由石英玻璃制造光学构件的方法

专利名称：由石英玻璃制造光学构件的方法
技术领域：
本发明涉及一种由石英玻璃制造光学构件的方法，其通过拉长预定长度的芯棒和空心圆柱构成的同轴系统进行，其中将该系统在垂直方向上输入一个加热区，并在加热区中从该系统的下端开始进行分区软化，并从软化的区域将构件向下拉出，其中空心圆柱具有一个内孔，其在其下端区域中设有狭窄部分，芯棒就置于该狭窄部分上。
通过将芯棒和至少一个将芯棒围住的空心圆柱的同轴系统进行收缩和拉长可以制造用于光纤的简单的实心圆柱或者中间产品(预制体)。已知将空心圆柱在纤维拉丝期间收缩到芯棒上，其中前述的方法被称为“ODD方法”(Overc1ad-During-Drawing)。所有的工艺方案都要求芯棒精确的同轴导向或者精确定位。
为了保证上述要求并此外还保证芯棒没有损伤地引入套管中，在US 4 812 154 A1中提出了一种用于制造预制体的方法，其中在套管的下部区域中产生收缩部，其内直径小于芯棒的外直径。套管垂直指向，并从下侧将氮气流引导通过套管。同时将芯棒以其下端开始逆着气流送入套管，其中通过气流实现芯棒在套管中的对中，其避免了与内壁的接触。只要芯棒下面的锥形的向外变细的端部套装到套管的收缩部分上，芯棒以及套管就相互融合形成预制体。
在根据EP 1 129 999 A2的另一种方法中提出，将芯棒同时镶上内玻璃套管和外玻璃套管。为了将芯棒同轴地固定在内外玻璃套管内部，将外玻璃套管在其下端区域通过加热设置收缩部。对于垂直方向的外套管，从上方将一固定环引入套管的内孔中，该固定环的外直径稍微大于收缩部的直径，这样固定环从上方置于收缩部的区域上。在精确的水平方向上通过固定环的中间孔获得了用于具有圆锥形下端的芯棒的挡块，而第一内套管置于固定环上。接着套管和芯棒相互融合，其中在外套管的内孔中产生并保持真空。
本发明的任务是给出另一种通过拉长芯棒和空心圆柱的同轴系统来制造高品质光学构件的方法，其中为了固定芯棒为空心圆柱设置一个狭窄部分，其制造成本低廉，并且其允许以尽可能低的花费实现芯棒在空心圆柱中的可重复固定。
根据本发明，本任务由开头所述的方法出发如下解决，在第一上空心圆柱中产生内孔的狭窄部分a)通过在产生轴向圆柱合成体时将第一上空心圆柱在端面与第二下空心圆柱融合；b)将一芯棒插入下空心圆柱中，并且将轴向圆柱合成体从其下端开始送入加热区，并在加热区中进行分区软化，并在形成光学构件时进行拉长；c)其中构成一在圆柱合成体中向着第一上空心圆柱移动的牵拉葱头形，其中将内孔至少部分收缩，并由此形成内孔的狭窄部分；d)将第一空心圆柱在狭窄部分区域中的分离面上与拉出的光学构件分割开；e)接着与同轴系统中的芯棒一起拉伸制造光学构件。
石英玻璃构件的制造这样进行，即将芯棒安置在下空心圆柱的内孔中。芯棒与空心圆柱的同轴系统进行分区软化，并在此拉长成实心棒、预制体或者光纤。
与已知的方法不同的是，在本发明的方法中，在第一拉长工序中由下空心圆柱与插入其中的芯棒拉成光学构件，并同时在上空心圆柱上产生用于后续拉长工序的固定芯棒的狭窄部分。
为此在第一拉长工序前将上空心圆柱融合在下空心圆柱的上侧。其内孔至少部分可自由收缩。在下空心圆柱的内孔中插入一芯棒，该芯棒也可以伸入上空心圆柱的内孔中。
