专利名称：Fpd面板安装装置以及安装方法
技术领域：
本发明涉及在液晶或等离子等的FPD (Flat Panel Display 扁平面板显示器)的显示衬底的周边安装驱动IC或安装COF (Chip on Film 膜上芯片)、FPC (Flexible Printed Circuit 柔性印刷线路板)等的所谓的TAB (Tape Automated Bonding :卷带自动结合)连 接及周边衬底(PCB、Printed Circuit Board:印刷电路板)的安装装置以及由其构成的显 示衬底模块组装线。更具体地说，例如，具有适用于安装TAB和IC的处理工作的衬底清洗 机构的安装装置及安装方法和根据安装装置及安装方法构成的显示衬底模块组装线及显 示衬底模块组装方法。
背景技术：
显示衬底模块组装线是通过对液晶、等离子体等FPD的显示衬底(下面，基本将其 简称为衬底，在其它衬底例如PCB的情况下将其称为PCB衬底)依次进行多个处理工作工 序，在该衬底的周边安装驱动IC、TAB以及PCB衬底等的装置。例如，作为处理工序的一个例子，包括(1)清扫衬底端部的TAB粘贴部的端子 清洁工序；(2)向清扫后的衬底端部粘贴各向异性导电膜(ACF，Anisotropic Conductive Film)的ACF工序；(3)在衬底的粘贴ACF的位置定位并安装TAB或IC的安装工序；⑷通 过对安装的TAB或IC加热压焊通过ACF固定的压焊工序；(5)在与TAB衬底侧相反的一侧 粘贴安装预先粘贴有ACF的PCB衬底的PCB工序(由多个工序构成)。然而，在近年来的FPD用液晶面板等的制造中，为使衬底轻型化，存在衬底的玻璃 的厚度变得比以往薄的趋势。另外，虽然发展到为了提高生产率而采用在短时间内能够硬 化的ACF，但是短时间硬化型的ACF与以往的品种相比在低温下的粘着力降低，在粘贴ACF 时或安装元件时存在加压力变高的趋势。作为其结果，在衬底的背面附着有尘埃，导致对衬 底附加偏负载，使衬底碎裂的缺陷的频度变高。鉴于这样的状况，对衬底的背面的尘埃附着的要求比以往更高。为了可靠地将ACF粘贴在衬底上的电极上，必须清洗端子部分，例如，如日本专利 3564491号所述的那样，通过把丝带状的清洗带浸入清洗液并擦拭端子来进行。该清洗带的 移动方向设定为与连接端子的拉出方向一致(参照日本专利3564491号公报)。另外，为了衬底的背面也得以擦拭，例如，存在如专利3445709号所述的那样，通 过在使清洗带折回并返回时擦拭衬底的背面来以一片清洗带擦拭两面的方式。该清洗带优 选构成为相对于输送行进面在直角方向上移动(参照日本专利3445709号公报)。在上述的专利文献1中，在相对于衬底的端子的横向方向上输送清洗带，并且在 衬底的端子方向上进行擦拭。此外，在专利文献2中，在相对于衬底的端子的纵向方向上输 送清洗带，并且在衬底的端子方向上进行擦拭。为提高擦拭性能，清洗带使用斜纹织物来取代平纹织物(例如，参照日本特开 2002-153406号公报)。特别是在斜纹织物中，在擦拭性能的方面优选为2/2斜纹织物。然而，如图6所示，由2/2斜纹式斜纹组织的示意图可知，由于存在纵横的周期性，在0度或90度时不能完全地消除擦拭斑。另一方面，在45度时，在一般的2/2斜纹织物中， 存在斜纹组织的棱纹与擦拭方向一致的问题。此外，由于衬底端子是纤细的金属的梳齿状突起，在极细的纤维织物在与衬底平 行或正交的方向上行进的情况下，纵线或横线容易挂在梳齿状的突起上，从而存在容易产 生异物的缺点。
