专利名称：石墨埚及包括该石墨埚的单晶炉的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及硅单晶制备装置，具体而言，涉及ー种石墨埚及包括该石墨埚的单晶炉。
背景技术：
单晶炉是在惰性气体环境中，采用加热器，将硅材料熔化，并采用直拉法生长无位 错单晶的设备。如图I所示，石墨埚是单晶炉热场的重要组成部件之一，其埚体10’可以在高温状态下支撑石英埚，起到对石英埚的保护作用。但是，由于石英埚的高度一般与石墨埚齐平，所以出炉时，石英埚不容易从石墨埚中取出；此外，硅材料熔化时，硅液经常会溅射到石墨埚的上沿。如果不及时清理沾在石墨埚上沿的硅液，在高温状态下，硅液会浸入到石墨埚内部，对石墨埚造成污染，所以单晶炉毎次运行结束后都需要将石墨埚取出，并对其上沿表面沾染的硅液进行清洗。清洗硅液一般是选用砂轮机进行打磨，但是经常打磨会导致石墨埚上沿破损严重，还会导致石墨埚受到应カ冲击，无法对石英埚提供牢靠的保护，同时石墨埚上沿浸染有硅液的部位容易出现裂纹，影响了石墨埚的使用寿命，由于石墨埚为一体成型，当上沿出现裂纹后，虽然埚体10’还完好无损，但仍然需要对石墨埚的整体进行更换，増加了维修成本。
实用新型内容本实用新型g在提供ー种石墨埚及包括该石墨埚的单晶炉，可以只更换损坏的石墨埚的上沿，而保留石墨埚的埚体，降低维修成本，同时可以方便石英埚的取出。为了实现上述目的，根据本实用新型的ー个方面，提供了ー种石墨埚，包括祸体；埚沿，沿埚体的上端面延伸，且与埚体可拆卸地连接。进ー步地，埚体的上端面设置有第一定位台阶，埚沿的下端面设置有与第一定位台阶相配合的第二定位台阶。进ー步地，埚沿有多个，多个埚沿沿埚体的周向方向在埚体的上端面串接。进ー步地，相邻的两个埚沿的串接端之间具有间隙。进ー步地，埚沿与埚体螺接固定。根据本实用新型的另一方面，提供了ー种单晶炉，包括石墨埚，石墨埚为前述的石
星祸O应用本实用新型的技术方案，通过使石墨埚的埚体与埚沿之间可拆卸地连接，当埚沿损坏时，只需要将埚沿从石墨埚的埚体上拆除，并更换新的埚沿即可，无需更换整个石墨埚，降低了维修成本。同时，由于拆下埚沿后，埚体上端面低于位于埚体内部的石英埚的上端面，所述石英埚可以很方便地取出。
构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进ー步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中图I示出了现有技术中的石墨埚的结构示意图；图2示出了根据本实用新型的实施例的石墨埚的主视图；图3示出了根据图2的石墨埚的俯视图；以及图4示出了根据图3的石墨埚的俯视图的A处局部放大图。
具体实施方式
下面将參考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互組合。如图2至4所示，根据本实用新型的实施例，提供了ー种石墨埚，包括埚体10和埚沿20。其中埚沿20位于埚体10的上端面，沿埚体10的上端面延伸，且与埚体10可拆卸地连接。当硅料浸入埚沿20难以清除，或埚沿20因反复打磨而产生裂痕时，只需要更换埚沿20即可，不再需要更换整个石墨埚，节约了维修成本。同时，由于埚沿20可拆卸，所以出炉后，拆下埚沿20的埚体10的高度会低于石英埚的高度，可以方便石英埚的取出。为了使埚沿20在埚体10上放置更加稳固，在埚体10的上端面设置有第一定位台阶，埚沿20的下端面设置有与第一定位台阶相配合的第二定位台阶，使埚沿20卡设在埚体10上。这种拼接结构加工简单，且拼接方式简便易行。为了方便埚沿20从埚体10上取下，在埚沿20的上端面设置有便于夹持的斜面21，使埚沿20的上端面与外部的加热器之间产生空间，方便埚沿20的拆卸。这里的斜面21也可以设置为弧形面、L形面或其他形状，只要能在埚沿20与外部加热器之间产生便于夹持的空间即可。为了方便埚沿20的加工，可以将埚沿20分为多个，本实施例中，埚沿20的数量为三个，实际操作中也可以根据需要设置不同数量的埚沿20。多个埚沿20在埚体10的上端面设置，沿埚体10的周向方向在埚体10上串接。为了防止热胀冷缩效应使相邻两个埚沿20之间产生挤压，相邻的两个埚沿20的串接端之间保留有条缝状的间隙，且串接端靠近埚沿20的内壁的ー侧为弧形结构。为了防止埚沿20从埚体10上脱落，在埚沿20与埚体10之间采用螺钉连接固定。根据本实用新型的另ー个实施例，提供了ー种单晶炉，包括石墨埚，该石墨埚为前述任一种的石星祸。从以上的描述中，可以看出，本实用新型上述的实施例实现了如下技术效果通过使石墨埚的埚体与埚沿之间可拆卸地连接，当埚沿损坏时，只需要将埚沿从石墨埚的埚体上拆除，并更换新的埚沿即可，无需更换整个石墨埚，降低了维修成本。同吋，由于拆下埚沿后，埚体上端面低于位于埚体内部的石英埚的上端面，所述石英埚可以很方便地取出。以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.ー种石墨埚，其特征在于，包括 埚体(10)； 埚沿(20)，沿所述埚体(10)的上端面延伸，且与所述埚体(10)可拆卸地连接。
2.根据权利要求I所述的石墨埚，其特征在于，所述埚体(10)的上端面设置有第一定位台阶，所述埚沿(20)的下端面设置有与所述第一定位台阶相配合的第二定位台阶。
3.根据权利要求I所述的石墨埚，其特征在于，所述埚沿(20)有多个，多个所述埚沿(20)沿所述埚体(10)的周向方向在所述埚体(10)的上端面串接。
4.根据权利要求3所述的石墨埚，其特征在于，相邻的两个所述埚沿(20)的串接端之间具有间隙。
5.根据权利要求I至4中任一项所述的石墨埚，其特征在于，所述埚沿(20)与所述埚体(10)螺接固定。
6.ー种单晶炉，包括石墨埚，其特征在于，所述石墨埚为权利要求I至5中任一项所述的石星祸。
专利摘要本实用新型提供了一种石墨埚及包括该石墨埚的单晶炉。其中石墨埚包括埚体(10)；埚沿(20)，沿埚体(10)的上端面延伸，且与埚体(10)可拆卸地连接。采用本实用新型的石墨埚及包括该石墨埚的单晶炉，可以只更换损坏的石墨埚的上沿，而保留石墨埚的埚体，降低维修成本，同时可以方便石英埚的取出。
文档编号C30B15/10GK202626350SQ201220313160
公开日2012年12月26日 申请日期2012年6月29日 优先权日2012年6月29日
发明者白剑铭, 孙二凯 申请人:英利能源(中国)有限公司