为根据另一示例性实施方式的电声转换器的元件610的平面图。参照图 11B，构成一个元件610的多个单元611被布置成二维阵列，单元611可与图11A的六 边形布置不同的方式成六边形地布置。为了实现具有宽带频率特性的元件610,单元611中 的至少一个包括沟槽630。在此情况下，多个单元611中的至少两个单元611可W包括不同 的相应数量的沟槽630。具有不同频率特性的单元611的位置可W被不同地修改。虽然单 元611可W具有相同的尺寸，但是本示例性实施方式不限于此。虽然在上述示例性实施方 式中，单元被布置成正方形阵列或者六边形阵列，但是单元可W被布置成各种形状中的任 一种或多种。
[0061] 如上所述，在根据W上示例性实施方式的电声转换器中，构成一个元件的单元中 的至少一个可W包括形成在膜中的沟槽。具有不同频率特性的单元可W通过改变形成在膜 中的沟槽的数量、尺寸、形状和位置中的任一种或多种而制成。因此，具有宽带频率特性的 元件可W通过结合如上制成的单元而实现。包括具有宽带频率特性的元件的电声转换器可 W被应用于配置为执行不同类型的超声信号采集方法（相应于不同类型的图像，诸如B-模 式图像、多普勒图像、谐波图像、W及光声图像）中的任一种或多种的超声设备，或者可W 被应用于涵盖具有不同尺寸和深度的各种器官诸如例如腹部、也脏、W及甲状腺的诊断的 超声设备领域。
[0062] 在W上描述中，虽然电声转换器被描述作为电容式微加工的电声转换器的示例， 但是电声转换器可W被应用于其中多个单元构成一个元件并且所述单元中的至少一个包 括形成在膜中的沟槽的所有类型的电声转换器。
[0063] 应该理解，该里描述的示例性实施方式应当仅W说明性的意义而非限制的目的考 虑。每个示例性实施方式中的特征或方面的描述应该通常认为适用于其它实施方式中的其 它类似特征或方面。
[0064] 虽然已经参照附图描述了一个或多个示例性实施方式，但是本领域的普通技术人 员将理解，其中可W进行形式和细节上的各种变化而不背离如权利要求中限定的本发明构 思的精神和范围。
[0065] 本申请要求2014年1月29日提交至韩国知识产权局的韩国专利申请 No. 10-2014-0011738的优先权，其公开通过整体引用结合于此。
【主权项】
1. 一种电声转换器，包括多个元件，其中所述多个元件中的每个包括多个单元，所述多 个单元中的至少一个单元包括形成在膜中的沟槽。
2. 根据权利要求1所述的电声转换器，其中所述多个元件中的每个具有第一频带，所 述第一频带比构成相应元件的所述多个单元中的每个的相应频带宽。
3.根据权利要求1所述的电声转换器，其中对于所述多个元件中的每个，所述多个单 元中的包括所述沟槽的所述至少一个单元的频率特性基于所述沟槽的数量、形状、尺寸和 位置当中的至少一种而改变。
4.根据权利要求1所述的电声转换器，其中对于所述多个元件中的每个，所述多个单 元中的至少两个单元包括不同数量的沟槽。
5.根据权利要求1所述的电声转换器，其中对于所述多个元件中的每个，所述沟槽的 平面形状包括圆形和多边形当中的至少一种。
6. 根据权利要求1所述的电声转换器，其中对于所述多个元件中的每个，所述沟槽的 截面形状包括矩形、三角形和半圆形当中的至少一种。
7.根据权利要求1所述的电声转换器，其中对于所述多个元件中的每个，所述膜包括 硅。
8. 根据权利要求1所述的电声转换器，其中所述多个元件布置成相应的二维布置，所 述多个单元布置成相应的二维布置。
9.根据权利要求1所述的电声转换器，其中对于所述多个元件中的每个，所述多个单 元中的每个具有相同的尺寸。
10. 根据权利要求1所述的电声转换器，其中所述多个单元中的每个包括： 衬底； 支撑件，设置在所述衬底上并且包括腔； 所述膜，配置为覆盖所述腔；以及 电极，设置在所述膜的上表面上。