发明内容
因此，为解决上述问题，本发明的目的在于，提供维持斜纹织物的擦拭性能，并且 使构成清洗带的极细纤维织物的纵线或横线不会挂在衬底端子的梳齿状的突起上，从而难 以产生异物的技术。为实现上述目的，提供一种具备通过使清洗带与衬底相对地移动，通过相对于衬 底跨过规定的宽度与上述清洗带滑动接触来清洗的装置的FPD面板安装装置，其具有以清 洗带擦拭进行元件安装的衬底端部的端子部的上接触部件、和擦拭衬底端部的背面的下接 触部件，清洗带配置为相对于衬底端部倾斜。通过采用这样的结构，消除了由2/2斜纹式斜纹组织的纵横的周期性所引起的在 0度或90度方向上使用清洗带时的擦拭斑。此外，也能够避免在45度方向上使用清洗带时 的斜纹组织的棱纹与擦拭方向一致。发明的效果。根据本发明，由于在相对于衬底的端子45度以外的倾斜方向上输送清洗带，纤维 方向或斜纹组织的棱纹方向与擦拭方向不一致，因而难以产生擦拭斑。另外，由于在纤维 方向上的平行或正交的阶梯没有与边缘接触，能够减少极细纤维被揪断而产生异物的可能 性。
图1是表示本发明的实施方式的显示衬底模块组装线的整体的地面布置图。图2是表示被清洗的衬底的一个例子的俯视图。图3是表示本发明的实施方式的端子清洗头的外观的立体图。图4是表示本发明的实施方式的端子清洗头的擦拭状态的立体图。图5是表示本发明的实施方式的端子清洗头的擦拭状态的动作的示意图。图6是表示清洗所使用的斜纹组织的织物的示意图。图7是表示本发明的实施方式的清洗带的擦拭状态的俯视图。其中1-显示衬底模块组装线，2-下衬底，2a、2b-突出部，3-上衬底，4、4T、4C-电子 元件，5-2/2斜纹织物，6a-纵线，6b-横线，7a_纵线的区域，7b_横线的区域，11-搬运臂， 12-衬底保持机构，13-壳体，14S、14L-端子清洗器，14a、14c-端子清洗头，14b、14d_导轨， 15S、15L-ACF 粘贴装置，15a、15c_ACF 粘贴压头，15b、15d_ 导轨，16S、16L-TAB/IC 安装装置， 16aU6d-电子元件安装压头，16bU6e-导轨，16cU6f-提供装置，17SU7L-主压焊装置， 20-清洗带，21-新卷盘，22-引出辊，23,29-鼓形辊，24,28-导向辊，25-输带辊，26-夹送 辊，30-回收卷盘，31-上清洗垫，32-上汽缸，33-下清洗垫，34-下汽缸，46-滴下喷嘴，P-衬底。
具体实施例方式下面，使用图1至图7对本发明的一个实施方式进行说明。图1是表示本发明的实施方式的显示衬底模块组装线1的整体的地面布置图，图2 是表示被清洗的衬底的一个例子的俯视图，图3是表示本发明的第一实施方式的端子清洗 头的外观的立体图。图1的装置是通过由保持衬底P的衬底保持机构12、用于将该衬底搬运至相邻接 的安装装置的位置的搬运臂11构成的搬运装置在图中从左向右依次搬运衬底，并且在衬 底的周边部进行各种处理工作，并进行IC或TAB等的安装组装工作的生产线装置，图1 (a) 表示前半部，图1(b)表示后半部。出于作图的方便，将实际连结的装配线分割为两部分作 图。