时，优选每S个单位设定目标 波长。
[0180] 例如，对静电致动器56施加规定的驱动电压V时，在属于上述区域Al的各摄像像 素122A的受光波长约为630nm、属于区域A2的各摄像像素122A的受光波长约为620nm、属 于上述区域A3的各摄像像素122A的受光波长约为610皿时，设定运些区域Al、A2、A3的目 标波长为620nm。目P，对静电致动器56施加驱动电压V时，光谱测定部154在运些区域AU A2、A3将目标波长620nm作为接收的波长进行处理。实际的受光波长和目标波长产生IOnm W下的范围的误差，小于波长分辨率的一半值，能够抑制对测定精度的影响。而且，在属于 区域A1、A2、A3的各摄像像素122A产生20nm W下的受光波长的偏差，但是由于小于波长分 辨率的值，因此能够抑制对测定精度的影响。 阳181] 另外，在上述例子中，示出了根据与摄像部122的各摄像像素122A对应的反射膜 54、55间的间隙尺寸的偏差，W波长分辨率的一半值为单位分割为多个区域、且每=单位在 各区域设定目标波长的例子，然而并不限定于此。 阳182] 例如，可W根据与摄像部122的各摄像像素122A对应的反射膜54、55间的间隙尺 寸的偏差，W波长分辨率为单位分割为多个区域，对各区域分别设定不同的目标波长。
[0183] 而且，在图8的例子中，示出了由于基于可动部521的位移的晓曲而从可动部521 的中屯、位置向直径方向产生间隙尺寸的偏差，因此根据从摄像部122的重屯、位置的摄像像 素122A(摄像像素a)起算的距离而分割区域的例子，然而并不限定于此。间隙尺寸的偏差 例如也由于制造时的微小的厚度尺寸的偏差等而产生。此时，例如可W在区域A2内的一部 分包含区域Al等。
[0184] 在本实施方式中，摄像部122根据在各摄像像素122A接收的光的光路上的反射膜 54、55间的间隙尺寸的偏差，分割为多个区域（像素群）。然后，受光波长数据对各区域分 别记录目标波长、W及接收目标波长的光时的静电致动器56的控制量（驱动电压）。 阳化5] 在各区域所含的各摄像像素122A中，接收大致同一波长的光。特别地如上所述， 在W小于波长分辨率为单位分割区域时，即使产生受光波长的偏差，对测定精度也不产生 影响。通过对运样的各区域分别设定目标波长及其取得次数，与例如对全部摄像像素122A 设定目标波长及其取得次数的情况相比，目标波长W及取得次数的设定数减少。因而，由于 受光波长数据的数据结构也能够进一步简化，滤波控制部153的静电致动器56的驱动量和 测定次数也能够减少，因此能够实现进一步的处理的迅速化。
[0186] 第四实施方式 阳187] 接着根据附图对本发明的第四实施方式进行说明。
[0188] 在上述第S实施方式中，根据反射膜54、55间的间隙尺寸的偏差，设定将与偏差 是同程度的间隙尺寸相对应的摄像像素122A汇集后的像素群。对此与此相对，在第四实施 方式中与上述第=实施方式不同之处在于，在摄像部122中，使相互接近的多个摄像像素 122A成为像素群。
[0189] 图9是示出第四实施方式中的透过波长可变干设滤波器的光的波长分布、摄像图 像的图像范围W及生成的合成图像的图。
[0190] 如图9所示，在本实施方式中，使相互接近的纵2X横2的摄像像素122A(图9中 的摄像像素a、b、c、d)成为一个像素群。在此，在下表5中示出对波长可变干设滤波器5的 静电致动器56施加规定的驱动电压V时，在各摄像像素a、b、C、d中接收的光的波长的一 个例子。
[0191]表 5 阳192]
阳193] 另一方面，在受光波长数据中，对运些摄像像素a、b、C、d的像素群设定受光波长 的平均值（表5所示的例子中为661nm)为目标波长。
