专利名称：Mems电容麦克风的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种MEMS麦克风，尤其涉及一种应用在手机等便携 式消费性电子产品上的MEMS麦克风。
背景技术：
随着无线通讯的发展，全球移动电话用户越来越多，用户对移动电话 的要求已不仅满足于通话，而且要能够提供高质量的通话效果，尤其是目 前移动多媒体技术的发展，移动电话的通话质量更显重要，移动电话的麦 克风作为移动电话的语音拾取装置，其设计好坏直接影响通话质量。
而目前应用较多且性能较好的麦克风是微电机系统麦克风 (Micro-Electro-Mechanical-System Microphone, 简称MEMS ),其封装体 积比传统的驻极体麦克风小。
与本发明相关的MEMS麦克风中，振膜的形状为圆形。这种MEMS 麦克风振膜盈利应力打，灵敏度低。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题在于提供一种灵敏度好的MEMS电容麦 克风。
为解决上述技术问题，本实用新型提供的技术方案为
一种MEMS电容麦克风，包括基底、平行于基底的背板、与背板相对 形成电容效应的振膜，所述振膜包括固定部和与固定部连接的振动部，在 所述振膜的中心设置有孔，自该孔向振膜的固定部方向设置有至少两个 槽，所述槽与所述孔相通。
优选的，所述槽关于振膜的中心对称
优选的，所述槽的个数为大于或等于3个。
优选的，所述孔和所述槽未穿透振膜且其深度是所述振膜厚度的一半。
优选的，所述孔和所述槽贯通所述振膜。 优选的，所述槽延伸至所述振膜的固定部。 优选的，所述振膜为圓形。 优选的，所述振膜为矩形。 优选的，所述振膜为椭圆形。
本实用新型的有益效果在于由于在所述振膜的中心设置有孔，自该 孔向振膜的固定部方向设置有至少两个槽，槽与孔相通，所以槽将振膜分 成若干部分，振膜的若干部分仅受到单方向约束，这样加工残余应力获得 有效释放，提高了振膜的灵敏度。。
图1是本实用新型提供一个实施例的MEMS电容麦克风的剖视图2是本实用新型提供的一个实施例的MEMS电容麦克风振膜的平面图。
具体实施方式
以下结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。 . 本实用新型提供的MEMS麦克风1,主要用于手机上，接受声音并将 声音转化为电信号。本实用新型提供的发明是通过在振膜上设置振膜扇片 来达到提高麦克风的低频特性的效果。
参见图1, 本实用新型提供的MEMS麦克风1包括基底10、置于基 底10上的背板12、与背板12相连接的支撑层11、与背板12相对并通过 支撑层11相连的振膜13,该振膜13包括与支撑层11相连的固定部131 和与固定部131相连的振动部132,背板12上设置有背板孔121,背板 12和振膜13之间留有空气隙15。在本实用新型提供的实施例中，振膜 13的固定部131和振动部132是一体成型的。
当然，振膜13与背板12的位置关系不限于图1中所示的方式。也可 以是振膜13位于背板12与基底10之间；同样，图1中的支撑层也不是 必须的。只要振膜13与背板12能够形成电容器就可以。
在本发明提供的一个实施例中，参见图2，在振膜13的中心开设有孔l4,自该孔14向振膜13的固定部131方向^:置有6个槽15，槽15与 孔14相通且槽15关于振膜13的中心对称，即关于孔14对称。也就是说， 槽15将振膜13等分。
在本发明提供的实施例中，振膜13为圆形，但实际上，振膜13不限 于圆形，也可以是矩形或者三角形、椭圆形等。
槽15的个数最少为2个，槽15关于振膜13的中心对称。
孔14和槽15可以是通孔和通槽，即贯通整个振膜13，也可以不贯通 整个振膜13。孔14和槽15的厚度和高度可以是振膜13厚度的一半，也 可以是振膜13厚度的1/3等。
槽15可以延伸至振膜13的固定部131，也可以延伸至振膜13的振动 部132。
以上所述的仅是本实用新型的实施方式，在此应当指出，对于本领域 的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做 出改进，但这些均属于本实用新型的保护范围。
权利要求1、一种MEMS电容麦克风，包括基底、平行于基底的背板、与背板相对形成电容效应的振膜，所述振膜包括固定部和与固定部连接的振动部，其特征在于在所述振膜的中心设置有孔，自该孔向振膜的固定部方向设置有至少两个槽，所述槽与所述孔相通。
2、 根据权利要求1所述的MEMS电容麦克风，其特征在于所述槽关 于振膜的中心对称
3、 根据权利要求1所述的MEMS电容麦克风，其特征在于所述槽的 个数为大于或等于3个。
4、 才艮据权利要求1所述的MEMS电容麦克风，其特征在于所述孔和 所述槽未穿透振膜且其深度是所述振膜厚度的 一 半。
5、 根据权利要求1所述的MEMS电容麦克风，其特征在于所述孔和所述槽贯通所述振膜。
6、 根据权利要求1或2或3或4或5所述的MEMS电容麦克风，其特 征在于所述槽延伸至所述振膜的固定部。
7、 根据权利要求1所述的MEMS电容麦克风，其特征在于所述振膜 为圓形。
8、 根据权利要求1所述的MEMS电容麦克风，其特征在于所述振膜 为矩形。
9、 根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于所述振膜为椭 圆形。
专利摘要本实用新型提供了一种MEMS电容麦克风，包括基底、平行于基底的背板、与背板相对形成电容效应的振膜，所述振膜包括固定部和与固定部连接的振动部，在所述振膜的中心设置有孔，自该孔向振膜的固定部方向设置有至少两个槽，所述槽与所述孔相通。该种麦克风灵敏度好。
文档编号H04R19/04GK201403199SQ20092013593
公开日2010年2月10日 申请日期2009年3月27日 优先权日2009年3月27日
发明者睿 张 申请人:瑞声声学科技(常州)有限公司;瑞声声学科技(深圳)有限公司