专利名称：：超洁净防静电和导电托盘的制作方法
技术领域：
：本实用新型涉及一种超洁净防静电和导电托盘，主要用于诸如晶圓、碟片或记忆模块等静电敏感电子元器件的运送和包装。
背景技术：
：随着半导体和晶片技术的快速发展以及半导体和晶片制造业的蓬勃兴起，静电敏感电子元器件的生产工序对工装夹具(例如夹持电子元器件的托盘，用于盛装和传输电子元件的托盘)的要求也越来越高，主要体现在对工装夹具的防静电性能和洁净性能的要求越来越严。在电子元器件的操作中，静电会对电子元器件造成损坏，这种损坏有时难以;险测，从而造成严重后果。另外，如果工装夹具的洁净性能不好，就会出现元器件被污染、玷污的情况，造成器件质量下降甚至损坏。目前该领域中所使用的工装夹具主要利用各种工程塑料，例如聚醚酰亚胺或称聚酰亚胺醚(PEI)、聚碳酸酯(PC)、聚苯醚(PPO)和聚曱醛(POM)等，难以满足该领域中不断提高的防静电性能和洁净性能要求。在运送和包装电子元器件时，人们常用到防静电和导电托盘。目前正在使用的托盘材料通常是在塑料基材中添加导电纤维、导电碳黑和金属粉等来解决材料的防静电性能。以聚醚酰亚胺作为塑料基材的实例。对于现有4支术的添加了导电-灰纤维的聚醚酰亚胺(PEI)，导电碳纤维周围是不导电的塑料基材，其分布的不均匀性显露无遗。现有技术中导电碳纤维在塑料基材中分布不均匀，导电碳纤维密集的地方呈现出较好的防静电性能，而导电碳纤维疏+>的地方则表现出绝缘性。而且，现有技术中的材料的洁净性也有待提高。使用这种材料制造的托盘的防静电和洁净性能不理想。
实用新型内容为了克H现有托盘在防静电和洁净性能方面的不足，本实用新型提供了一种超洁净防静电和导电托盘，包括一个壳体，该壳体具有底板、第一侧板、第二侧板以及将底板、第一侧板、第二侧板连接起来的两个端板，该壳体的内部构成容纳物体的空腔。所述托盘由一种超洁净防静电树脂组合物制成，主要用于晶圓、碟片或记忆模块等静电敏感电子元器件的运送和包装。本实用新型的托盘的第一侧板和第二侧板具有凹槽，凹槽适合于插入并分隔晶圓、碟片或记忆模块等电子元器件。根据本实用新型的一个实施例，所述托盘的第一侧板和第二侧氺反的厚度加厚了，这样使4乇盘不易变形。所述4乇盘的端4反具有U形开口。所述托盘的端板的上边缘优选具有一个凸缘，可以起加固托盘的作用。根据本实用新型的另一个实施例，所述托盘具有内隔板，用于将整个托盘分成若干格。所述托盘具有与所述托盘的第一侧板平行的内隔才反，所述内隔才反具有凹槽，用于插入并分隔晶圆、石莱片或记忆才莫块等电子元器件。可选地，所述托盘具有与所述内隔板相垂直的内隔^反。所述内隔^反是可拆卸的。由于纳米级碳管/碳黑均匀分布在塑料基材中并且不易脱落，本实用新型的托盘产品表现出良好的防静电性能和超洁净性能。另外，该超洁净防静电树脂组合物可通过增大导电納米碳管/导电纳米碳黑的比例，减小复合材料的电阻来兼备电磁屏蔽功能。因此，利用该组合物材料制造的托盘产品具有良好的导电性，具有一定的电^兹屏蔽功能。图1是根据本实用新型的一个实施例的托盘的示意图。具体实施方式以下结合附图对本实用新型作详细描述。参照图1，在本实用新型的一个实施例中，托盘包括一个壳体，该壳体呈长方体的形一犬，具有底4反1、第一侧^反2、第二侧;〖反3以及将底板、第一侧板、第二侧板连接起来的两个端板4，壳体的内部构成容纳物体的空腔。第一侧板2和第二侧板3的外表面基本为长方形，第一侧纟反和第二侧纟反具有相对的凹槽5,凹槽适合于插入并分隔晶圓、碟片或记忆模块等电子元器件。第一侧板和第二侧板的厚度加厚了，这样使托盘不易变形。