模拟信号输出。即，在受光部Ua进行光电转换。
借助于粘合层16,在固态摄像元件11的受光部lla上安装玻璃罩 12。其中，粘合层16由粘合树脂形成。
玻璃罩12是由玻璃或树脂等构成的透光性构件。也可以在玻璃罩 12的表面(搭载摄像光学系统(透镜等)的面)形成红外线遮光膜，使 玻璃罩12具备红外线遮光功能。
粘合层16用于粘合固态摄像元件II和玻璃軍12。粘合层16被设 置在固态摄像元件11的受光部Ua的周围，将坡璃罩12粘合在固态摄 像元件上。因此，固态摄像元件11的受光部lla被玻璃罩12所覆 盖。
详细而言，在利用粘合层16来粘合固态摄像元件11和玻璃革12 时，使得玻璃罩12与固态摄像元件11的受光部Ua对置，并且在玻璃罩12与固态摄像元件U之间形成间隔。由此，固态摄像元件11与玻 璃罩12之间形成密封空间。由于形成有密封空间，所以，可防止受光 部lla受湿气侵入、尘埃侵入和附着的影响。从而，可防止受光部Ua 发生不良现象。另外，在本实施方式中，受光部lla的整个外周部形成 有粘合层16,因此，玻璃罩12不易脱落。
另外，例如在固态摄像元件11上粘贴片状的粘合材料后，可利用 光刻技术进行爆光以及显影处理来形成图案，由此，形成粘合层16。使 用光刻技术可精确地形成粘合层16的图案，而且，由于利用了片状的 粘合材料，可使得形成粘合层16的厚度均一。由此，能够高精度地将 玻璃罩12和固态摄像元件11的受光部lla粘合在一起。
在本实施方式中，在配线基板13上除安装有固态摄像元件11之外， 也可以在配线基板13上另外增设安装IC和芯片构件等。例如，可以增 设IC芯片以构成叠层结构。在这种情况下，固态摄像元件ll作为最上 层进行叠层。另外，配线基板13上还可以设置诸如DSP (digital signal processor:数字信号处理器)、用于根据程序进行各种演算处理的CPU、 用于存储上迷程序的ROM、用于存储各种处理步骤的数据等的RAM等 的电子构件，其中，DSP用于控制固态摄像元件U的动作并对固态摄 像元件11的输出信号进行处理。此时，通过各电子构件实施对相机模 块10的整体控制。
在本实施方式的相机模块10中，通过成型树脂14,对在配线基板 13上的上述各个构件进行封闭。换而言之，相机模块IO是所谓的CSP (Chip Scale Package:芯片级封装)的构造。即，在相机模块10中， 固态摄像元件11以及用于电连接固态摄像元件11和配线基板13的引 线15被成型树脂14所封闭。因此，相机模块IO是适用于超小型化， 超薄型化的结构。
此外，由于只对相机模块10的透光区域之外的区域进行成型树脂 14封闭。因此，玻璃罩12的表面并未覆盖成型树脂，光线可透射至固 态摄像元件11的受光部lla。
以下，对相机模块10的特征部分进行说明。相机模块10的最大特 点在于其玻璃罩12的侧面的形状。具体而言，相机模块10的玻璃罩12 的側面为凹凸形状。
通常，利用激光照射法裁切玻璃基板来形成相机模块的玻璃罩。这是由于激光具有较好的直线性，利用激光照射来实施玻璃的裁切时，所 形成的玻璃軍的形状安定，且在裁切时发生的粉尘量也少。但是，本发 明者探讨发现，激光照射形成的裁切面大致平坦(如后所迷)。在玻璃 罩的侧面为平坦的情况下，入射至玻璃軍侧面的耀斑光在坡璃侧面均一 地被反射(全反射)后，导致光集中到固态摄像元件的受光部。其结果， 导致在拍摄图像中发生耀斑和重影。由此，现有的相机模块不能充分防 止耀斑的发生。
对此，本实施方式的相机模块IO的玻璃罩12的侧面形成为凹凸形 状。由此，被玻璃罩反射后入射至固态摄像元件U的受光部lla的、 导致耀斑和重影发生的光(耀斑光)被该凹凸形状的侧面散射。从而， 可避免在受光部Ua收束有耀斑光。即，可减少耀斑光。从而，可有效 地抑制使得在拍摄图像上发生的耀斑和重影减轻到对实际使用无影响 的程度。
