专利名称：强化玻璃的切割方法
技术领域：
本发明涉及玻璃的切割工艺，特别是涉及一种强化玻璃的切割方法。
背景技术：
玻璃强化后玻璃表面形成均匀压应力，内部形成张应力，使玻璃的抗弯和抗冲击强度得以提高。由于强化玻璃内部存在张应力，使得强化玻璃物理切割后边缘为锯齿状，玻璃强度降低，玻璃容易破损；同时，由于切割后的玻璃容易破损，导致操作人员不敢用力快速操作，造成生产效率低下
发明内容
基于此，有必要提供一种切割后抗压强度高、生产效率高的强化玻璃的切割方法。一种强化玻璃的切割方法，包括以下步骤在强化玻璃两个表面涂上光刻胶；对其中一个表面上的光刻胶进行曝光、显影、以在所述强化玻璃的所述表面上形成第一切割区；在所述强化玻璃的所述表面沿所述第一切割区切割出第一凹槽；将所述强化玻璃浸泡在氢氟酸溶液中，沿所述第一凹槽进行化学切割；及去除剩余的光刻胶。在其中一个实施例中，在进行化学切割之前，还包括对另一个表面上的光刻胶进行曝光、显影、以在所述强化玻璃的所述另一个表面上形成与所述第一切割区相对应的第二切割区；在所述强化玻璃的所述另一个表面沿所述第二切割区切割出第二凹槽。在其中一个实施例中，所述光刻胶的厚度为50μπΓ 00μπι。在其中一个实施例中，所述光刻胶的主要成分为苯酚-甲醛树脂。在其中一个实施例中，所述第一凹槽为方型凹槽或V型凹槽。在其中一个实施例中，所述第一凹槽的深度为O. 03mnT0. 08mm。在其中一个实施例中，所述氢氟酸溶液的质量百分比浓度为30°/Γ40%。在其中一个实施例中，浸泡时间为900s 3600s。在其中一个实施例中，浸泡温度为33°C 39°C。在其中一个实施例中，使用低苯酚或含自由苯酚基的去胶剂去除剩余的光刻胶。上述强化玻璃的切割方法，用氢氟酸溶液对强化玻璃进行切割并使强化玻璃的边缘平滑化，提高强化玻璃边缘的抗压强度，同时减少切割后强化玻璃的破损率，提高生产效率。
图I为一实施方式的强化玻璃的切割方法的流程图2至图6为一实施方式的强化玻璃的切割过程示意图；图7至图11为另一实施方式的强化玻璃的切割过程示意图。
具体实施例方式为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面对本发明的具体实施方式
做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施的限制。请参阅图1，一实施方式的强化玻璃的切割方法，包括以下步骤步骤S10、在强化玻璃两个表面涂上光刻胶。请参阅图2，在强化玻璃100的第一表面110和第二表面120涂上光刻胶200。 强化玻璃100可为TFT (膜场效应晶体管)玻璃。光刻胶100的厚度为50 μ πΓ ΟΟ μ m。光刻胶200的主要成分可为苯酚-甲醛树脂，具体可为北京汇德信科技有限公司生产的SX AR-PC 5000/40型号光刻胶。步骤S20、对其中一个表面上的光刻胶进行曝光、显影、以在所述强化玻璃的所述表面上形成第一切割区。请参阅图3，当使用正性光刻胶时，将需切割的地方进行曝光，发生光化学反应，将需切割区域表面的光刻胶溶于显影液中，形成第一切割区112。不需切割的地方不曝光，光刻胶200不溶于显影液，在强化玻璃100表面形成一层保护膜。当使用负性光刻胶时，将不需切割的地方进行曝光，其曝光的地方因交联固化而不溶于显影液，形成一层保护膜。需切割的地方不曝光，未曝光部分溶于显影液。S30、在所述强化玻璃的所述表面沿所述第一切割区切割出第一凹槽。请参阅图4，用物理切割(例如刀具或激光等)的方法在强化玻璃100的第一切割区112切割出第一凹槽130。所述第一凹槽的深度为O. 03mnT0. 08mm。第一凹槽130可以为方型或V型凹槽。本实施例中，第一凹槽130为V型凹槽。凹槽的作用为增大氢氟酸溶液与强化玻璃100的接触面积，使氢氟酸溶液与强化玻璃100充分接触，进行化学切割。