第一上空心圆柱和第二下空心圆柱的合成体在垂直方向上送入一加热区，并在加热区中从其下端开始进行分区软化，并拉成光学构件。在此形成了外直径的牵拉葱头形的变细部，其中同时通过将在芯棒和空心圆柱内壁之间的环形间隙封闭，将下空心圆柱的内孔完全收缩。由于继续将合成体移动到加热区中，牵拉葱头形将在上空心圆柱的方向上缓缓移动。最后，当牵拉葱头形到达融合的上空心圆柱时，上空心圆柱的内孔也开始收缩，也就是说，内直径向下变细，从而构成了狭窄部分。第一上空心圆柱与拉出的光学构件或者光学构件的残余部分分割开。现在其内孔在分离面的区域内完全或者部分地收缩了，并且由此具有所希望的在后续第二拉长工序中用于支承芯棒的狭窄部分。
在第二拉长工序中将所制造的具有带狭窄部分的内孔与具有第一空心圆柱在拉成光学构件，所述空心圆柱在带有芯棒的同轴系统中。该芯棒预先通过上面的开口插入空心圆柱的内孔中。
由此获得本发明方法的另一个优点。该优点在于，空心圆柱的下端向下变细，并由此接近于牵拉葱头形。这种形式简化了在第二拉长工序中的拉伸过程，并在所谓的“尖端成形”的情况下降低了材料损失。
芯棒是一种石英玻璃棒，其具有径向均匀或者径向不均匀的折射率分布。通常芯棒由一种具有较高的折射系数的玻璃芯组成，该玻璃芯被具有较低折射系数的玻璃包层包围。该玻璃芯是整体式的，或者由多个短的芯棒体组合而成，这些芯棒体层叠地布置在空心圆柱的内孔中。玻璃包层是芯棒的整体组成部分，或者整个或部分为一个或者多个玻璃包管形式，其包围石英玻璃棒。在上述情况下，芯棒由石英玻璃棒和一个或者多个玻璃包管的同轴系统组成，在这种情况下对于芯棒的外直径可以理解为外玻璃包管的外直径。
在这个意义上芯棒穿入下空心圆柱的内孔里，并借助形成于其中的狭窄部分轴向固定。芯棒的上端终止于上、下空心圆柱的连接点区域或者该区域之上。两个空心圆柱是整体式的或者由多个部件组合而成。
光学构件是一种实心棒、一种用于制造光纤的预制体或者一种光纤。
优选在第二拉长工序中将第一空心圆柱作为本发明意义上的第二空心圆柱使用。
也就是说，重新在其上端面上熔接一上空心圆柱，在其内孔中在第二拉长工序过程中产生用于固定芯棒的狭窄部分。这个过程可以重复任意多次。涉及一种准连续的牵拉方法，其包括至少两道拉长工序。
在准连续牵拉方法开始时-在第一拉长工序-将芯棒以任意的方式方法固定在下空心圆柱中。在后面的拉长工序中将芯棒置于空心圆柱的内孔的狭窄部分上，该狭窄部分在前面的拉长工序中产生。
优选将上空心圆柱在拉长工序中用于下空心圆柱的固定。
上空心圆柱具有固定功能，其通常对应一由低品质石英玻璃组成的所谓的“伪圆柱”，固定装置作用于其上并使用它，以使得避免通过空心圆柱以及插入其中的芯棒的不完全拉长引起的材料损失。这种伪圆柱在这里是不必需的。
但是还有一个优点，在上空心圆柱上熔接一固定装置作用于其上的伪圆柱。在此上空心圆柱的表面不会被作用在其上的机械夹紧元件损坏。
另外有利的是，当分离面区域中的狭窄部分具有一轴向连续的开口。
内孔中保留的开口简化了空心圆柱在下一个拉长工序前的清洁，并且实现了在拉伸方法开始时的气体清洁。在此在牵拉葱头形区域中选择分离面，使得在该处分开的空心圆柱的内孔一方面具有所希望的狭窄部分，但是另一方面不完全收缩。狭窄部分的内直径小于在下个拉长工序中置于其上的芯棒的外直径。
对于插入内孔中的芯棒或者固定棒，在内孔的内壁和芯棒/固定棒之间还有一开口的环形间隙。在下面的说明中如下理解“内孔”的概念，即还应包括这种“环形间隙形的内孔”，即使没有详细提及“环形间隙”。