如上所述，通过使得相机模块10的玻璃罩12的侧面形成为凹凸形 状，入射至玻璃罩12的侧面的光被散射，从而，可减少玻璃罩12的侧 面的入射光经反射后入射至固态摄像元件11的受光部lla(摄像面)的 光的入射量。从而，可减低被玻璃罩12的侧面所反射的不要的耀斑光 线。
上述凹凸形状只要可以对入射至玻璃罩12的侧面的光进行散射即 可，并不特别限定。但是，优选的是该凹凸形状在玻璃罩12的侧面不 规则地形成。即，优选在玻璃罩12的侧面任意地形成无规则的凹凸形 状。由此，可使入射至玻璃罩12的侧面的光发生散射。从而，能够更 有效地确保防止被玻璃罩12的侧面反射后的光入射至固态摄像元件U 的受光部Ua。即，可更有效地减少被玻璃罩12的侧面反射后入射至固 态摄像元件11的受光部Ua的光(耀斑光)。
另外，对于该凹凸形状，优选在玻璃罩12的侧面形成的凸部的高 度为0.9pm以上5nm以下 由此，玻璃罩12的侧面的凹凸形状可有效 地散射耀斑光。从而，能够有效地抑制在拍摄图像中发生耀斑和重影9 在此，"凸部的高度"是指凹部的最低位置(谷)与凸部的最高位置(峰) 之间的距离。换而言之，此凸部的高度是TTV( Total Thickness Variation: 总厚度差)。
在此，在相机模块10中，可利用在玻璃罩12的側面形成的凹凸形状(换而言之，增大玻璃罩12的侧面的粗糙度)来抑制耀斑光的发生， 该耀斑是指通过玻璃罩12内部的光被玻璃罩12的侧面全反射(正反射) 后，投影在拍摄图像上形成的光斑。在几何光学中，根据经验法则导出 全反射条件。但是，在几何光学中，是以折射率变化的界面为光滑的镜 面作为前提。为了简单化，本实施方式的玻璃罩12的凹凸形状为玻璃 罩12的侧面(反射的界面)，并设定入射至玻璃罩12的侧面的光线为 直射光。由于在玻璃罩12上形成凹凸形状，近似于光线在反射的界面 附近发生散射(界面附近有妨碍光线直进的物体)，从而妨碍全反射。 即，玻璃軍12的凹凸形状成为在反射的界面附近对光线进行散射的散 光体。因此，在该凹凸形状成为大于波长的障碍物的条件下，可防止光 线的直进。
由于光的波长范围为360nm (0.36nm)至830nm (0.83nm),所以 将凸部的高度设为0.9pm以上，可以在玻璃罩12的侧面防止光线直进， 使得引起非选择性的散射。另外，当凸部的高度不足0.9nm时，由于米 氏散射(Mie scattering)、雷氏散射(Rayleigh scattering)，可能发生 分光、偏光的现象。
另外，当凸部的高度为0.9nm至5nm时，如后所述，易于对用于 裁切玻璃罩12的裁切刀片，(嵌入有极小的金刚石的如砂纸的工具)的 金刚石的颗粒直径进行设定。
另外，由于玻璃罩12的侧面的凹凸形状可使得耀斑光发生乱反射 (扩散散射)，因此，也可在考虑反射的本质条件(电磁学和量子力学) 的基础上来设定玻璃罩12的侧面的凹凸形状。
如上所述，本发明的相机模块10着眼于对玻璃罩12的侧面的形状 实施了防耀斑措施。即，玻璃罩12的侧面成为可对入射至该玻璃罩12 的侧面的光进行散射的凹凸形状。因此，入射至玻璃軍12的侧面的光 被玻璃罩12的侧面所散射。由此，可减少玻璃罩12的侧面的入射光被 该玻璃罩12的侧面反射后入射至固态摄像元件11的受光部lla。即， 可减少被玻璃罩12的侧面反射后入射至固态摄像元件11的受光部Ua 的光(耀斑光)。从而，可将在拍摄图像上的耀斑和重影减少到对实际 使用无影响的程度。
并且，只需要使玻璃罩12的侧面形成为凹凸形状，即可抑制耀斑 和重影的发生，因此，也可适用于固态摄像元件U的芯片尺寸缩小化。即，能够与固态摄像元件11的芯片尺寸无关地，提供已实施具有广泛
应用性的防耀斑措施的固态摄像装置10。