虽然图1的装置以兼作安全罩的壳体13分别覆盖每个功能单位的装置，并分别具有搬 运臂11，但为了从自身装置的任意工位至下一个装置的任意工位进行搬运，搬运臂11的移 动范围能够从自身装置至下一个装置的范围内移动。此外，由于搬运臂11需要使衬底P转 换方向，所以能够以90度为单位旋转。在图1(a)中，由未图示的外部的搬运装置向端子清洗器14S提供衬底P。衬底P 由衬底保持机构12稳定地保持，并由端子清洗头Ha擦拭。此时，由于端子清洗头Ha通 过导轨14b沿处理边移动并且擦拭整个范围，所以可以一次清洗衬底P的短边侧的端子。接下来的端子清洗器14L也同样具有保持由前段的端子清洗器14S的搬运臂11 提供的衬底P的衬底保持机构12、端子清洗头14c、和导轨14d，用于清洗衬底P的长边侧的 端子。在接下来的ACF粘贴装置中，由于是按照每个元件安装位置依次实施ACF的粘贴 处理，实施工序所需的处理时间较长。在此，假定是在短边侧粘贴两个IC芯片的电子元件 4C、在长边侧粘贴4片COF的电子元件4T的装置。由于粘贴IC用的一片ACF与粘贴COF 用的一片ACF所需要的过程时间几乎相同，所以为取得生产节拍平衡，将长边侧的ACF粘贴 压头准备为短边侧的粘贴压头的两倍左右较为适合。在本实施例中，在短边侧的ACF粘贴 装置15S上设置一台ACF粘贴压头15a，在长边侧的ACF粘贴装置15L上设置两台ACF粘贴 压头15C。并且，各个ACF粘贴压头1 及15c设置在独立的导轨15b及15d上，并能够分 别在两台衬底保持机构12的处理边侧移动并粘贴。此外，这些ACF粘贴装置15S及15L各 自具备一台搬运臂11，从而能够对任意的衬底保持机构12存取衬底P。接下来是在图1 (b)的左端表示的TAB/IC安装装置16。在此，首先设置长边侧的 TAB安装装置16L。由于在此之前的ACF粘贴装置15L是长边侧，所以通过与其方向一致而 缩短搬运时间。由于在此也是同样地安装四片电子元件4T，所以设置有两台电子元件安装 压头16a，并分别设置在导轨16b上。此外，对各个电子元件安装压头16a设置两台衬底保 持机构12。此外，对各个电子元件安装压头16a设置两台COF落料供给装置16c。在实际 中为了不在卷盘更换的工作时产生等待而安装有两台COF落料供给装置，运转的是其中的 任意一台。此外，在TAB安装装置16L上安装有一台搬运臂11。接下来设置长边侧的主压焊装置17L。在此也是通过使处理边与之前的装置一致 来缩短搬运时间。此外，之前的安装处理是使用ACF的粘着性的临时安装，是因为由于粘着强度较弱，需要不施加多余的搬运振动，迅速地通过主压焊过程牢固地固定，从而防止精度 降低或COF剥落所导致的缺陷。由于在主压焊装置17L中设置有能够将四片COF的电子元 件4T 一并加压加热的压焊工具(未图示)，所以过程时间自身较长，但合计的过程时间变 短，一台处理压头即可。该主压焊装置17L也设置有一台搬运臂11。接下来，设置作为短边侧的TAB/IC安装装置16的IC安装装置16S。在此仅安装 两个IC的电子元件4C，设置一台电子元件安装压头16d，各自设置在导轨16e上。此外，设 置两台衬底保持机构12，并在背面设置一台IC提供装置16f。由于是以在树脂制的IC芯 片盘上排列多个的状态下给IC充电，所以更换盘的无益时间极少，与COF落料供给装置相 比没有必要设置多余的提供单元。此外，在IC安装装置16S上安装有一台搬运臂11。接下来，设置短边侧的主压焊装置17S。