[0194]目P，在受光波长数据中，对摄像像素a、b、c、d记录有控制量V中的目标波长661nm。 因此，在对静电致动器56施加驱动电压V时，光谱测定部154处理为在摄像像素a、b、C、d 接收66 Inm的波长的光。 阳1巧]而且，如图9所示，图像处理部155将针对摄像像素a、b、C、d的图像像素置换为 一个图像像素A'并生成分光图像。 阳196] 另外，在上述例子中，使纵2X横2的接近的四个摄像像素122A成为一个像素群， 然而并不限定于此。例如，可W使作为中屯、的摄像像素122A和包围其外周的8个摄像像素 122A成为一个像素群，可W使邻接的两个摄像像素122A成为一个像素群。 阳197]在本实施方式中，使接近的多个摄像像素122A成为一个像素群，分割摄像部122 的各摄像像素122A。然后，记录属于该像素群的摄像像素中的受光波长的平均值，作为在受 光波长数据中记录的针对被分割的各像素群的目标波长。在运样的构成中，在相互接近的 摄像像素122A中，对应的间隙尺寸的偏差减小，受光波长的偏差也减小。因而，通过使运些 摄像像素122A成为一个像素群，受光波长数据的数据结构也进一步简化，基于滤波控制部 153的静电致动器56的驱动量和测定次数也能够减少，能够实现处理的迅速化。
[0198]其他实施方式 阳199]另外，本发明并不限定于上述实施方式，在能够达成本发明目的的范围内的变形、 改良等是包含于本发明。 阳200] 在上述各实施方式中，示出了利用从波长可变干设滤波器5射出的光中的一次峰 值波长的光、或者二次峰值波长的光取得目标波长的光的光量的例子，然而并不限定于此。 例如，可W利用从波长可变干设滤波器5射出的=次W上的峰值波长的光取得目标波长的 光。作为取得次数的设定能够根据反射膜54、55间的初始间隙尺寸、取得对象波长带进行 适当设定。 阳201] 在上述各实施方式中，W按照接近初始间隙尺寸的顺序（间隙尺寸从大到小的顺 序）静电致动器56的驱动量减少的方式，设定用于在各摄像像素接收目标波长的取得次数 W及控制量。与此相对，例如也可W，W远离初始间隙尺寸的顺序（间隙尺寸从小到大的顺 序），设定用于在各摄像像素接收目标波长的取得次数W及控制量。 阳202] 在上述各实施方式中，作为分光滤波器，例示了波长可变干设滤波器5,然而并不 限定于此。作为分光滤波器只要是可W面分光的滤波器，则可W使用任何滤波器，例如可 W使用 AOTE(Acousto-Optic Tun油IeFilter :声光可调滤波器）或 LCTF(Xiquidcrystal tun油Iefilters :液晶可调滤波器）等。 阳203]而且，作为波长可变干设滤波器5,例示了使与间隙Gl的尺寸对应的光透过的光 透过型的标准具元件，然而并不限定于此，可W使用使与间隙Gl的尺寸对应的光反射的光 反射型的标准具元件。
[0204]另外，本发明实施时的具体构造在能够达成本发明目的的范围内可W适当变更为 其他构造等。
【主权项】
1. 一种分光图像取得装置，其特征在于， 具备： 波长可变干涉滤波器，具有彼此相对的一对反射膜和变更所述一对反射膜间的间隙尺 寸的间隙变更部，射出与多个次数对应的波长的光； 摄像部，具有多个摄像像素，接收从所述波长可变干涉滤波器射出的光；以及 滤波控制部，根据包含多个所述摄像像素各自接收规定的目标波长的光时的所述间隙 变更部的控制量的受光波长数据，控制所述间隙变更部而使所述间隙尺寸变化， 所述受光波长数据包含对多个所述摄像像素分别设定的、使所述目标波长从所述波长 可变干涉滤波器射出时的取得次数，以及用于使所述目标波长的光以设定的所述取得次数 射出的所述控制量， 以所述间隙尺寸的驱动量沿一个方向变化的顺序设定所述取得次数。