关于玻璃罩12的侧面的凹凸形状的形求方法，并不特别限制，例 如，可采用后述的裁切处理来形成。具体而言，通过裁切处理将玻璃基 板(透光性基板)裁切成多个玻璃罩12时，以通过裁切处理所形成的 裁切面作为玻璃罩12的侧面。通过裁切处理所形成的裁切面是相对粗 糙的表面，其与激光照射所形成的平坦裁切面不同。即，通过裁切处理 使得所形成的裁切面为凹凸形状。因此，可简单地形成如上所述的玻璃 罩12的凹凸形状。
另外，玻璃罩12的侧面的凹凸形状也可使用裁切处理以外的方法 来形成。例如，可通过蚀刻来形成凹凸形状，还可对激光照射所形成的 平坦的玻璃罩侧面施以化学处理来形成凹凸形状，也可通过锉、砂或金 刚石等的微粒的作用来形成凹凸形状。
另夕卜，对于玻璃罩的厚度，由于在側面的凹凸形状各不相同，所以， 并不特别限定。例如，只要在玻璃罩的侧面的凹凸为高密度的情况下， 入射至侧面的光线则易于被散射，因此，可以减小玻璃罩的厚度。
在相机模块10中，除了在玻璃罩12的侧面具有凹凸形状以外，其 它构造与现有的相机模块相同。因此，基本上可利用通常的制造步骤来 制造。即，对于相机模块10，除了使玻璃罩12的侧面形成为凹凸形状 的步骤以外，可以利用通常的相机模块制造方法(例如，日本国专利申 请公开特开2004-296453号公报所揭示的步骤)来制造。
在此，优选的是玻璃罩12形成为凹凸形状的凹凸形成步骤包括 通过裁切处理将玻璃基板裁切成多个玻璃罩12的裁切步骤，在上述裁 切步骤中，裁切透光性基板使得通过裁切处理所得到的裁切面形成为玻 璃罩12的侧面。在该裁切步骤中，通过裁切处理将1块玻璃基板裁切 成多个玻璃罩12。另外，在裁切步骤中，通过裁切处理所得到的裁切面 为玻璃罩12的侧面。
在此，通过裁切处理所形成的裁切面是粗糙的面，而不是如通过激 光照射所形成的平坦的面。由此，在裁切步骤中，以通过裁切处理所形 成的粗糙的面作为玻璃罩12的侧面。因此，在裁切步骤中的l个阶段， 既可由玻璃基板裁切形成多个玻璃軍12，也可在玻璃基板12的侧面形 成凹凸形状。另外，相机模块10也可通过下述方法来制造，即，形成晶圆并配 置使得侧面已形成凹凸形状的各玻璃罩12与各固态摄像元件11的受光 部lla对置，其中，该晶圆具有多个配线基板13和被安装于各配线基 板13的固态摄像元件11。
另外，也可以通过下述来形成凹凸，即，配置使得其形状相同于晶 圆的玻璃基板和固态摄像元件的受光部lla对置后，通过裁切处理来裁 切玻璃基板，形成各个玻璃罩12，并在各玻璃罩12的侧面形成凹凸形 状。另外，也可以通过裁切处理裁切晶圆来形成各摄像模块10。在此情 况下，能够通过同一步骤实施以下处理，即，通过裁切处理形成玻璃罩 12、在玻璃罩12的侧面形成凹凸形状以及从晶圆分割形成相机模块10。
在下述实施例中，利用侧面形成有凹凸形状的玻璃罩12和侧面为 平坦的现有技术的玻璃罩分别拍摄图像，并对各拍摄所形成的拍摄图像 中所发生耀斑进行了评价。
图2是表示本实施方式的耀斑评价方法的概念图。如图2所示，在 荧光灯下，视野角外的光入射至玻璃罩的側面，该入射光被玻璃罩的侧 面反射。由此，视野角外的光易于入射至固态摄像元件的受光部，从而 易于发生耀斑。在本实施例中，在易于发生耀斑的条件下所拍摄的拍摄 图像进行了比较。
图3是表示通过裁切处理所形成的玻璃罩的侧面的斜视图以及侧面 图。与此相比，图4是表示通过激光照射所形成的玻璃軍的侧面的斜视 图以及侧面图。
如图3所示，玻璃罩的侧面为通过裁切处理所形成的裁切面时，玻 璃罩的侧面形成有粗糙的凹凸形状。图3的斜视图的缩尺为50nm,可 知在该玻璃罩的侧面随机地形成了 5nm以下的凹凸形状。
另一方面，如图4所示，玻璃罩的侧面为通过激光照射所形成的裁 切面时，玻璃罩的侧面是平坦的。