在一种特别优选的方法中，该拉长工序包括一个牵拉阶段和一个牵拉终止阶段，其中在牵拉阶段中在内孔中产生相对于外部压力的负压。
在拉长工序的牵拉阶段，在内孔中至少暂时的产生并保持相对于外部压力的负压。内孔中的负压加速了收缩过程并在收缩时产生了附加的向内作用的力，从而补偿了其它工艺参数的随机波动，这种波动会导致不确定的收缩过程。总之内孔中的负压有助于改善方法的可重复性。
在此还证明了当内孔中的压力在牵拉终止阶段提高时是有利的。
在牵拉阶段的负压可以在牵拉葱头形上部的区域内使得内孔完全封闭，特别是对于小的内直径或者狭窄的环形间隙。在这种情况下，分离面-具有还敞开的内孔-选择在牵拉葱头形的上部区域中，结果是牵拉葱头形的大部分作为材料损失被积累下来，并且内孔的狭窄部分由于较小的变细部分变的不能利用或者在机械上失效。
由于在拉长工序马上要结束前压力的提高，内孔扩大，从而延迟了内孔的完全收缩。由此分离面-在内孔还是开口的条件下-位于牵拉葱头尽可能下部区域中，由此对于下面的拉长工序通过一种更好的“尖端变细”减少材料损失，并得到芯棒的稳定的支承。
当内孔中的压力在牵拉终止阶段中提高到环境压力+/-50mbar的范围内的值时被证明是有利的。
通过提高压力获得的效果，当内孔中的压力选择的越高时，上述的优点就越突出。上述的在环境压力(在炉中)之上的上限50mbar由在更高的压力下对空心圆柱吹开的危险决定。
已经证明，在芯棒上方在内孔中插入一个柱，其外直径比芯棒小。
该柱从上方伸入内孔中，并压在芯棒上，从而该柱防止了芯棒(或者芯棒件)的浮动。对此应该理解为芯棒逆向牵拉方向的向上运动。当芯棒具有微小的残余重量并且具有微小的向上的间隙时就可能出现浮动。这种效应导致在牵拉葱头形中相对缺少芯棒材料，并由此同时使得所拉出的构件的芯/包层比例的改变。
芯棒通过柱上或者其它中间件靠在支座上，这避免了向上的运动。根据本发明该柱的外直径小于芯棒的外直径，从而在柱区域中可以将到内孔内壁的环形间隙调节为比芯棒区域中的环形间隙宽。结果是，避免了更宽的环形间隙完全收缩直到牵拉葱头形中，从而更下面的分型就产生相应小的材料损失。
优选将芯棒的上端延伸到上空心圆柱的内孔中。
由此在两个空心圆柱的端部和芯棒之间产生的偏移实现了在上述准连续式运行方式中炉的更小的结构高度。因为上空心圆柱在与光学构件分离后出现缩短的“半圆柱”形式，所以“半圆柱”以及融合在其上的新的上圆柱构成的合成体具有比两个相同长度的空心圆柱更小的长度。芯棒或者空心圆柱不必具有相同的长度，本发明的方法也实现了这种构件残余部分的利用。
在理想情况下，芯棒的上端一直通到上空心圆柱一半长度的区域内。
在此使用一芯棒，其大致跟上空心圆柱的长度相同，而下空心圆柱的长度缩短一半。由此可以将用于执行拉长工序所需的牵拉炉的长度缩短空心圆柱长度的一半。当牵拉葱头形达到芯棒的上端，并在芯棒上方形成内孔的足够的狭窄部分时，拉长工序结束。这样产生的半空心圆柱件在其下端具有内孔的狭窄部分，并且在下面的拉长工序中通过将其与一个完整的上空心圆柱间歇性的融合，并装备一芯棒来作为下空心圆柱使用，该芯棒一直延伸到上空心圆柱的一半长度处。这个过程任意重复。
当上空心圆柱以及/或者下空心圆柱的内直径以及/或者外直径进行倒棱，则被证明是有利的。