S40、将所述强化玻璃浸泡在氢氟酸溶液中，沿所述第一凹槽进行化学切割。优选的，所述氢氟酸溶液的质量百分比浓度为309Γ40%。浸泡时间为900iT3600S，浸泡温度为33°C 39°C。请参阅图5,氢氟酸溶液与强化玻璃100发生反应,使强化玻璃100从第一凹槽130处断裂，从而达到切割的效果；同时使强化玻璃100的边缘平滑化，提高强化玻璃边缘的抗压强度，减少切割后强化玻璃的破损率，提高生产效率。S50、去除剩余的光刻胶。请参阅图6，使用低苯酚或含自由苯酚基的去胶剂去除剩余的光刻胶200，得到切割后的强化玻璃。去胶剂具体可为EKC chemical公司的Burmar 712或Ailled Chemical公司的Ecostrip。用去胶剂去除强化玻璃表面的光刻胶，从而利于强化玻璃后续工序的进行。另一实施方式的强化玻璃的切割方法，包括以下步骤步骤一、在强化玻璃两个表面涂上光刻胶。
请参阅图7，在强化玻璃100的第一表面110和第二表面120都涂上光刻胶200。强化玻璃可为TFT玻璃。光刻胶的厚度为50 μ πΓ ΟΟ μ m。光刻胶具体可为北京汇德信科技有限公司生产的SX AR-PC 5000/40型号光刻胶。步骤二、对强化玻璃两个表面上的光刻胶进行曝光、显影、以在所述强化玻璃的所述表面上形成两个切割区，即为第一切割区和第二切割区。请参阅图8，当使用正性光刻胶时，将需切割的地方进行曝光，发生光化学反应，将需切割区域表面的光刻胶溶于显影液中，形成第一切割区112及第二切割区122。第一切割区112与第二切割区122相对设置。步骤三、在所述强化 玻璃的所述表面沿所述两个切割区切割出两个凹槽，即为第
一凹槽和第二凹槽。请参阅图9，用物理切割的方法在强化玻璃100的第一切割区112切割出第一凹槽130，在第二切割区122切割出第二凹槽140。每个凹槽可为方型凹槽或V型凹槽。本实施例中的第一凹槽130及第二凹槽140都为V字形凹槽。步骤四、将所述强化玻璃浸泡在氢氟酸溶液中，沿所述第一凹槽和所述第二凹槽进行化学切割。请参阅图10，氢氟酸溶液与强化玻璃100发生反应，使强化玻璃100从第一凹槽130及第二凹槽140处都断裂，从而达到切割的效果。优选的，所述氢氟酸溶液的质量百分比浓度为309Γ40%。浸泡时间为900iT3600S，浸泡温度为33°C 39°C。步骤五、去除剩余的光刻胶。请参阅图11，使用低苯酚或含自由苯酚基的去胶剂去除剩余的光刻胶200，得到切割后的强化玻璃。去胶剂具体可为EKC chemical公司的Burmar 712或Ailled Chemical公司的Ecostrip0上述强化玻璃的切割方法，用氢氟酸溶液对强化玻璃进行切割并使强化玻璃的边缘平滑化，提高强化玻璃边缘的抗压强度，同时减少切割后强化玻璃的破损率，提高生产效率。同时，在强化玻璃的表面切割出两个凹槽，更大地增加强化玻璃与氢氟酸溶液的接触面积，提高化学切割速率，更加利于化学切割的进行。下面结合实施例，对本发明作进一步的阐述。实施例I在强化玻璃两个表面涂上50 μ m的光刻胶。对其中一个表面上的光刻胶进行曝光、显影、以在所述强化玻璃的所述表面上形成第一切割区。在所述强化玻璃的所述表面沿所述第一切割区切割出深度为O. 03mm的V型凹槽。将所述强化玻璃浸泡在质量百分比浓度为40%的氢氟酸溶液中，沿所述V型凹槽进行化学切割。使用去胶剂Ecostrip去除剩余的光刻胶。其中，强化玻璃的厚度为O. 77mm，浸泡温度为33°C，浸泡时间为900s。实施例2在强化玻璃两个表面涂上100 μ m的光刻胶。
