一种束流在线电荷极性转换装置的制作方法

文档序号:12036236阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明属于离子束操纵技术领域,具体涉及一种束流在线电荷极性转换装置,包括底部密封连接加热炉(3)的外筒(1),所述外筒(1)筒壁上对称设置一对能够通过离子束流的外筒束流通道孔(6),所述加热炉(3)用于通过加热工作介质产生工艺气体,还包括通过能够密封设置在所述外筒(1)顶部的法兰(8)设置在所述外筒(1)内的内筒(2),所述内筒(2)底部的开口位于所述加热炉(3)顶部的开口上方,所述内筒(2)的筒壁上对称设置一对与所述外筒束流通道孔(6)相对应的、能够通过所述离子束流的内筒束流通道孔(7)。该装置能够实现工作介质的循环利用,并限制工艺气体的作用范围,提高工作介质的使用效率,降低成本。

技术研发人员:陈立华;崔保群;唐兵;马瑞刚;黄青华;马鹰俊;马燮
受保护的技术使用者:中国原子能科学研究院
技术研发日:2017.07.10
技术公布日:2017.10.24
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