通过倒棱防止上、下空心圆柱融合时形成内或外突起。内突起妨碍了芯棒或者可能的另一个套管的插入；外突起以不希望的方式影响牵拉炉中的气流。当两个要融合的空心圆柱中的一个在接合区域具有一个相应的倒棱时就足够了。
第一和第二空心圆柱的径向尺寸在理想情况下是相同的。当上空心圆柱和下空心圆柱的内直径的偏差最大为+/-2mm，并且上空心圆柱和下空心圆柱的外直径的偏差最大为+/-3mm时就能实现可以接受的结果。
对于第一空心圆柱，可以是一种具有非切削的在火焰中产生的内孔的石英玻璃管。但是第一上空心圆柱的内孔优选以机械方式加工到最终尺寸。
通过机械加工，特别包括钻孔和磨削以及可选的珩磨，可以通过使用已知的磨削方法以及与此相合适的商业上可获得的装置由外直径大于100mm、长度大于2m的石英玻璃坯料制造具有精确的圆形截面的直的空心圆柱，并且尺寸偏差很小，在1/10mm范围内。
在本发明的意义上用机械方法加工到最终尺寸的空心圆柱也可以理解为这样的圆柱，即其内表面用机械方式加工到最终尺寸，并接着进行酸洗。均匀的酸洗工序不会引起空心圆柱最终几何形状的显著改变(例如弯曲或者横截面椭圆度)。
下面根据实施例以及附图详细说明本发明的方法。在附图中以示意图分别示出了

图1在第一实施例中通过拉伸上和下空心圆柱的轴向合成体在石英玻璃空心圆柱的端部产生狭窄部分的工序；图2在第二实施例中通过拉伸上和下空心圆柱的轴向合成体在石英玻璃空心圆柱的端部产生狭窄部分的工序；图3一适用于制造根据图1和2的合成体的空心圆柱的纵剖图；图4牵拉葱头形的视图，用于描绘内孔收缩过程的不同方案以及合适的分离面选择的不同方案。
下面所要详细说明的空心圆柱用于制造光纤，光纤都具有一个芯部区域，该芯部区域被一个内玻璃包层以及一个外玻璃包层围住。芯部区域由石英玻璃组成，其均匀的添加了5％重量的二氧化锗。两个玻璃包层由无添加物的石英玻璃组成，其中石英玻璃用于各个空心圆柱的外玻璃包层。
首先按照OVD方法(外部汽相沉积法)制造所谓的芯棒。为此在一个绕其纵轴线旋转的支架上通过沉积烧嘴的来回运动分层的沉积碳灰(soot)颗粒，其中给沉积烧嘴供给SiCl4以及GeCl4，并在烧嘴火焰中与氧反应水解为SiO2和GeO2。在沉积内层时调节SiCl4和GeCl4的比例，使得在碳灰管的这部分壁厚上获得预定的摩尔百分比5％的均匀的GeO2浓度。将构成芯棒芯部区域的碳灰层沉积之后，就停止给沉积烧嘴供给GeCl4，并由不含添加物的SiO2沉积出内玻璃包层。
在沉积方法结束以及移除支架之后，就得到了碳灰管，其用于脱水处理中由制造条件引起的羟基的去除。为此将碳灰管在垂直方向上送入脱水炉，并首先在800℃至大约1000℃的温度范围内在氯的气氛中进行处理。处理的持续时间大约为八小时。由此将羟基重量浓度保持在小于100ppb。
这样处理的碳灰管在玻璃化炉中在约1350℃的温度范围内进行玻璃化，并在此收缩内孔，从而就得到外直径为38mm以及具有所希望的折射率型材的芯棒。芯棒的重量-根据长度-可达6kg。在待生产的外直径为125μm的光纤中，芯棒的玻璃芯构成了直径大约为8.5μm的芯部区域。
作为上述根据OVD方法制造芯棒的替代方案，也可以根据已知的MCVD方法(改进的化学气相沉积方法)、VAD方法(气相轴相沉积方法)、FCVD方法(熔炉化学气相沉积方法)或者PCVD方法(等离子化学气相沉积)来制造芯棒。