对其中一个表面上的光刻胶进行曝光、显影、以在所述强化玻璃的所述表面上形成第一切割区。在所述强化玻璃的所述表面沿所述第一切割区切割出深度为O. 08mm的方型凹槽。将所述强化玻璃浸泡在质量百分比浓度为30%的氢氟酸溶液中，沿所述方型凹槽进行化学切割。使用去胶剂Ecostrip去除剩余的光刻胶。其中，强化玻璃的厚度为O. 77mm，浸泡温度为33°C，浸泡时间为3600s。实施例3 在强化玻璃两个表面涂上50 μ m的光刻胶。对两个表面上的光刻胶进行曝光、显影、以在所述强化玻璃的所述表面上形成两个切割区。在所述强化玻璃的所述表面沿所述两个切割区都切割出深度为O. 08mm的V型凹槽。将所述强化玻璃浸泡在质量百分比浓度为30%的氢氟酸溶液中，沿所述V型凹槽进行化学切割。使用去胶剂Ecostrip去除剩余的光刻胶。其中，强化玻璃的厚度为O. 77mm，浸泡温度为33°C，浸泡时间为1200s。实施例4在强化玻璃两个表面涂上80 μ m的光刻胶。对两个表面上的光刻胶进行曝光、显影、以在所述强化玻璃的所述表面上形成两个切割区。在所述强化玻璃的所述表面沿所述两个切割区都切割出深度为O. 08mm的方型凹槽。将所述强化玻璃浸泡在质量百分比浓度为40%的氢氟酸溶液中，沿所述方型凹槽进行化学切割。使用去胶剂Burmar 712去除剩余的光刻胶。其中，强化玻璃的厚度为O. 77mm，浸泡温度为35°C，浸泡时间为2400s。实施例5在强化玻璃两个表面涂上80 μ m的光刻胶。对两个表面上的光刻胶进行曝光、显影、以在所述强化玻璃的所述表面上形成两个切割区，即为第一切割区和第二切割区。在所述强化玻璃的所述表面沿所述第一切割区切一深度为O. 05mm的V型凹槽，沿所述第二切割区切一深度为O. 05mm的方型凹槽。将所述强化玻璃浸泡在质量百分比浓度为35%的氢氟酸溶液中，沿所述V型凹槽及方型凹槽进行化学切割。使用去胶剂Burmar 712去除剩余的光刻胶。其中，强化玻璃的厚度为O. 77mm，浸泡温度为39°C，浸泡时间为1200s。实施例6
在强化玻璃两个表面涂上100 μ m的光刻胶。对其中一个表面上的光刻胶进行曝光、显影、以在所述强化玻璃的所述表面上形成第一切割区。在所述强化玻璃的所述表面沿所述第一切割区切割出深度为O. 05mm的V型凹槽。将所述强化玻璃浸泡在质量百分比浓度为40%的氢氟酸溶液中，沿所述V型凹槽进行化学切割。使用去胶剂Ecostrip去除剩余的光刻胶。其中，强化玻璃的厚度为O. 77mm，浸泡温度为35°C，浸泡时间为2400s。
实施例7在强化玻璃两个表面涂上100 μ m的光刻胶。对其中一个表面上的光刻胶进行曝光、显影、以在所述强化玻璃的所述表面上形成第一切割区。在所述强化玻璃的所述表面沿所述第一切割区切割出深度为O. 08mm的方型凹槽。将所述强化玻璃浸泡在质量百分比浓度为35%的氢氟酸溶液中，沿所述方型凹槽进行化学切割。使用去胶剂Ecostrip去除剩余的光刻胶。其中，强化玻璃的厚度为O. 77mm，浸泡温度为39°C，浸泡时间为1800s。实施例8在强化玻璃两个表面涂上50 μ m的光刻胶。对两个表面上的光刻胶进行曝光、显影、以在所述强化玻璃的所述表面上形成两个切割区。在所述强化玻璃的所述表面沿所述两个切割区都切割出深度为O. 05mm的V型凹槽。将所述强化玻璃浸泡在质量百分比浓度为35%的氢氟酸溶液中，沿所述V型凹槽进行化学切割。使用去胶剂Ecostrip去除剩余的光刻胶。其中，强化玻璃的厚度为O. 77mm，浸泡温度为35°C，浸泡时间为3600s。实施例9在强化玻璃两个表面涂上50 μ m的光刻胶。对其中一个表面上的光刻胶进行曝光、显影、以在所述强化玻璃的所述表面上形成第一切割区。在所述强化玻璃的所述表面沿所述第一切割区切割出深度为O. 03mm的方型凹槽。将所述强化玻璃浸泡在质量百分比浓度为30%的氢氟酸溶液中，沿所述方型凹槽进行化学切割。使用去胶剂Ecostrip去除剩余的光刻胶。其中，强化玻璃的厚度为O. 77mm，浸泡温度为39°C，浸泡时间为1800s。实施例10