托盘的端板4具有U形开口，这样当晶圆、碟片或记忆模块等电子元器件插入在托盘中时，可以直观地看到插入的物体，这种形状也可以节省材料。端板的上边缘具有一个凸缘，可以起加固托盘的作用。托盘和凹槽的尺寸适合于晶圓、碟片或记忆模块等电子元器件插入其中。当然，托盘可以是正方体的形习犬。4乇盘由在专利申i青200710080138.7中^>开的一种超洁净防静电树脂组合物制成。在本实用新型的另一个实施例中，托盘包括一个壳体，该壳体呈长方体的形状，具有底板、第一侧板、第二侧板以及将底板、第一侧纟反、第二侧^反连4矣起来的两个端一反。托盘装有内隔^反，将整个托盘分成若干格。这样可以将不同的电子元器件分类放在托盘中。托盘的形状可以为正方体或者长方体。4乇盘的两个侧才反具有相对的凹槽，平行于这两个侧板的内隔板也具有凹槽，相对的凹槽适合于插入晶圓、碟片或记忆模块等电子元器件，从而将这些电子元件安方文入在托盘中。托盘可以具有与其他平行内隔板相垂直的一个或多个内隔^1，起到支撑固定的作用。内隔^反可以乂人4乇盘上拆卸下来。4乇盘由在专利申请200710080138.7中/〉开的一种超洁净防静电树脂组合物制成。正如在专利申请200710080138.7中所公开的，超洁净防静电树脂组合物主要包括塑料基材63~98%，纳米级碳管和/或納米级碳黑1~30%，4禺联剂0.1~0.5%,分散剂0.1~5%,4元氧4匕剂0.5~1.5%。在该超洁净防静电树脂组合物中，塑料基材为各种热塑性树脂，优选为热塑性工程塑料，例如聚醚酰亚胺(PEI)、聚碳酸酯(PC)、聚苯醚(PPO)和聚曱醛(POM)、聚烯烃、聚氯乙烯、聚偏氯乙烯、ABS树脂、聚苯乙烯、丙烯腈-苯乙烯树脂、(曱基)丙烯酸树脂、聚乙烯醇、聚酰胺树脂、聚缩醛树脂、聚碳酸酯树脂、聚酯树脂、聚四氟乙烯、氟树脂、聚亚胺、聚酰亚胺。热塑性树脂的用量为超洁净防静电树脂组合物总质量的63%至98%。在该超洁净防静电树脂组合物中，偶联剂选自由有机铬络合物、硅烷类偶联剂、钛酸酯类偶联剂和锆类偶联剂组成的组，用于2008增强树脂材料与碳纳米管之间的结合性，使组合物中的各个成分不能向材料表面渗透。分散剂选自石蜡油、聚乙烯蜡、氧化聚乙烯蜡、脂肪酸皂类、脂肪酸酯类、脂肪酰胺类以及酯类，用于改变碳纳米管在塑料基材中的分散效果。抗氧化剂选自有才几亚磷酸酯和受阻酚，用于提高组合物的抗老化性能。抗氧化剂在成型后具有良好的耐抽出性，从而满足超洁净性的要求。纳米级碳管(又称为碳纳米管或纳米导电碳管)包括圓筒状的单层结构或者这些圆筒结构配置成套管状的多层结构。碳纳米管平均直径为0.5至200nm，优选为20-100nm,更优选为30nm以上至100nm以下。纳米级石友黑(纳米导电石灰黑)是纳米级的^灰黑粉体，其粒径通常在IOO纳米以下。纳米级碳管与纳米级碳黑可分别加入到树脂组合物中。可选地，两者也可同时加入到树脂组合物中。另外，该超洁净防静电树脂组合物可通过增大导电纳米碳管/导电纳米碳黑的比例，减小复合材料的电阻来兼备电磁屏蔽功能。利用该组合物材料制造的托盘产品具有良好的导电性，具有一定的电磁屏蔽功能。本实用新型的一个实施例的托盘由具有以下组分配比的超洁净防静电树脂组合物制造得到塑料基材PEI75g,纳米碳管19.5g，硅烷偶联剂0.5g,分散剂丙烯酸共聚物4g,抗氧化剂亚磷酸三(2，4-二沣又丁基苯基酯)1g。将上述组分通过普通双螺杆造粒才几，经配混将纳米级石友管/纳米级碳黑与塑料基材及助剂混合造粒，生产出超洁净防静电材料。