图5是表示利用具有图3所示的玻璃罩的固态摄像装置所拍摄的图 像，图6是表示利用具有图4所示的玻璃罩的固态摄像装置所拍摄的图 像。在图5所示的拍摄图像中未发现光班，而在图6所示的拍摄图像的 上部发现有耀斑。其原因在于本发明使得从^f见野角外入射至玻璃罩側 面的视野角外的光被本发明的玻璃罩侧面反射后入射至固态摄像元件的受光部的光的量得到抑制。
根椐上述可知将玻璃罩的側面制成凹凸形状具有减小耀斑的作用。
如上所述，本发明的固态摄像装置的透光性构件的侧面形成为可使 入射至上述透光性构件的侧面的光发生散射的凹凸形状。因此，具有以 下效果，即，可将发生在拍摄图像上的耀斑和重影减少到对实际使用无 影响的程度。另外，还具有以下效果，即，能够提供已实施防耀斑措施 的固态摄像装置，其中，该防耀斑措施具有广范应用性，可应用于各种 固态摄像元件的芯片尺寸。
在本发明的固态摄像装置中，优选上述透光性构件的侧面形成有不 规则的凹凸形状。
根据上述发明，在透光性构件的侧面随机地形成有不规则的凹凸形 状。由此，能够使得入射至透光性构件的侧面的光发生乱反射。从而， 可更有效地减少通过透光性构件的侧面反射后的反射光入射至固态摄 像元件的受光部。即，可更有效地减少被透光性构件的侧面反射后入射 至固态摄像元件的受光部的光(耀斑光)。
在本发明的固态摄像装置中，在上述透光性构件的侧面所形成的凸 部的高度优选为0.9nm以上5nm以下。
根据上述发明，透光性构件的侧面形成有高度为0.9pm至5pm的 凸部。因此，能够可靠地使入射至透光性构件的侧面的光发生散射。从 而，可以更有效地抑制在拍摄图像中的耀斑和重影的发生。
凸部的高度是指凹部的最低位置(谷)和凸部的最高位置(峰)之 间的距离。换而言之，该凸部的高度为TTV(Total Thickness Variation),
在本发明的固态摄像装置中，上述透光性构件的凹凸形状优选是通 过裁切处理所裁切形成的裁切面。
通过裁切处理所裁切形成的裁切面是粗糙的表面，而不是通过激光 照射所形成的平坦的裁切面。根据上迷发明，如上所述地通过裁切处理 所裁切形成的粗糙的表面为透光性构件的侧面的凹凸形状。因此，能够 提供可简单地形成具有透光性构件的固态摄像装置，其中，该透光性构 件具备防耀斑及防重影的凹凸形状。
在本发明的固态摄像装置中，优选的是，上述透光性构件通过粘合 层被设置在上述固态摄像元件上。根据上述发明，因为透光性构件通过粘合层被设置在固态摄像元件 上，所以，可提供薄型的固态摄像装置。
在本发明的固态摄像装置的制造方法中，该固态摄像装置包括固态 摄像元件和透光性构件，上述固态摄像元件被安装在基板上，上述透光 性构件与上述固态摄像元件的受光部对置，并且，在上述固态摄像元件 和上述透光性构件之间保持有间隔，本发明的固态摄像装置制造方法的
特征在于，包括在上述透光性构件的侧面形成凹凸的凹凸形成步骤。
根据上述发明，制造固态摄像装置时，利用了侧面为凹凸形状的透 光性构件。因此，入射至透光性构件的侧面的光将被透光性构件的侧面 的凹凸形状所散射。由此，可更有效地减少被透光性构件的侧面反射后 的光入射至固态摄像元件的受光部。即，可更有效地减少被透光性构件 的侧面反射后入射至固态摄像元件的受光部的光(耀斑光)。从而，可 将在拍摄图像上的耀斑和重影减少到对实际使用无影响的程度。
并且，根据上述方法，只需将透光性构件的侧面加工成凹凸形状， 即可减少耀斑和重影的发生，由此，也能够适用于固态摄像元件的芯片 大小的缩小化。即，能够制造已实施防耀斑和防重影措施的固态摄像装 置，其中，该防耀斑和防重影措施具有广范应用性，可应用于各种固态 摄像元件的芯片尺寸。
在本发明的固态摄像装置的制造方法中，优选的是，上述凹凸形成 步骤包括裁切步骤，在该裁切步骤中通过裁切处理对透光性基板进行裁 切从而形成多个透光性构件；并且，在上述裁切步骤中通过裁切处理所 得到的裁切面为透光性构件的侧面。