在强化玻璃两个表面涂上80 μ m的光刻胶。对两个表面上的光刻胶进行曝光、显影、以在所述强化玻璃的所述表面上形成两个切割区。在所述强化玻璃的所述表面沿所述两个切割区都切割出深度为O. 03mm的方型凹槽。将所述强化玻璃浸泡在质量百分比浓度为30%的氢氟酸溶液中，沿所述方型凹槽进行化学切割。使用去胶剂Ecostrip去除剩余的光刻胶。 其中，强化玻璃的厚度为O. 77mm，浸泡温度为33°C，浸泡时间为3600s。性能测试选取未经切割的强化玻璃为对比例1，按常规切割方法后得到的强化玻璃为对比例2。对本发明各实施例及对比例中的强化玻璃边缘切割处，用落球测试及静负荷测试方法进行抗压强度测试。其中，落球测试的具体步骤为取一直径为28mm、质量为IOOg的钢球，钢球在静止状态下自由落体落下于强化玻璃的中心点(在强化玻璃下方设有木质四方形支撑)，至强化玻璃破碎，从落球高度判断玻璃强度。静负荷测试的测试装置由依次层叠的内径为38mm圆形镂空橡皮垫支撑，强化玻璃，直径为28mm、厚度为IOmm的橡皮垫,直径为28mm的下压装置,重力感应器组成。静负荷测试的具体步骤为将强化玻璃放在圆形镂空橡皮垫支撑上，以125mm/min的速度下压该下压装置至强化玻璃压碎，在重力感应器上会显示最大承受力，从而可知强化玻璃所能承受的最大负荷来判断强化玻璃的抗压强度。请参阅表1，表I所示为实施例f 10及对比例f 2的落球测试及静负荷测试结果。
权利要求
1.一种强化玻璃的切割方法，其特征在于，包括以下步骤 在强化玻璃两个表面涂上光刻胶； 对其中一个表面上的光刻胶进行曝光、显影、以在所述强化玻璃的所述表面上形成第一切割区； 在所述强化玻璃的所述表面沿所述第一切割区切割出第一凹槽； 将所述强化玻璃浸泡在氢氟酸溶液中，沿所述第一凹槽进行化学切割；及去除剩余的光刻胶。
2.根据权利要求I所述的强化玻璃的切割方法，其特征在于，在进行化学切割之前，还包括 对另一个表面上的光刻胶进行曝光、显影、以在所述强化玻璃的所述另一个表面上形成与所述第一切割区相对应的第二切割区； 在所述强化玻璃的所述另一个表面沿所述第二切割区切割出第二凹槽。
3.根据权利要求I所述的强化玻璃的切割方法，其特征在于，所述光刻胶的厚度为50 μ m 100 μ m。
4.根据权利要求I所述的强化玻璃的切割方法，其特征在于，所述光刻胶的主要成分为苯酚-甲醛树脂。
5.根据权利要求I所述的强化玻璃的切割方法，其特征在于，所述第一凹槽为方型凹槽或V型凹槽。
6.根据权利要求I所述的强化玻璃的切割方法，其特征在于，所述第一凹槽的深度为O.03mnT0. 08mm。
7.根据权利要求I所述的强化玻璃的切割方法，其特征在于，所述氢氟酸溶液的质量百分比浓度为30% 40%。
8.根据权利要求I所述的强化玻璃的切割方法，其特征在于，浸泡时间为900iT3600S。
9.根据权利要求I所述的强化玻璃的切割方法，其特征在于，浸泡温度为33°C 39°C。
10.根据权利要求I所述的强化玻璃的切割方法，其特征在于，使用低苯酚或含自由苯酚基的去胶剂去除剩余的光刻胶。
全文摘要
本发明提供了一种强化玻璃的切割方法，其包括以下步骤在强化玻璃两个表面涂上光刻胶；对其中一个表面上的光刻胶进行曝光、显影、以在所述强化玻璃的所述表面上形成第一切割区；在所述强化玻璃的所述表面沿所述第一切割区切割出第一凹槽；将所述强化玻璃浸泡在氢氟酸溶液中，沿所述第一凹槽进行化学切割；及去除剩余的光刻胶。该强化玻璃的切割方法，用氢氟酸溶液对强化玻璃进行切割并使强化玻璃的边缘平滑化，提高强化玻璃边缘的抗压强度，同时减少切割后强化玻璃的破损率，提高生产效率。
文档编号C03B33/02GK102923939SQ20121034395
公开日2013年2月13日 申请日期2012年9月17日 优先权日2012年9月17日
发明者杨会良, 况俊文 申请人:江西沃格光电科技有限公司