在每种情况中都要制备用于构造空心圆柱形式的外玻璃包层的不同包层材料，该包层材料在用ODD方法进行光纤拉丝时在芯棒上收缩。空心圆柱的制造类似于上述的根据通常的OVD方法制造芯棒，但是不用附加添加材料。在移除支架后得到碳灰管，其进行所述的脱水处理并接着进行玻璃化。
这样获得的空心圆柱坯料的外壁借助于圆周切入磨或者纵磨在多个工序中用越来越精细的颗粒尺寸研磨到所希望的外部尺寸。同样借助于钻孔器钻出内孔，并为了获得高精度的形状和表面特性通过珩磨来精加工。这样就获得了沿纵轴线方向延伸的具有精确圆形横截面的直孔。为了去除表面应力，并去除通过表面处理产生的损坏，将石英玻璃管在氟氢酸浴中进行短暂的腐蚀，氟氢酸的HF浓度在5％和30％之间。
这样获得的空心圆柱坯料的外直径为180mm、内直径为42mm、而长度为2500mm。壁厚的尺寸偏差(tmax-tmin)为0.5mm。可能的话在切断之后其用作本发明意义上的用于制造光纤预制体或者根据ODD方法制造光纤的空心圆柱。
为此将芯棒和空心圆柱的同轴系统在垂直方向上送入一个加热区，并在加热区中从其下端开始在约2050℃的环形炉中分区软化，并在此由软化的区域中拉出光纤。在牵拉方法开始时，芯棒置于空心圆柱的狭窄部分上。下面根据图1来详细说明合适的狭窄部分的制造。
图1示出了制造空心圆柱1内孔5的狭窄部分的示意图。该空心圆柱首先在端面侧与包围芯棒4的第二下空心圆柱6融合形成轴向合成体3。
上下空心圆柱1、6的长度、内直径以及外直径是相同的。
这样制造的轴向圆柱合成体3从其下端开始在垂直方向上送入一个环形炉11，在环形炉中进行分区软化并拉长形成预制体8。上空心圆柱1借助于固定装置的夹紧钳口12夹紧，并由此同时用于下空心圆柱6的固定。
在拉长时，形成了一个牵拉葱头形9，其在圆柱合成体3中由于送料缓缓的向上空心圆柱1延续。在这个阶段中(牵拉阶段)，内孔5中的绝对压力刚好保持在1mbar。这个负压避免了芯棒4的下沉，并简化和加速了内孔5的收缩，或者更精确的说，简化和加速了下空心圆柱6和芯棒4之间环形间隙的收缩。由此内孔5在牵拉葱头形9的上部区域中就已经封闭了，如图4A所示示意图。
只要牵拉葱头形9到达上空心圆柱1的下端，其内孔5就慢慢的变狭窄。在这个拉长工序的终止阶段，内孔5中的压力提高到大气压力(1atm)以上10mbar，以延迟内孔的封闭，尽管外直径变狭窄，内孔5的开口还是一直保持到牵拉葱头形9的下部区域中，如图4B所示。
于是拉长工序结束，上空心圆柱1在用虚线10示出的分离面中与预制体8分离，该分离面大致对应两个空心圆柱1、6的融合位置。
现在空心圆柱1的内孔5就有了一个狭窄部分，其适合在下一个拉长工序中用于芯棒的固定。相应的为上空心圆柱1装备新的芯棒，并以其上开口端面与另一个空心圆柱融合，其在接下去的拉长工序中用于固定空心圆柱1，并且如上所述，在空心圆柱1中在制造预制体的拉长工序期间产生内孔的狭窄部分。
图2示意性的示出了根据图1所述方法的变型方案，其中相同的附图标记表示与上述图1所涉及的附图标记相同的或者等效的构件或者组件。
在这种改进的方法中，下空心圆柱6的起始长度为125cm，融合在其上的上空心圆柱1-同样如芯棒4-的长度为250cm。上下空心圆柱的融合位置用虚线8表示。由此芯棒4在上空心圆柱1的内孔5中延伸大约125cm。