由于在主压焊装置17S中设置有能够一并 加压加热两个IC的电子元件4C的压焊工具(未图示)，所以同样地，过程时间自身较长，但 合计的过程时间较短，一台处理压头即可。该主压焊装置17S也设置有一台搬运臂11。虽然在图1中表示了在各个衬底保持机构12上安放有衬底P的状态，但各个处理 具有恒定的富余时间，同步地进行衬底的搬运。图2表示进行图1所说明的进行清洗的衬底的一个例子。FPD用衬底P由重叠的上下透明衬底2、3构成。在下侧的透明衬底2上，其至少一 条边比上侧的透明衬底3突出，在这些突出的部分安装电路衬底或IC。此外，在图2的例子 中表示了两条边比上侧的透明衬底3突出的情况。因此，通过清洗能够以清洗带清洗下侧 的透明衬底2的几乎整个突出部分。接下来，图3是表示在图1中示意表示的端子清洗器14S的端子清洗头14a的详 细外观图。在实际中端子清洗器14L的端子清洗头Hc也具有相同结构。图3的状态表示 排出已清洗的衬底P、等待下一个衬底P的供给的状态。以卷绕在新卷盘21上的状态提供丝带状的清洗带20。该清洗带20卷绕在引出辊 22上并被引出。引出辊22是由在同轴上配置的引出侧与回收侧的两轮的带挡边的导引辊 构成的部件，其具有限制引出角度的功能，即使在清洗带20的新卷盘21的余量、或者按照 回收卷盘30的回收量其放卷位置、或者卷绕位置变动的情况下，清洗带20的收卷也不会受 到影响。卷绕在引出辊22上的清洗带20接下来卷绕在倾斜地配置的鼓形辊23上。此时， 鼓形辊23是与安装在臂台39上的臂38同轴安装的鼓状的导引辊，具有倾斜地切换清洗带 20的引绕方向的功能。通过鼓形辊23在倾斜方向上导入的清洗带20接下来通过带挡边的导向辊M在 水平方向上卷绕。由于导向辊M的下端面与下一个输带辊25的上表面处于几乎相同的高 度，所以清洗带20在两者之间保持几乎水平。输带辊25是带挡边并防滑的辊，在图3中，通过由于配置在背后方向而未图示的 输送马达44进行规定量的输送驱动。若在输送动作时清洗带20滑动，则输送量变得不正 确，因而对输带辊25的踏面进行防滑加工，进而通过夹送辊沈在带辊25的踏面之间夹住 清洗带20并施加垂直抗力，从而难以产生滑动。卷绕在输带辊25上的清洗带20接下来卷绕在带挡边的导向辊观上。在此，从导 向辊M朝向输带辊25的清洗带20的轨道与朝向导向辊28的清洗带20的轨道在上下具有间隔并且大体平行，在清洗带20的供给卷盘处的内侧面均为向下，并且，在斜向上横切 由上清洗垫31与下清洗垫33对置而形成的空间。这是如后述的图4所示，在上下的清洗 垫31、33夹住衬底P时，能够使衬底P的表面以及背面挤压清洗带20的表面的配置。已卷绕导向辊观的清洗带20接下来通过鼓形辊四弯折至引绕方向，成为朝向纸 面的深度方向的方向。该鼓形辊四也是与之前所示的鼓形辊23同样的具有鼓状的形状的 导引辊，与安装在臂台39上的臂38同轴安装。通过鼓形辊四变向的清洗带20接下来通过卷绕引出辊22而持续保持在引出位 置，最终卷绕在回收卷盘30上。虽然新卷盘21具备用于追随清洗带20通过输带辊25的 输送量、从而保持恒定的张力的离合器制动器，但回收卷盘30的驱动需要将从输带辊25输 送出的清洗带20以恒定的张力卷起，通过带张力控制的卷起马达45(未图示)来驱动。清洗带20在擦拭时，为使溶剂浸入，以罩35覆盖擦拭部分附近，还通过接头36与 波纹状并且柔软的排气用管37连接，最终与工厂的有机排气管道连接。