专利名称：硅基电容麦克风的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种硅基电容麦克风，尤其涉及一种应用在手机等便 携式消费性电子产品上的硅基电容麦克风。
背景技术：
随着无线通讯的发展，全球移动电话用户越来越多，用户对移动电话 的要求已不仅满足于通话，而且要能够提供高质量的通话效果，尤其是目 前移动多媒体技术的发展，移动电话的通话质量更显重要，移动电话的麦 克风作为移动电话的语音拾取装置，其设计好坏直接影响通话质量。
而目前应用较多且性能较好的麦克风是微电机系统麦克风
(Micro-Electro-Mechanical-System Microphone, 简称MEMS ),其封装体 积比传统的驻极体麦克风小。
与本发明相关的硅基电容麦克风中，振膜的形状为齿轮形状。这种硅 基电容麦克风振膜滑膜阻尼小，低频效应差。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题在于提供一种低频效应好的硅基电容 麦克风。
为解决上述技术问题，本实用新型提供的技术方案为 一种硅基电容麦克风，包括基底、平行于基底的背板、与背板相对形 成电容效应的振膜，该振膜包括固定部和与固定部相连的振动部，在所述 振膜上设置有至少两个贯通所述振膜的振膜扇片，所述振膜扇片包括第一 端部、第二端部以及连接第一端部和第二端部的连接部，所述第一端部和 第二端部分别自振膜的振动部延伸至振膜的固定部。 优选的，该振膜扇片关于所述振膜的中心对称。优选的，所述振膜扇片的形状为"几"字形。 优选的，所述振膜为圆形。 优选的，所述振膜为矩形。 优选的，所述振膜为椭圆形。
本实用新型的有益效果在于由于在振膜上设置有振膜扇片，所述振 膜扇片包括第一端部、第二端部以及连接第一端部和第二端部的连接部， 所述第一端部和第二端部分别跨越振膜的固定部和振动部，所以在加工过 程中，不受对位精度的影响，可以提高加工精度，使得振膜滑膜阻尼增大， 提高麦克风的低频特性。
图1是本实用新型提供一个实施例的硅基电容麦克风的剖视图2是本实用新型提供的一个实施例的硅基电容麦克风振膜的平面图。
具体实施方式
以下结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。
本实用新型提供的硅基电容麦克风1，主要用于手机上，接受声音并 将声音转化为电信号。本实用新型提供的发明是通过在振膜上设置振膜扇 片来达到提高麦克风的低频特性的效果。
参见图1，本实用新型提供的硅基电容麦克风1包括基底IO、置于基 底10上的背板12、与背板12相连接的支撑层11、与背板12相对并通过 支撑层11相连的振膜13，该振膜13包括与支撑层11相连的固定部131 和与固定部131相连的振动部132,背板12上设置有背板孔121,背板 12和振膜13之间留有空气隙15。在本实用新型提供的实施例中，振膜 13的固定部131和振动部132是一体成型的。
当然，振膜13与背板12的位置关系不限于图1中所示的方式。也可 以是振膜13位于背板12与基底IO之间；同样，图1中的支撑层也不是 必须的。只要振膜13与背板12能够形成电容器就可以。
参见图1和图2,振膜13为圆形，振膜13上设置有4个贯通振膜13 的振膜扇片14,该振膜扇片14关于振膜13的中心对称，即该4个振膜扇片14等分了振膜13;振膜扇片14包括第一端部141、第二端部142以 及连接第一端部141和第二端部142的连接部143，第一端部141和第二 端部142分别3夸越纟展膜13的固定部131和振动部132,即第一端部141 和第二端部142是分别自振膜13的振动部132延伸至振膜13的固定部 131，使得振膜扇片14呈现"几"字形状。
虽然本实用新型提供的实施例冲，振膜扇片14是4个，但实际上， 振膜扇片可以是2个、3个、或5个或更多，只要振膜扇片14能关于振 膜13的中心对称即可。
振膜13不限于圆形，也可以是矩形、三角形、椭圓形等。
在本实用新型提供的实施例中，振膜扇片14呈现"几"字形状，但 实际上，振膜扇片14的形状不限于此。只要满足第一端部141和第二端 部142分别很快振膜13的固定部131和振动部132，连接部143将第一 端部141和第二端部142连4妄起来即可。
以上所述的仅是本实用新型的实施方式，在此应当指出，对于本领域 的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做 出改进，但这些均属于本实用新型的保护范围。
权利要求1、一种硅基电容麦克风，包括基底、平行于基底的背板、与背板相对形成电容效应的振膜，该振膜包括固定部和与固定部相连的振动部，其特征在于在所述振膜上设置有至少两个贯通所述振膜的振膜扇片，所述振膜扇片包括第一端部、第二端部以及连接第一端部和第二端部的连接部，所述第一端部和第二端部分别自振膜的振动部延伸至振膜的固定部。
2、 根据权利要求1所述的硅基电容麦克风，其特征在于该振膜扇 片关于所述振膜的中心对称。
3、 根据权利要求1所述的硅基电容麦克风，其特征在于所述振膜 扇片的形状为"几"字形。
4、 根据权利要求1所述的硅基电容麦克风，其特征在于所述振膜 为圓形。
5、 根据权利要求1所述的硅基电容麦克风，其特征在于所述振膜 为矩形。
6、 根据权利要求1所述的硅基电容麦克风，其特征在于所述振膜 为椭圆形。
专利摘要本实用新型提供了一种硅基电容麦克风，包括基底、平行于基底的背板、与背板相对形成电容效应的振膜，该振膜包括固定部和与固定部相连的振动部，在所述振膜上设置有至少两个贯通所述振膜的振膜扇片，所述振膜扇片包括第一端部、第二端部以及连接第一端部和第二端部的连接部，所述第一端部和第二端部分别自振膜的振动部延伸至振膜的固定部。该种麦克风能提高麦克风的低频特性。
文档编号H04R7/04GK201403201SQ200920135949
公开日2010年2月10日 申请日期2009年3月27日 优先权日2009年3月27日
发明者睿 张, 舟 葛 申请人:瑞声声学科技(常州)有限公司;瑞声声学科技(深圳)有限公司