根据上述发明，在裁切步骤中，通过裁切处理将1块透光性基板裁 切形成多个透光性构件。另外，在裁切步骤中，通过裁切处理所形成的 裁切面为透光性构件的侧面。
在此，通过裁切处理所裁切形成的裁切面是粗糙的表面，而不是通 过激光照射所形成的平坦的裁切面。根据上述发明，以通过裁切处理形 成的粗糙的裁切面作为透光性构件的侧面。因此，在裁切步骤的1阶段 中，可以同时在玻璃基板形成多个透光性构件，在透光性构件的侧面形 成的凹凸形状。
本发明作为防耀斑措施可应用于诸如具备摄像功能的便携式电话、 数字静态照相机、监视用摄像机、便携式电话用/车栽用/内部通信用的摄像机等各种的摄像装置(电子设备)。另外，根据本发明，可有效防 止各种摄像装置的耀斑，并且不妨碍装置的小型化。
本发明并不限于上迷各实施方式，可以根据本发明请求保护的技术 方案所示的范围进行各种变化，适当地组合不同实施方式记述的技术手 段而得到的实施方式也包含于本发明的技术范围之内。
以上，对本发明进行了详细的说明，上述具体实施方式
或实施例仅 仅是揭示本发明的技术内容的示例，本发明并不限于上述具体示例，不 应对本发明进行狭义的解释，可在本发明的精神和本发明请求保护的技 术方案的范围内进行各种变更来实施之。
权利要求
1. 一种固态摄像装置，包括固态摄像元件和透光性构件，其中，上述固态摄像元件被安装在基板上，上述透光性构件与上述固态摄像元件的受光部对置，并且在上述固态摄像元件和上述透光性构件之间保持有间隔，该固态摄像装置的特征在于上述透光性构件的侧面形成为凹凸形状，使得该透光性构件的侧面的入射光发生散射。
2. 根椐权利要求1所述的固态摄像装置，其特征在于 在上述透光性构件的侧面形成有不规则的凹凸形状。
3. 根据权利要求1所述的固态摄像装置，其特征在于 在上述透光性构件的侧面形成的凸部的高度为0.9pm以上5pm以下。
4. 根据权利要求1所述的固态摄像装置，其特征在于 上述透光性构件的凹凸形状由裁切面构成，该裁切面是通过裁切处理所得到的面。
5. 根据权利要求1所述的固态摄像装置，其特征在于 上述透光性构件设置在上述固态摄像元件上，并且在上述透光性构件与上述固态摄像元件之间形成有粘合层。
6. —种固态摄像装置制造方法，其中，该固态摄像装置包括固态 摄像元件和透光性构件，上述固态摄像元件被安装在基板上，上述透光 性构件与上迷固态摄像元件的受光部对置，并且，在上述固态摄像元件 和上述透光性构件之间保持有间隔，该固态摄像装置制造方法的特征在 于，包括在上述透光性构件的侧面形成凹凸的凹凸形成步骤。
7. 根据权利要求6所述的固态摄像装置制造方法，其特征在于 上述凹凸形成步骤包括裁切步骤，在该裁切步骤中通过裁切处理对透光性基板进行裁切从而形成多个透光性构件；并且，在上述裁切步骤中通过裁切处理所得到的裁切面为透光性构 件的侧面。
8. —种电子设备，其特征在于具备固态摄像装置，其中，该固态摄像装置包括固态摄像元件和透 光性构件，上述固态摄像元件被安装在基板上，上述透光性构件与上述固态摄像元件的受光部对置，并且，在上述固态摄像元件和上述透光性 构件之间保持有间隔，上述透光性构件的侧面形成为凹凸形状，使得该 透光性构件的侧面的入射光发生散射。
全文摘要
本发明涉及固态摄像装置及其制造方法和电子设备。相机模块(10)包括玻璃罩(12)，玻璃罩(12)覆盖固态摄像元件(11)的受光部(11a)。玻璃罩(12)的侧面形成为凹凸形状，通过使得玻璃罩(12)的侧面的入射光发生散射来减少耀斑光。由此，本发明能够提供一种采取了具有广泛应用性的防耀斑措施并能适用于固态摄像元件的芯片缩小化的相机模块(10)。
文档编号H04N5/335GK101435905SQ20081017333
公开日2009年5月20日 申请日期2008年11月13日 优先权日2007年11月13日
发明者寺田启二 申请人:夏普株式会社