这些机构安装在支架43上，进而固定在旋转平台41上，进而设置在在导轨14b上 设置的直线移动平台40上，因而在擦拭动作时，能够进行角度的调整动作和沿着衬底P的 具有端子的端部的边移动。图4表示该擦拭动作的状况。在图4中为了易于观察端子清洗头14a的状态，将 衬底P表示为透明，并省略衬底P的保持台。当将衬底P安放在端子清洗器14S上时，端子 清洗头14a向图中右端移动，由上清洗垫31与下清洗垫33对置而成的擦拭范围移动至与 衬底P右部内侧对置的位置。然后，下汽缸34上升至行程末端，下清洗垫33的擦拭面通过 清洗带20与衬底P的背面接触。下汽缸34的行程末端预先调整至衬底P的设置高度。紧 随其后地，通过上汽缸32使上清洗垫31下降，上清洗垫31的擦拭面通过清洗带20挤压衬 底P的表面。此时的挤压力是为衬底P的擦拭所需的足够的力，并且调整为不会将下汽缸 34从行程末端推回的值。作为其结果，虽然清洗带20以擦拭衬底P的内外两面所需的足够 的挤压力挤压，但不必担心由于力的对抗而对衬底P施加将其压弯的外力。在该状态下，端子清洗头1 在导轨14b上随着直线移动平台40的动作而向图中 左方移动。因为以使擦拭边与导轨14b平行的方式保持衬底P，因而在衬底P的擦拭边的全 长范围内通过清洗带20擦拭其内外。此外，在清洗垫31、33的与衬底P对置的面上粘贴有 耐溶剂性的氟化橡胶或耐酒精性的EPDM橡胶板，清洗带20以跟随着衬底P的微小的起伏 的方式进行擦拭。当端子清洗头1 到达衬底P的左端时，端子清洗头Ha停止移动，上清洗垫31 与下清洗垫33退避，擦拭动作结束。作为在此应注意的点，擦拭开始位置与擦拭结束位置 是清洗垫31、33不会与衬底P的左右的边缘接触的位置。这是由于，在衬底P的边缘部从 主玻璃割断并切出，其边缘部表示为锐利的切割面的情况下，或者在由于玻璃切割的损伤 而残留有微小的裂缝的情况或者附着有玻璃片的情况下，若无意中擦拭该部分，则存在产 生清洗带的断裂或起毛而产生异物的情况，或存在玻璃片剥落并扩散的可能性。虽然在预 先对衬底P的端部进行倒角加工的情况下，清洗带断裂的问题较少，但因为衬底P的滤色板 一侧的玻璃衬底不能进行端面加工，所以应该避免擦碰。然而，原来的端子清洗工序的目的是在衬底P的端子部上带有中途工序产生的剥 落的玻璃片或硬质的尘埃状的异物的情况下将其擦拭掉，所以清洗带20不可避免地附着有异物。此外，以恒定频度产生清洗带20与滤色板一侧的衬底端部接触并产生异物，并且 附着在清洗带20上的情况。因此，通过适当地决定输带辊25的旋转量，使清洗带20的输送量比上清洗垫31 及下清洗垫33的宽度更长。图5示意性地表示该状态。图5(a)表示等待状态的配置。清洗带20由导向辊M、28以及输带辊25保持为 U字形。此外，此时上清洗垫31与下清洗垫33分离开，由于未与清洗带20接触，不会妨碍 输带辊的旋转输送。接下来，如图5(b)所示，在搬入衬底P之前，闭合上清洗垫31与下清洗垫33，由设 置在各自的表面上的橡胶板的垫31a、33a夹住清洗带20。上清洗垫31形成为马蹄形，在其 间隙部分设置有滴下喷嘴46，其滴下规定量的溶剂。在此使用异丙醇。清洗带20是纹理较 细的织物，即使是在从清洗带20的内侧滴下的情况下，也可以容易地浸透外侧，进而浸透 在被挤压的下游侧的清洗带20内，但不会浸透由氟化橡胶构成的垫31a、33a。