由此空心圆柱合成体3的总长度比根据图1所述的方法中的长度短了125cm。只要牵拉葱头形9到达芯棒4的上端，并且在芯棒4上方的上空心圆柱1中形成了内孔5的足够的狭窄部分，拉长工序就结束。这样制造的半空心圆柱件在其下端具有内孔的狭窄部分，并在下面的拉长工序中，通过将其与一完整的上空心圆柱周期性的融合，并装备芯棒，作为下空心圆柱使用，该芯棒一直到达上空心圆柱的一半长度处。这个过程可以重复任意多次。
空心圆柱合成体3较短的总长度实现了牵拉炉的紧凑结构或者使用伪固定圆柱2(Dummyhaltezylinder)，其融合在上空心圆柱1的上端，并作用在固定装置的夹紧钳口12上，该固定装置用于将两个空心圆柱1、6固定在炉中，如图2所示。
当将空心圆柱中至少一个的外直径和内直径倒棱时，两个空心圆柱周期性的融合就能最佳的实现，如图3所示示意图。
在空心圆柱1的两个端面上为内外直径产生一个线性的倒棱21，其在圆周方向和纵向上的宽度分别为10mm。为了改善空心圆柱1的固定，借助于夹紧钳口12(图1、图2)在上端设置一深度为2mm的凹口22，该凹口不会显著损坏拉出的构件的质量。
通过倒棱可以防止上、下空心圆柱端面融合时形成内或者外突起。将两个空心圆柱的面向融合位置的端面的边缘区域借助于丙烷气烧嘴进行加热以用于融合，并且在大约20分钟的持续时间内软化，并接着将软化的端部相互挤压在一起。
图4示出了在分离前上、下空心圆柱融合位置区域中的牵拉葱头形的不同视图。在此空心圆柱都用附图标记30表示。
图4A示出了在拉长工序时内孔5或者环形间隙32提早闭合的情况，在内孔5、32中产生了真空(绝对压力约1mbar)(牵拉阶段)。
需要注意，在上空心圆柱30与预制体分离后，力求产生一个向下开口的内孔(虽然是狭窄部分)用于在下一个拉长步骤之前对空心圆柱进行有效的清洗。此外开口的内孔也允许在拉长工序开始前进行气体清洁。
在图4A所示的情况下，产生一个向下敞开的内孔的分离面设置在牵拉葱头形9的上部区域内，结果是几乎整个牵拉葱头形的质量都要作为材料损失舍弃。
图4B示出了通过扩展环形间隙32来解决这个问题的一种方案，方式是将内孔5或者环形间隙32中的压力提高到大约大气压力(+10mbar)。由此环形间隙32一直伸入牵拉葱头形9中，从而即使将分离面10设置在牵拉葱头形9下部，也总是能够获得向下敞开的内孔5。
图4C和4D示出了图1和图4A以及4B示出的方法的变型方案，其中插入一固定棒34，其避免了芯棒4特别是在拉长工序的最后阶段中浮动。为此固定棒34以其下端通过间隔板35置于芯棒4上，而其上端抵靠住一(在图1中未示出的)支座(Wiederlager)上。
固定棒34的外直径为10mm，明显小于内孔5的内直径，这样在空心圆柱内壁和固定棒34之间获得宽的环形间隙36。由于其大的宽度，环形间隙36在负压下也会较晚收缩，并一直延伸到牵拉葱头形9的深处。在此在这种情况下-在内孔5中没有压力变化-设置在牵拉葱头形9很下面的分离面10也总是能够获得一向下敞开的内孔5。
权利要求
