一种多晶硅片的摆动式脱胶冲淋装置的制作方法

文档序号:1336883阅读:226来源:国知局
专利名称:一种多晶硅片的摆动式脱胶冲淋装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及光电领域,具体涉及一种多晶硅片的摆动式脱胶冲淋装置。
背景技术
光电领域中,硅是非常重要和常用的半导体原料,是太阳能电池最理想的原材料。硅原料一般要经过清洗、铸锭、切块、粘胶、切片、脱胶、清洗等工序后,才能用于太阳能电池。生产操作中,多晶硅块切成片后,必须要经过脱胶和清洗后才能使用。目前操作过程中,多晶硅片脱胶时,常常因为冲淋装置仅能够进行单向冲淋,所以无法将多晶硅片表面残留的砂浆以及脱胶时产生的胶进行有效冲淋,造成冲淋后还需要进行后续清洗,增加了生产成本,延长了生产时间,降低了生产效率。
发明内容本实用新型的目的在于克服现有技术的不足,提供一种能够进行摆动的多晶硅片冲淋装置,多晶硅片进行脱胶冲淋后不会产生砂浆或胶的残留,可直接进行下一道工序,节省了生产时间、降低了生产成本。本实用新型所采取的技术方案是一种多晶硅片的摆动式脱胶冲淋装置,包括水槽,所述水槽顶部设有盖板,水槽底部设有排水孔,水槽的左右侧壁上部分别对称设有冲淋管。本实用新型进一步改进方案是,所述冲淋管与固定装置转动连接。本实用新型更进一步改进方案是,所述冲淋管设有转动喷淋的传动装置,所述传动装置包括电机和支座,所述支座上设有传动轮,传动轮上设有偏心轴M,所述偏心轴M通过连杆与冲淋管的一端端面上设有的偏心轴N连接传动。本实用新型更进一步改进方案是,所述传动装置设置于水槽外部,传动装置中的连杆从水槽所设的通孔伸进水槽中连接于偏心轴N。本实用新型更进一步改进方案是,所述冲淋管一侧均匀分布有冲淋嘴。本实用新型更进一步改进方案是,所述排水孔与水槽连接处设有滤网。本实用新型更进一步改进方案是,所述水槽内部底面设有支架。本实用新型更进一步改进方案是,所述盖板与水槽接触部位设有与水槽配合的密封装置。本实用新型更进一步改进方案是,所述盖板顶部设有提拉装置。本实用新型的有益效果在于用本实用新型进行脱胶冲淋时,将多晶硅片通过脱胶工装放入水槽,开启电源后,电机启动,带动传动轮转动,通过连杆作用带动冲淋管进行来回转动,使得冲淋管一侧的冲淋嘴进行上下摆动冲淋。从上述工作过程可知,用本实用新型进行多晶硅片的冲淋,既节省时间、降低生产成本,,又能保证多晶硅片的冲淋效果,提高了生产效率。


[0017]图1为本实用新型主视剖视示意图。图2为本实用新型俯视示意图。图3为图1中A部位最低冲淋位置的放大剖视示意图。图4为图1中A部位最高冲淋位置的放大剖视示意图。
具体实施方式
结合图1、图2和图3所示,本实用新型包括水槽I,所述水槽I顶部设有盖板6,水槽I底部设有排水孔7,水槽I的左右侧壁2上部分别对称设有冲淋管3 ;所述冲淋管3与固定装置14转动连接;所述冲淋管3设有转动喷淋的传动装置,所述传动装置包括电机10和支座11,所述支座11上设有传动轮12,传动轮12上设有偏心轴Ml7,所述偏心轴Ml7通过连杆19与冲淋管3的一端端面上设有的偏心轴N18连接传动;所述传动装置设置于水槽I外部,传动装置中的连杆19从水槽I所设的通孔16伸进水槽I中连接于偏心轴N18 ;所述冲淋管3 —侧均匀分布有冲淋嘴15 ;所述排水孔7与水槽I连接处设有滤网4 ;所述水槽I内部底面设有支架5 ;所述盖板6与水槽I接触部位设有与水槽I配合的密封装置8 ;所述盖板6顶部设有提拉装置9。结合图3和图4所示,用本实用新型进行脱胶冲淋时,将多晶硅片通过脱胶工装放入水槽I中,开启电源后,电机10启动,带动传动轮12转动,通过连杆19作用带动冲淋管3进行来回转动,使得冲淋管3 —侧的冲淋嘴15进行上下摆动冲淋。
权利要求1.一种多晶硅片的摆动式脱胶冲淋装置,包括水槽(1),所述水槽(I)顶部设有盖板(6),水槽(I)底部设有排水孔(7),其特征在于水槽(I)的左右侧壁(2)上部分别对称设有冲淋管(3)。
2.如权利要求1所述的一种多晶硅片的摆动式脱胶冲淋装置,其特征在于所述冲淋管(3)与固定装置(14)转动连接。
3.如权利要求1所述的一种多晶硅片的摆动式脱胶冲淋装置,其特征在于所述冲淋管(3)设有转动喷淋的传动装置,所述传动装置包括电机(10)和支座(11),所述支座(11)上设有传动轮(12),传动轮(12)上设有偏心轴M (17),所述偏心轴M (17)通过连杆(19)与冲淋管(3)的一端端面上设有的偏心轴N (18)连接传动。
4.如权利要求3所述的一种多晶硅片的摆动式脱胶冲淋装置,其特征在于所述传动装置设置于水槽(I)外部,传动装置中的连杆(19 )从水槽(I)所设的通孔(16 )伸进水槽(I)中连接于偏心轴N (18)。
5.如权利要求1所述的一种多晶硅片的摆动式脱胶冲淋装置,其特征在于所述冲淋管(3) —侧均匀分布有冲淋嘴(15)。
6.如权利要求1所述的一种多晶硅片的摆动式脱胶冲淋装置,其特征在于所述排水孔(7)与水槽(I)连接处设有滤网(4)。
7.如权利要求1所述的一种多晶硅片的摆动式脱胶冲淋装置,其特征在于所述水槽(O内部底面设有支架(5)。
8.如权利要求1所述的一种多晶硅片的摆动式脱胶冲淋装置,其特征在于所述盖板(6 )与水槽(I)接触部位设有与水槽(I)配合的密封装置(8 )。
9.如权利要求1所述的一种多晶硅片的摆动式脱胶冲淋装置,其特征在于所述盖板(6)顶部设有提拉装置(9)。
专利摘要本实用新型公开了一种多晶硅片的摆动式脱胶冲淋装置,包括水槽,所述水槽顶部设有盖板,水槽底部设有排水孔,水槽的左右侧壁上部分别对称设有冲淋管。用本实用新型进行脱胶冲淋时,将多晶硅片通过脱胶工装放入水槽,开启电源后,电机启动,带动传动轮转动,通过连杆作用带动冲淋管进行来回转动,使得冲淋管一侧的冲淋嘴进行上下摆动冲淋。从上述工作过程可知,用本实用新型进行多晶硅片的冲淋,既节省时间、降低生产成本,又能保证多晶硅片的冲淋效果,提高了生产效率。
文档编号B08B3/02GK202845366SQ201220542339
公开日2013年4月3日 申请日期2012年10月23日 优先权日2012年10月23日
发明者张凌松 申请人:宿迁宇龙光电科技有限公司
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