专利名称：基板清洗装置的制作方法
技术领域：
本实用新型是关于一种显影制程设备，特别是关于一种应用于显影制程的基板清洗装置。
背景技术：
微影制程主要由光阻涂覆、曝光和显影所组成。涂覆制程是将光阻均匀的涂覆在基板表面；曝光制程是利用光阻感光的特性将光罩上的图案转移到光阻上面；显影制程是使用显影液将不必要的光阻去除，使图形完整的显现在基板上。
就显影制程而言，业界一般是利用玻璃和显影液喷嘴之间的相对移动来实现显影液涂覆至玻璃基板表面，然后静置一段时间待反应完成后，再将玻璃基板表面的显影液移除。
请参阅图1，是一现有技术的移除玻璃基板表面显影液的基板清洗装置1，其包括一工作台15、支架14。该工作台15边缘设置有多个可上下伸缩的伸缩杆12，该支架14固定于该工作台15上，其上有一喷嘴13，该喷嘴13是用于向基板11上喷射显影液。在喷嘴13向基板11喷射显影液时，伸缩杆12缩入工作台15内，待反应结束，伸缩杆12升起，使显影液从基板11上方流下，实现显影液从基板11上移除的动作。此种基板清洗装置1有如下缺陷a.玻璃需要另行倾斜或顶起，容易造成碎片，安全性低。b.玻璃倾斜或顶起后，须等待显影液流下，才可执行下一步骤，增加了操作工时。
请参阅图2，为另一现有技术的移除玻璃基板表面显影液的基板清洗装置2，其包括一工作台25、支架24。该工作台25中央设置有多个可上下伸缩的伸缩杆22，该支架24固定于该工作台25上，其上有一喷嘴23，该喷嘴23是用于向基板21上喷射显影液。在喷嘴23向基板21喷射显影液时，伸缩杆22缩入工作台内，待反应结束，伸缩杆22升起，使显影液从基板21上方流下，实现显影液从基板21上移除的动作。该基板清洗装置2与基板清洗装置1区别在于其伸缩杆22设置在工作台25中央，相较基板清洗装置1其显影液移除时间减少，减少了部分操作时间，但仍然有易造成碎片的缺陷。
实用新型内容为克服现有技术基板清洗装置安全性低和操作速度较慢的缺陷，有必要提供一种安全性高和操作速度快的基板清洗装置。
一种实施方式解决技术问题的技术方案是提供一基板清洗装置，其包括一用于承载基板的工作台和一支架，其中，该支架上设置有一用气体移除残留液体的气体喷嘴和一用液体清洗基板的液体喷嘴。
相较现有技术，上述基板清洗装置利用气体和液体来清除基板表面的残留液体，无需抬起基板，降低了造成碎片的几率，提高了安全性，另外，也不用等待残留液体流下，节省了操作时间。
图1是现有技术基板清洗装置的立体图。
图2是另一现有技术基板清洗装置的立体图。
图3是本实用新型基板清洗装置立体图。
图4是本实用新型基板清洗装置剖面图。
具体实施方式请一起参阅图3和图4，图3是本实用新型基板清洗装置第一实施方式的立体图，图4是本实用新型基板清洗装置第一实施方式的剖面图。本实用新型基板清洗装置3包括一工作台36、一支架33、一喷嘴支撑桥37、一气体喷嘴31和一液体喷嘴32。该工作台36是用来承载基板30的，该支架33固定于工作台36上，喷嘴支撑桥37固定于支架33上，气体喷嘴31和液体喷嘴32分别位于喷嘴支撑桥37两侧，另外，气体喷嘴31和液体喷嘴32分别通过枢纽34、35与喷嘴支撑桥37连接，这样气体喷嘴31和液体喷嘴32可以以不同角度向基板30喷射气体和液体，其中该液体为去离子水，选择最佳的工作状态。当显影液将光阻去除后，该基板清洗装置3启动，气体喷嘴31和液体喷嘴32分别喷出气体和去离子水，而基板30在工作台上移动，先后经过气体喷嘴31和液体喷嘴32，即先由气体流将基板30表面的显影液吹掉，再使用去离子水清洗基板30表面。
该基板清洗装置3使用位置固定角度可调的气体喷嘴31和液体喷嘴32来清除基板30表面的显影液，无需抬起基板30，降低了造成碎片的几率，提高了安全性，另外，也不用等待显影液流下，可边喷射气体和去离子水边移动基板30，节省了操作时间。
权利要求1.一基板清洗装置，其包括一用于承载基板的工作台和一支架，其特征在于该支架上设置有一用气体移除残留液体的气体喷嘴和一用液体清洗基板的液体喷嘴。
2.如权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于该支架中部有一喷嘴支撑桥，该喷嘴支撑桥位于该气体喷嘴和该液体喷嘴之间。
3.如权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于放置在工作台上的基板可相对该气体喷嘴及该液体喷嘴移动。
4.如权利要求2所述的基板清洗装置，其特征在于该气体喷嘴通过一枢纽与该支撑桥连接。
5.如权利要求2所述的基板清洗装置，其特征在于该液体喷嘴通过一枢纽与该支撑桥连接。
专利摘要本实用新型公开一基板清洗装置，其包括一用于承载基板的工作台和一支架，其中，该支架上设置有一用气体移除残留液体的气体喷嘴和一用液体清洗基板的液体喷嘴。该装置可快速且安全地排除位于基板表面的残留液体。
文档编号B08B5/02GK2817997SQ20052006116
公开日2006年9月20日 申请日期2005年7月2日 优先权日2005年7月2日
发明者许文诚, 王敬龙, 詹育颖, 曾增魁 申请人:鸿富锦精密工业(深圳)有限公司, 群创光电股份有限公司