1.由石英玻璃制造光学构件的方法，该方法通过拉伸确定长度的芯棒和空心圆柱组成的同轴系统进行，方式是将该系统在垂直方向上送入加热区，并在加热区中从其下端开始进行分区软化，并从软化区域中向下拉出该构件，其中空心圆柱具有内孔，内孔在下端区域中设有狭窄部分，芯棒置于该狭窄部分上，其特征在于在第一空心圆柱(1)中产生该内孔(5)的狭窄部分，a)方式是在产生轴向圆柱合成体(3)时将第一上空心圆柱(1)在端面侧与第二下空心圆柱(6)融合，b)将芯棒(4)插入下空心圆柱(6)中，并且将轴向圆柱合成体(3)从其下端开始送入加热区(49)，在加热区中进行分区软化，并在形成光学构件(8)时进行拉长，c)其中构成在圆柱合成体(3)中向着第一上空心圆柱(6)前进的牵拉葱头形(9)，其中内孔(5)至少部分收缩，并由此形成内孔(5)的狭窄部分，d)将第一空心圆柱(1)在狭窄部分区域中的分离面上与拉出的光学构件(8)分开，并且e)接着与同轴系统中的芯棒一起拉长以制造光学构件。
2.按权利要求1所述的方法，其特征在于接着将所述第一空心圆柱(1)作为第二空心圆柱(6)使用。
3.按权利要求1所述的方法，其特征在于所述上空心圆柱(1)在拉长工序中用于固定下空心圆柱(6)。
4.按前述权利要求任一项所述的方法，其特征在于所述狭窄部分在分离面(10)区域具有轴向连续的开口。
5.按前述权利要求任一项所述的方法，其特征在于所述拉长工序包括牵拉阶段和牵拉终止阶段，并且在牵拉阶段在内孔(5)中产生相对于外部压力的负压。
6.按权利要求5所述的方法，其特征在于在所述牵拉终止阶段中提高所述内孔(5)中的压力。
7.按权利要求6所述的方法，其特征在于所述内孔中的压力在牵拉终止阶段提高到环境压力+/-50mbar的范围内的值。
8.按前述权利要求任一项所述的方法，其特征在于在所述芯棒(4)上方在内孔(5、36)中插入柱(34)，柱的外直径比芯棒(4)的外直径小。
9.按前述权利要求任一项所述的方法，其特征在于所述芯棒(4)的上端延伸到上空心圆柱(1)的内孔(5)中。
10.按权利要求9所述的方法，其特征在于所述芯棒(4)的上端一直到达上空心圆柱(1)的一半长度区域内。
11.按前述权利要求任一项所述的方法，其特征在于将所述上空心圆柱(1)和/或下空心圆柱(6)的内直径和/或外直径进行倒棱。
12.按前述权利要求任一项所述的方法，其特征在于所述上空心圆柱(1)和下空心圆柱(6)的内直径偏差最大为+/-2mm，而上空心圆柱(1)与下空心圆柱(6)的外直径偏差最大为+/-3mm。
13.按前述权利要求任一项所述的方法，其特征在于将第一上空心圆柱(1)的内孔(5)用机械方式加工为最终尺寸。
全文摘要
公开由石英玻璃通过拉伸由芯棒和空心圆柱组成的同轴系统制造光学构件。在此将该系统输送到一加热区中，在加热区中以其下端开始进行分区软化，并从软化的区域中拉出该构件。为了形成空心圆柱内孔的狭窄部分根据本发明提出了一种准连续方法，芯棒在该狭窄部分上。方式是在形成轴向圆柱合成体时将上空心圆柱端部与下空心圆柱融合，并在下空心圆柱中插入一芯棒，并将轴向圆柱合成体分区软化，并在形成光学构件时拉长，其中形成了一向上空心圆柱前进的牵拉葱头形，在形成狭窄部分时在其内部至少部分收缩内孔，然后将上空心圆柱在狭窄部分区域中的分离面上与拉出的光学构件分开，并接着与芯棒一起拉伸来制造光学构件。
文档编号C03B37/012GK1823020SQ200480020672
公开日2006年8月23日 申请日期2004年7月18日 优先权日2003年7月18日
发明者R·索瓦, R·萨特曼, J·维德拉 申请人:赫罗伊斯·坦尼沃有限责任公司