利用该超洁净防静电材料经注塑或者模压方法制备本实用新型的超洁净防静电/导电托盘产品，用于例如晶圓、碟片或记忆模块等静电敏感电子元器件的运送和包装。由于纳米级碳管/碳黑均匀分布在塑料基材中，形成导走静电的通路，本实用新型的托盘产品表现出良好的防静电性能。另外，纳米级碳管/碳黑与塑料基材结合紧密，不易脱落，表现出超洁净性能。本实用新型托盘产品的性能使用市售的用于半导体器件加工的加入导电碳纤维的PEI材料来制造普通工程塑料防静电托盘，用于与本实用新型的托盘在防静电性能和洁净性能方面作比较。进行抗静电性能测试，本实用新型的托盘与普通防静电托盘的技术指标对比结果见表1。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage9</column></row><table>上述指标采用ESDS11.11、ASTMD257和FTMS-101C的标准测i式方法测定。从表1可以看出，本实用新型的托盘产品优于普通防静电托盘，表现出良好的防静电性能。进行超洁净性能测试，本实用新型的托盘与普通防静电托盘的超洁净技术指标对比结果见表2。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage9</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage10</column></row><table>发尘量通过液体颗粒凄t测试(LPC,>0.5um)测定。离子污染量通过离子色谦法(含氯/硫酸根/硝酸根/磷酸根/氟离子)测定。挥发性有机物通过气相色谱法(DHS)测定。从表2可以看出，本实用新型的托盘优于普通防静电托盘，达到了超洁净的要求。因此，利用上述的超洁净防静电树脂组合物，本实用新型的托盘具有良好的防静电性能和洁净性能，而且还具有一定的电^f兹屏蔽功能。权利要求1.一种超洁净防静电和导电托盘，包括一个壳体，其特征在于，该壳体具有底板(1)、第一侧板(2)、第二侧板(3)以及将底板、第一侧板、第二侧板连接起来的两个端板(4)，所述壳体的内部构成容纳物体的空腔，所述托盘由一种超洁净防静电树脂组合物制成。2.根据权利要求1所述的托盘，其特征在于，所述第一侧板和第二侧才反具有相对的凹槽(5)。3.根据权利要求2所述的托盘，其特征在于，所述托盘的第一侧板和第二侧板的厚度比端板的厚度大。4.根据权利要求2所述的托盘，其特征在于，所述托盘的端板具有U形开口。5.才艮据权利要求4所述的托盘，其特征在于，所述托盘的端板的上边缘具有一个凸缘。6.4艮据权利要求1或2所述的托盘，其特征在于，所述托盘具有内隔才反。7.根据权利要求1或2所述的托盘，其特征在于，所述托盘具有与所述托盘的第一侧板平行的内隔板，所述内隔板具有凹槽。8.4艮据权利要求7所述的托盘，其特征在于，所述4乇盘具有与所述内隔斗反沖目垂直的内隔氺反。9.根据权利要求6所述的托盘，其特征在于，所述内隔板是可拆卸的。专利摘要本实用新型涉及一种超洁净防静电和导电托盘，包括一个壳体，该壳体具有底板、第一侧板、第二侧板以及将底板、第一侧板、第二侧板连接起来的两个端板，该壳体的内部构成容纳物体的空腔。该托盘由一种超洁净防静电树脂组合物制成，主要用于晶圆、碟片或记忆模块等静电敏感电子元器件的运送和包装。文档编号H05F1/00GK201260267SQ200820003020公开日2009年6月17日申请日期2008年1月14日优先权日2008年1月14日发明者峰陶申请人:东莞市问鼎静电科技有限公司