11. 一种电声转换器的元件,所述元件包括： 多个单元，包括第一单元和第二单元， 其中所述第一单元和所述第二单元具有相同的尺寸，以及 其中所述第一单元的频率特性不同于所述第二单元的频率特性。
12. 根据权利要求11所述的元件，其中所述第一单元和所述第二单元中的每个包括相 应的膜，其中所述第一单元和所述第二单元当中的至少一个包括沟槽，所述沟槽形成在相 应的膜的上表面和下表面当中的至少一个中。
13.根据权利要求12所述的元件，其中包括所述沟槽的所述第一单元和所述第二单元 当中的所述至少一个的频率特性基于所述沟槽的数量、形状、尺寸和位置当中的至少一种 而改变。
14.根据权利要求12所述的元件，其中所述第一单元和所述第二单元包括不同数量的 沟槽。
15.根据权利要求12所述的元件，其中所述沟槽的平面形状包括圆形和多边形当中的 至少一种。
16.根据权利要求12所述的元件，其中所述沟槽的截面形状包括矩形、三角形和半圆 形当中的至少一种。
17. 根据权利要求12所述的元件，其中所述膜包括硅。
18. 根据权利要求11所述的元件，其中所述元件具有第一频带，所述第一频带比构成 所述元件的所述多个单元中的每个的相应频带宽。
19. 根据权利要求11所述的元件，其中所述多个单元被布置成二维布置。
20. 根据权利要求11所述的元件，其中所述多个单元中的每个包括： 衬底； 支撑件，设置在所述衬底上并且包括腔； 膜，配置为覆盖所述腔；以及 电极，设置在所述膜的上表面上。
21. -种电声转换器，包括多个元件，其中所述多个元件中的每个包括多个单元，其中， 对于所述多个元件中的每个，所述多个单元中的每个包括： 衬底； 支撑件，设置在所述衬底上并且包括腔； 膜，配置为覆盖所述腔；以及 电极，设置在所述膜的上表面上，并且 其中，对于所述多个元件中的每个，所述多个单元中的至少一个包括形成在所述膜中 的沟槽。
22. -种构造电声转换器的方法，包括： 将第一多个单元布置成二维阵列以形成第一元件； 将至少第二多个单元布置成二维阵列以形成至少第二元件；以及 将所述第一元件和所述至少第二元件布置成二维阵列， 其中所述第一多个单元中的至少一个包括形成在膜中的至少一个沟槽，所述至少第二 多个单元中的至少一个包括形成在膜中的至少一个沟槽。
23. 根据权利要求22所述的方法，其中所述第一多个单元中的所述至少一个的频率特 性基于所述至少一个沟槽的数量、形状、尺寸和位置当中的至少一种而改变，所述至少第二 多个单元中的所述至少一个的频率特性基于所述至少一个沟槽的数量、形状、尺寸和位置 当中的至少一种而改变。
24. 根据权利要求22所述的方法，其中所述第一多个单元中的至少两个单元包括不同 数量的沟槽，其中所述至少第二多个单元中的至少两个单元包括不同数量的沟槽。
25. 根据权利要求22所述的方法，其中对于所述第一多个单元，所述至少一个沟槽的 平面形状包括圆形和多边形当中的至少一种，对于所述至少第二多个单元，所述至少一个 沟槽的平面形状包括圆形和多边形当中的至少一种。
26. 根据权利要求22所述的方法，其中对于所述第一多个单元，所述至少一个沟槽的 截面形状包括矩形、三角形和半圆形当中的至少一种，对于所述至少第二多个单元，所述至 少一个沟槽的截面形状包括矩形、三角形和半圆形当中的至少一种。
【专利摘要】本发明提供一种电声转换器，该电声转换器包括多个元件，其中多个元件中的每个包括多个单元，多个单元中的至少一个包括形成在膜中的沟槽。
【IPC分类】H04R9-06, H04R9-02
【公开号】CN104811872
【申请号】CN201410472282
【发明人】姜诚赞, 金东均, 朴相河, 金钟硕, 尹容燮
【申请人】三星电子株式会社
【公开日】2015年7月29日
【申请日】2014年9月16日
【公告号】EP2902117A2, US20150215705