一种电容式麦克风芯片的制作方法

文档序号:11863153阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及一种电容式麦克风芯片,包括具有背腔的衬底,在所述衬底上设有位于背腔上方的背极、振膜;其中,所述振膜通过弹性部支撑在所述衬底上,该弹性部沿着与振膜垂直的方向延伸;所述背极、振膜之间具有间隙,二者构成了电容结构。本实用新型的电容式麦克风芯片,通过弹性部在竖直方向上将振膜支撑起来,在腐蚀牺牲层释放振膜的时候可以减小振膜的膜内应力;通过该弹性部还提高了振膜在竖直方向上的振动能力,从而提高了产品的灵敏度;通过设置的弹性部,还可以减少外界气压对振膜的冲击力,提高了振膜抗吹气的能力。

技术研发人员:解士翔
受保护的技术使用者:歌尔股份有限公司
文档号码:201620450092
技术研发日:2016.05.17
技术公布日:2016.11.30

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