在此之后，如图5(c)所示，暂时分开上清洗垫31与下清洗垫33，并在产生的间隙 内配置衬底P。进而，如图5(d)所示，闭合上清洗垫31与下清洗垫33，通过清洗带20夹住衬底 P，通过与衬底P之外的图示的范围的端子清洗头Ha成为一体并向附图左方移动来进行擦 拭。因为在图5中进行的是二维的图示，所以虽然看起来衬底P与输带辊25碰撞，但在实 际中，因为清洗带20倾斜地配置，输带辊25配置在偏离纸面背后方向的位置，因而能够以 不与衬底P碰撞的方式输送移动。此外，在后面对将清洗带20倾斜地配置的必要性进行叙 述。在擦拭结束后，再次复原至图5(a)的状态，通过输带辊25与未图示的夹送辊26， 输送规定长度的清洗带20，使其与上清洗垫31接触的部分不与接下来使用的部分重合。由 于与清洗带20的宽度相比清洗垫31、33是宽度较窄的长方形，因此能够使输带辊25的输 送长度比清洗垫31、33的长度更短。图6是说明构成本实施方式所使用的清洗带20的斜纹组织的织物的图。图6(a) 是2/2斜纹织物5的斜纹组织织物的示意图。将沿图中的X方向的线称为横线，沿Y方向 的线称为纵线。2/2斜纹织物是以在横线之上交叉有两根纵线，在横线之下交叉有两根纵线 的方式织成的织物。该织物的特征是纵线与横线之比例在布料的内外都相同，斜线的角度 即相对于X方向的夹角为45度。在图6(a)中纵线6a与横线6b纵横地有规则地排列，并 能够看出周期性。图6(b)是示意性地表示图6(a)的由双点划线包围的区域，即纵线与横线的区域。 以网格线表示纵线的区域7a，以空白表示横线的区域7b。从图可明确地得知纵横的周期 性，并且，可知在45度方向上产生棱纹。如前所述，由于该纵横具有周期性，所以在0度或90度的情况下不能完全地消除 擦拭斑。另一方面，在45度的情况下，在一般的2/2斜纹织物中斜纹组织的棱纹与擦拭方向一致。因此，在本发明中，通过如图7所示的清洗带20的配置方法来解决上述问题。图7 表示了图3所示的卷绕在输带辊25上的清洗带20到达接下来的带挡边的导向辊28的状态。清洗带20配置为与进行TAB安装等的处理边加接触。如在图4中的详细叙述，下 清洗垫33的擦拭面通过清洗带20与衬底P的背面接触。在此之后，通过上汽缸32使上清 洗垫31下降，上清洗垫31的擦拭面通过清洗带20挤压衬底P的表面。作为其结果，清洗 带20以擦拭所需的足够的挤压力挤压衬底P的内外两面，并与端子清洗头Ha成为一体， 向附图左方移动。通过该移动进行处理边加的清洗。在此，将清洗带20的中心线与处理边加的夹角表示为θ (西塔)。如图6所示，在将2/2斜纹织物用作清洗带20的情况下，由于清洗带布料具有纵 横的周期性，所以在角度θ为0度或90度时容易产生擦拭斑。此外，在角度θ为45度时， 斜纹组织的棱纹与清洗带20的移动方向一致，从而容易产生擦拭斑。因此，在本发明中，将角度θ设定为上述角度之外的角度，即相对于处理边加以 0度、90度及45度以外的角度倾斜。该角度θ大体优选为30度。其理由在于，若角度θ过大(例如45度以上)，则 与处理边加接触的面积变小，使清洗带20移动的距离变多，在生产节拍的方面变得不利。 另一方面，若角度θ过小(例如30度以下)，则容易受到斜纹组织的周期性的影响，从而容 易产生擦拭斑。