专利名称：多气种高纯气体集中控制独立吹扫系统的制作方法
技术领域：
本实用新型属光伏，光纤，LED, LCD及半导体技术领域，特别是涉及一种多气种高 纯气体集中控制独立吹扫系统。
背景技术：
光伏，光纤，LED, LCD及半导体等高科技行业用到众多高纯气体。如半导体行业 大约就要使用50种不同种类的气体在扩散工艺中作为工艺腔清洁所用的C1F3，刻蚀时常 用的CF4，CHF3与SF6等，以及离子注入法作为η型硅片离子注入磷源、砷源的ΡΗ3和AsH3 等。这些气体具有剧毒，自燃，易燃，强腐蚀性等各种不同的特性。为了对保证人员的操作安全，这些气体钢瓶被存放在一个特制的气瓶柜内并连接 到阀门盘面(见图1、图2)。目前行业上普遍采用的单体式气瓶柜配有抽风，门自锁装置以 及独立控制系统(放置在柜体上部)。这种单体式气瓶柜一般按照气体特性放置于气体房(见图3)，主要有以下功能1)控制本气瓶柜内的气动阀门开关；2)执行自动吹扫功能；3)如果一侧的气体钢瓶用完自动切换到另一侧供气；4)如果检测到本气瓶柜内有报警信号自动关闭本设备的输送。在输送过程中每台设备每次都需要单独操作，调节流量，设定程序等工序，浪费人 工。同时由于缺少气瓶柜之间的集中控制，如一旦某气瓶柜发生影响整个气体房的严重报 警，只会停止该气瓶柜的工作，其它气瓶柜仍处于工作状态，而不能及时切断。此外，如果刚 好有几台气瓶柜在同时进行吹扫程序，可能会造成吹扫氮气供应不足，影响实际吹扫效果。
发明内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种把多个气瓶柜在集中控制单元下进 行独立输送及吹扫的装置；吹扫氮气从中央控制箱内输出，且每一台设备含有对应的调压 吹扫支路。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是提供一种多气种高纯气体集中 控制独立吹扫系统，包括气瓶柜、吹扫系统和气动控制管路，所述的气瓶柜至少为2个，所 述的吹扫系统为分别与每个气瓶柜相连的独立输送吹扫装置，所述的气瓶柜通过气动控制 管路和独立输送吹扫装置与集中控制单元连接，吹扫系统中的吹扫氮气从中央控制箱内输
出ο所述的控制单元由PLC控制，并由10. 4”TFT触摸屏作为人机界面。所述的系统通过以太网接口与客户BMS系统连接。有益效果一、操作方便采用集中控制后，只需在一个界面输入各种工作指令即可。采用本 方法后，只需对控制单元操作，即可控制气瓶柜设备，统一调节每个设备输送状态，满足不同的需求。按照设定要求，几台气瓶柜设备按照指定次序依次进行吹扫，期间不需要人员参 与，提高工作效率。二、安全性由于采用集中控制，可以通过预设编程，采取按报警影响区域进行控 制。提高气体房安全系数。三、远程监控通过以太网接口，远程监视电脑与中央控制单元连接，可以随时查 看每一台气瓶柜运行状态。四、降低成本本方法可以大大的降低生产的成本，可优化电控部件配置，当需要 与远程电脑通讯时，集中控制相比传统气瓶柜更具有优势。
图1为背景技术中单体控制式气瓶柜图。图2为背景技术中气瓶柜内部阀门盘面图。图3为背景技术中单体控制式气瓶柜布置图。图4为本实用新型高纯气体多气种集中控制独立吹扫系统图。图5为本实用新型中央控制箱图。
具体实施方式
下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。应理解，这些实施例仅用于说明本 实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型讲授的内容 之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申 请所附权利要求书所限定的范围。如图4、5所示，图中A.中央控制单元B.气动控制管路，通过中央控制单元控制气瓶柜内气动阀门开关。C.吹扫系统，每一台气瓶柜都有独立吹扫管路。D.远程监控系统，通过网线与中央控制单元连接。本发明的装置取消气柜顶部的控制箱，把多个气瓶柜在集中控制单元下进行独立 输送及吹扫的装置；吹扫氮气从中央控制箱内输出，且每一台设备含有对应的调压吹扫支 路(见图四)。本系统控制单元由PLC控制，并由10. 4”TFT触摸屏作为人机界面，以实现工作 参数的设置；各输入输出点状态的显示；既定程序的实时工作状态。该系统通过以太网接口与客户BMS系统连接，通过客户监控电脑可查看到当地触 摸屏上所有可显示参数及报警状况。如集中供应系统发生报警，BMS监控室内塔灯声光报警。主要硬件组成组成PLC OMRON CJlM 系列，CPU 自带以太网；电磁阀组CKD塔灯及EMO按钮触摸屏GP2500-TC41-24V
权利要求一种多气种高纯气体集中控制独立吹扫系统，包括气瓶柜、吹扫系统和气动控制管路，其特征在于所述的气瓶柜至少为2个，所述的吹扫系统为分别与每个气瓶柜相连的独立输送吹扫装置，所述的气瓶柜通过气动控制管路和独立输送吹扫装置与集中控制单元连接，吹扫系统中的吹扫氮气从中央控制箱内输出。
2.根据权利要求1所述的一种多气种高纯气体集中控制独立吹扫系统，其特征在于 所述的控制单元由PLC控制，并由10. 4” TFT触摸屏作为人机界面。
3.根据权利要求1所述的一种多气种高纯气体集中控制独立吹扫系统，其特征在于 所述的系统通过以太网接口与客户BMS系统连接。
专利摘要本实用新型涉及一种多气种高纯气体集中控制独立吹扫系统，包括气瓶柜、吹扫系统和气动控制管路，其特征在于所述的气瓶柜至少为2个，所述的吹扫系统为分别与每个气瓶柜相连的独立输送吹扫装置，所述的气瓶柜通过气动控制管路和独立输送吹扫装置与集中控制单元连接，吹扫系统中的吹扫氮气从中央控制箱内输出。本实用新型操作方便可以通过预设编程，采取按报警影响区域进行控制，提高气体房安全系数。降低了生产成本，可优化电控部件配置，当需要与远程电脑通讯时，集中控制相比传统气瓶柜更具有优势。
文档编号B08B5/02GK201618701SQ20092021034
公开日2010年11月3日 申请日期2009年9月29日 优先权日2009年9月29日
发明者金悦 申请人:上海昕通半导体设备有限公司;上海正帆科技有限公司;上海亿欣电子科技有限公司