2. 根据权利要求1所述的分光图像取得装置，其特征在于， 对多个所述摄像像素分别设定所述目标波长。3. 根据权利要求1所述的分光图像取得装置，其特征在于， 多个所述摄像像素根据在所述摄像像素接收的光的光路上的所述一对反射膜间的所 述间隙尺寸的偏差被分别分割为多个像素群， 所述受光波长数据针对各个所述像素群分别包含所述目标波长、和接收所述目标波长 的光时的所述间隙变更部的控制量。4. 根据权利要求3所述的分光图像取得装置，其特征在于， 所述滤波控制部控制所述间隙变更部，使所述间隙尺寸以与规定的波长分辨率对应的 测定间隔依次变化， 多个所述摄像像素被分别分割为所述间隙尺寸的偏差按小于所述波长分辨率的长度 单位分割的多个所述像素群。5. 根据权利要求3所述的分光图像取得装置，其特征在于， 多个所述像素群分别包含相互接近的多个摄像像素， 所述受光波长数据包含由多个所述像素群分别含有的多个摄像像素各自接收的光的 受光波长的平均值作为所述目标波长。6. -种分光图像取得方法，其特征在于， 是分光图像取得装置的分光图像取得方法，所述分光图像取得装置具备： 波长可变干涉滤波器，具有彼此相对的一对反射膜和变更所述一对反射膜间的间隙尺 寸的间隙变更部，射出与多个次数对应的波长的光；以及 摄像部，具有多个摄像像素，接收从所述波长可变干涉滤波器射出的光， 所述分光图像取得方法实施： 数据取得步骤，取得受光波长数据，所述受光波长数据包含多个所述摄像像素各自接 收规定的目标波长的光时的所述间隙变更部的控制量；以及 间隙控制步骤，根据所述受光波长数据控制所述间隙变更部而使所述间隙尺寸变化， 所述受光波长数据包含对多个所述摄像像素分别设定的、使所述目标波长从所述波长 可变干涉滤波器射出时的取得次数，以及用于使所述目标波长的光以设定的所述取得次数 射出的所述控制量， 以所述间隙尺寸的驱动量沿一个方向变化的顺序设定所述取得次数。7. -种分光图像取得装置，其特征在于，包括： 波长可变干涉滤波器，包含第一反射膜、与所述第一反射膜相对的第二反射膜、和变更 所述第一反射膜和所述第二反射膜之间的间隙的间隙变更部； 摄像部，接收来自所述波长可变干涉滤波器的光；以及 滤波控制部，根据包含所述摄像部具有的多个摄像像素各自接收规定的目标波长的光 时的所述间隙变更部的控制量的受光波长数据，控制所述间隙变更部而使所述间隙变化， 所述受光波长数据包含针对多个所述摄像像素各自的、所述波长可变干涉滤波器使所 述目标波长的光透过时的取得次数；以及用于使所述目标波长的光以所述取得次数透过的 所述控制量， 所述间隙沿一个方向依次变化。
【专利摘要】本发明提供一种可以迅速取得高精度的分光图像的分光图像取得装置以及分光图像取得方法。分光相机具备具有一对反射膜和变更反射膜间的间隙尺寸的静电致动器的波长可变干涉滤波器(5)、具有多个摄像像素的摄像部(122)以及滤波控制部(153)，该滤波控制部(153)根据记录有用于摄像部(122)的各摄像像素接收目标波长的控制量的受光波长数据，控制静电致动器。作为受光波长数据，对每个摄像像素设定从波长可变干涉滤波器(5)射出的目标波长的取得次数、且按间隙驱动量变小的顺序设定该取得次数，记录用于使目标波长的光以设定的取得次数射出的值。
【IPC分类】H04N5/225, H04N5/232, G02B26/00
【公开号】CN105391920
【申请号】CN201510526441
【发明人】西村晃幸
【申请人】精工爱普生株式会社
【公开日】2016年3月9日
【申请日】2015年8月25日
【公告号】US20160061661