因此，从擦拭斑的效率改善与抑制生产节拍的降低的观点出发，大体上可以说优 选为30度。然而，虽然在如图2所示的下衬底2和上衬底3之间存在阶梯(未图示)，但因为 清洗带20是由软性材料构成，并且被有弹性地挤压，所以清洗带20能够仿照该阶梯部分的 形状圆滑地并且可靠地清洗至与上衬底3重合的部位的最近位置。此外，在此所使用的清洗带20是通过将直径为数微米的尼龙及聚酯纤维的短纤 维一体化的纤维在制成斜纹组织之后除去胶份而得的微细纤维形成的纹理细致的织物。由 于将斜纹组织特有的网眼致密、空隙较少的织物进一步拆开成单纤维，所以在擦拭或吸附 微小的尘埃时效果良好。虽然在以上作为本发明的实施例表示了将清洗带相对于衬底P的外缘倾斜地配 置、并以平板状的垫接触并移动来擦拭清洗头的清洗方法中使用的实施例，但本发明并不 仅局限于此，可以考虑对清洗带的移动方法、对衬底P的接触方法进行各种变形。例如，虽 然在实施例中假定为大型衬底的清洗，表示了固定衬底P并使清洗头Ha行进的方式，但在 笔记本电脑用的中型液晶衬底的清洗或移动设备用的小型液晶衬底的清洗中，不是将清洗 头1 设为自行式，而是以移动小型的衬底P的保持部件的方式更容易进行擦拭，在这样的 用途中，移动衬底P能够使端子清洗头14a的直线移动单元40和导轨14b简单化。
权利要求
1.一种FPD面板安装装置，其具备通过使清洗带和衬底相对移动、使上述清洗带对于 衬底在规定的宽度内滑动接触来进行清洗的装置，其特征在于，具有以上述清洗带擦拭进行元件安装的衬底端部的端子部的上接触部件；和 擦拭上述衬底端部的背面的下接触部件， 上述清洗带配置为相对于上述衬底端部倾斜。
2.如权利要求1所述的FPD面板安装装置，其特征在于，在θ表示上述衬底端部的一边与上述清洗带的中心线的夹角时，存在0度< θ <45度。
3.如权利要求2所述的FPD面板安装装置，其特征在于， 上述角度θ大体为30度。
4.如权利要求1所述的FPD面板安装装置，其特征在于， 上述清洗带是由2/2斜纹式斜纹组织的织物构成。
5.一种FPD面板安装方法，其在安装元件时，通过使清洗带和衬底相对移动，使上述清 洗带对于衬底在规定的宽度内滑动接触来清洗衬底端部的端子部，其特征在于，使用相对于上述衬底端部的端子部倾斜配置的清洗带。
6.如权利要求5所述的FPD面板安装方法，其特征在于，上述清洗带配置为相对于上述衬底的移动方向是与构成上述织物的纤维的朝向、或者 棱纹的朝向不同的方向。
7.如权利要求5所述的FPD面板安装方法，其特征在于，在θ表示上述衬底端部的一边与上述清洗带的中心线的夹角时，上述角度θ大体为 30度。
全文摘要
提供为提高FPD显示衬底的端子清洗的擦拭性能而维持所使用的斜纹织物的擦拭性能，并使构成清洗带的极细纤维织物的纵线或横线不会挂在被衬底端子的梳齿状的突起上，从而难以产生异物的技术。一种具备通过使清洗带和衬底相对移动、使上述清洗带对于衬底在规定的宽度内滑动接触来进行清洗的装置的FPD面板安装装置，具有以清洗带擦拭进行元件安装的衬底端部的端子部的上接触部件；和擦拭衬底端部的背面的下接触部件，清洗带配置为相对于衬底端部倾斜。
文档编号H05K13/00GK102045995SQ201010508628
公开日2011年5月4日 申请日期2010年10月13日 优先权日2009年10月13日
发明者大录范行, 斧城淳 申请人:株式会社日立高新技术