具有扇风板的拉晶炉的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及半导体生产【技术领域】的设备，名称是有扇风板的拉晶炉，它具有架子，架子上安装有可摇摆的炉体，炉体内具有炉腔，所述的炉腔内具有扇风板，扇风板是上面具有转轴，下面是平面的结构，所述的炉腔顶部具有安装装置的挂鼻儿，所述的转轴就安装在挂鼻儿内，所述的扇风板是多个的，多个扇风板排列安装在炉腔顶部，这样的具有扇风板的拉晶炉可以使炉腔内部温度均匀、提高产品质量，所述的扇风板是多个的，多个扇风板排列安装在炉腔顶部，具有可以使炉腔内温度更均匀的优点。
【专利说明】具有扇风板的拉晶炉
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体生产【技术领域】的设备，特别是涉及拉晶炉。
【背景技术】
[0002]拉晶炉是指半导体原料的分子在高温下进行排列整齐的装备，拉晶炉具有架子，架子上安装有可摇摆的炉体，炉体内具有炉腔，现有技术中，炉腔内没有可以使炉腔内热气循环的装置，致使炉腔内温度不均匀，影响产品质量。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的就是针对上述缺点，提供一种可以使炉腔内部温度均匀、提高产品质量的拉晶炉——具有扇风板的拉晶炉。
[0004]本实用新型的技术方案是这样实现的:具有扇风板的拉晶炉，包括架子，架子上安装有可摇摆的炉体，炉体内具有炉腔，其特征是:所述的炉腔内具有扇风板，扇风板是上面具有转轴，下面是平面的结构，所述的炉腔顶部具有安装装置的挂鼻儿，所述的转轴就安装在挂鼻儿内。
[0005]进一步地讲，所述的扇风板是多个的，多个扇风板排列安装在炉腔顶部。
[0006]本实用新型的有益效果是:这样的具有扇风板的拉晶炉可以使炉腔内部温度均匀、提高产品质量，所述的扇风板是多个的，多个扇风板排列安装在炉腔顶部，具有可以使炉腔内温度更均匀的优点。
【专利附图】
【附图说明】
[0007]图1是本实用新型的剖面结构示意图。
[0008]其中:1、架子 2、炉体 3、炉腔 4、扇风板。
【具体实施方式】
[0009]下面结合附图对本实用新型作进一步说明。
[0010]如图1所示，具有扇风板的拉晶炉，包括架子1，架子I上安装有可摇摆的炉体2，炉体2内具有炉腔3，其特征是:所述的炉腔内具有扇风板4，扇风板是上面具有转轴，下面是平面的结构，所述的炉腔顶部具有安装装置的挂鼻儿，所述的转轴就安装在挂鼻儿内。
[0011]这样，在使用时，由于炉体是不断的摆动的，扇风板也就不断的扇动，增加摇摆炉内部热气的循环，具有本实用新型的优点。
[0012]进一步地讲，所述的扇风板是多个的，多个扇风板排列安装在炉腔顶部，这样效果更好。
[0013]以上所述仅为本实用新型的具体实施例，但本实用新型的结构特征并不限于此，任何本领域的技术人员在本实用新型的领域内，所作的变化或修饰皆涵盖在本实用新型的专利范围内。
【权利要求】
1.具有扇风板的拉晶炉，包括架子，架子上安装有可摇摆的炉体，炉体内具有炉腔，其特征是:所述的炉腔内具有扇风板，扇风板是上面具有转轴，下面是平面的结构，所述的炉腔顶部具有安装装置的挂鼻儿，所述的转轴就安装在挂鼻儿内。
2.根据权利要求1所述的拉晶炉，其特征是:所述的扇风板是多个的，多个扇风板排列安装在炉腔顶部。
【文档编号】C30B15/00GK204058652SQ201420537424
【公开日】2014年12月31日 申请日期:2014年9月19日 优先权日:2014年9月19日
【发明者】陈磊, 刘栓红, 赵丽萍, 钱俊有, 张文涛, 蔡水占, 郭晶晶, 张会超, 陈永平 申请人:河南鸿昌电子有限公司