专利名称：石英方箱的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及石英制品，特别是涉及一种石英方箱。
背景技术：
石英玻璃制品以其优良的物理化学特性，被广泛应用于微电子产业集成电路芯片 制造业。石英方箱多用于半导体芯片清洗工序，其纯度高、耐腐蚀、直接加热不变形的特点 使之成为清洗工序中必不可少的工具。现有的石英方箱一般为内外两层，内层为清洗槽，填 加一定温度的清洗液后，加入半导体芯片自动清洗，外层为溢流清洗液接液槽，上述石英方 箱在清洗过程中带来很多不便1、内层清洗槽在溢流时很容易产生水面荡漾，有时产生大 幅摆动，使清洗液流到接液槽的外面，2、接液槽和清洗槽内无排放阀，接液槽内清洗液满时 或是清洗槽内液体温度不够需加热时需停工倾倒，回用，3、石英方箱无定位结构，清洗过程 中石英方箱易移动，且石英制品易碎，使自动清洗时只能小幅搅动液体，造成效率太低。
实用新型内容针对上述领域中的缺陷，本实用新型提供一种石英方箱，能很稳当的固定在生产 线上，其清洗槽中溢流的清洗液能很顺畅的流入接液槽中，同时清洗液能很方便的抽出回 收利用。 石英方箱，包括内层清洗槽和外层接液槽，其特征在于内层清洗槽顶边开有溢流 槽口 ，所述接液槽固定于清洗槽上部的外周。 所述清洗槽上固定有定位装置，所述定位装置位于接液槽的下面。 所述定位装置为固定在清洗槽外周的凸台，所述凸台朝清洗槽底部的一面有与生
产线卡扣式连接的突起。 所述清洗槽底部有排液口 。 所述接液槽底部有排液口 。 所述接液槽内还设置有温度计套管。 由于方箱是内外两层，清洗是在内层的清洗槽内完成的，清洗槽顶部开有溢流槽 口 ，溢流清洗液通过溢流槽口很顺畅的流入位于清洗槽上部外周的接液槽中，由于溢流液 的量毕竟不是很大，所以接液槽只位于清洗槽的上部而没有设置成与清洗槽相同的深度， 节约了材料。 本实用新型在清洗槽上设置有定位装置，使方箱在工作过程中不致于移动，由于 接液槽位于清洗槽的外周，因此把定位装置设置于接液槽的下面既不影响工作，也不会无 端增加占地面积。清洗槽的周边的一边上部还可以设置成斜坡结构，与设备相吻合。 定位装置设置成与生产线能相互卡扣的凸台，凸台使方箱可以搁置在生产线上， 其突起可以与生产线卡扣固定。凸台可以分段式也还可以是连成一体的。 清洗槽底部与接液槽底部有排液口，可以使两槽内的液体顺利排出，且位于底部 的排液口不影响整个清洗工艺的操作。[0014] 本实用新型在接液槽内还设置有一个温度计套管，可插接温度计测量接液槽内清 洗液的温度，以使了解清洗液的温度。 本实用新型石英方箱中的清洗槽设计有溢流槽口使溢出的清洗液能顺畅地的流 入接液槽内，且定位结构设计简单，与生产线配合好。本实用新型石英方箱设计合理，可以 很好的配合生产线进行高强度工作量的清洗。
图l本实用新型俯视图， 图2本实用新型主剖视图， 图3本实用新型右视图， 图中各标号列示如下 1-清洗槽，2-接液槽，3-溢流槽口 ， 4-凸台，5-突起，6-排液口 ， 7_温度计套管。
具体实施方式
如图所示，本实用新型的石英方箱，包括内层清洗槽1和外层接液槽2，内层清洗 槽1顶边开有溢流槽口 3，所述接液槽2固定于清洗槽1上部的外周。由于方箱是内外两 层，清洗是在内层的清洗槽1内完成的，溢流清洗液通过溢流槽口 3很顺畅的流入位于清洗 槽1上部外周的接液槽2中，由于溢流液的量毕竟不是很大，所以接液槽2只位于清洗槽1 的上部而没有设置成与清洗槽1相同的深度，节约了材料。 所述清洗槽1上固定有定位装置，所述定位装置位于接液槽2的下面。所述定位 装置为固定在清洗槽1外周的凸台4，所述凸台4朝清洗槽1底部的一面有能与生产线卡扣 式连接的突起5。凸台4使方箱可以搁置在生产线上，其上设置的突起5可以与生产线卡扣 固定。凸台4可以分段式也还可以是连成一体的。 所述清洗槽1和接液槽2底部有排液口 6，可以使两槽内的液体顺利排出，且位于 底部的排液口不影响整个清洗工艺的操作。 所述接液槽1内还设置有温度计套管7，可插接温度计测量接液槽内清洗液的温 度，以使了解清洗液的温度。 本实用新型石英方箱中的清洗槽设计有溢流槽口使溢出的清洗液能顺畅地的流 入接液槽内，且定位结构设计简单，与生产线配合好。本实用新型石英方箱设计合理，可以 很好的配合生产线进行高强度工作量的清洗。
权利要求石英方箱，包括内层清洗槽和外层接液槽，其特征在于内层清洗槽顶边开有溢流槽口，所述接液槽固定于清洗槽上部的外周。
2. 根据权利要求l所述的石英方箱，其特征在于所述清洗槽上固定有定位装置，所述 定位装置位于接液槽的下面。
3. 根据权利要求2所述的石英方箱，其特征在于所述定位装置为固定在清洗槽外周 的凸台，所述凸台朝清洗槽底部的一面有与生产线卡扣式连接的突起。
4. 根据权利要求1所述的石英方箱，其特征在于所述清洗槽底部有排液口。
5. 根据权利要求1所述的石英方箱，其特征在于所述接液槽底部有排液口。
6. 根据权利要求l所述的石英方箱，其特征在于所述接液槽内还设置有温度计套管。
专利摘要本实用新型涉及“石英方箱，”涉及微电子产业集成电路芯片制造业中的一种石英制品，包括内层清洗槽和外层接液槽，其特征在于内层清洗槽顶边开有溢流槽口，所述接液槽固定于清洗槽上部的外周。本实用新型石英方箱中的清洗槽设计有溢流槽口使溢出的清洗液能顺畅地的流入接液槽内，且定位结构设计简单，与生产线配合好。本实用新型石英方箱设计合理，可以很好的配合生产线进行高强度工作量的清洗。
文档编号B08B3/04GK201537606SQ200920223140
公开日2010年8月4日 申请日期2009年9月28日 优先权日2009年9月28日
发明者刘增, 刘念云, 刘文静, 吕炳益, 张忠恕, 张连兴, 杨继盛, 王福龙, 邢瑜, 陈强, 韦冬寒 申请人:北京凯德石英塑料制品有限公司